Thuyền wafer graphite VET Energy là vật tư tiêu hao chất lượng cao được thiết kế riêng cho các quy trình lắng đọng trong ngành bán dẫn, quang điện và các ngành công nghiệp khác. Được làm bằng vật liệu graphite có độ tinh khiết cao, mật độ cao, sản phẩm này có khả năng chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn, ổn định kích thước và các đặc tính khác tuyệt vời, đồng thời có thể cung cấp nền tảng mang ổn định cho quy trình lắng đọng để đảm bảo tính đồng nhất và độ phẳng của quá trình lắng đọng màng mỏng.
Thuyền than chì PECVD của VET Energy được sản xuất bằng than chì đẳng tĩnh có độ tinh khiết cao, có độ xốp dưới 15% và độ nhám bề mặt Ra≤1,6μm. Độ ổn định kích thước và độ dẫn nhiệt vượt trội đảm bảo lắng đọng màng đồng đều và tăng hiệu suất pin.
Vật liệu than chì từ SGL:
| Tham số điển hình: R6510 | |||
| Mục lục | Tiêu chuẩn thử nghiệm | Giá trị | Đơn vị |
| Kích thước hạt trung bình | Tiêu chuẩn ISO13320 | 10 | μm |
| Mật độ khối | Tiêu chuẩn IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
| Độ xốp mở | DIN66133 | 10 | % |
| Kích thước lỗ chân lông trung bình | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Độ thấm | Tiêu chuẩn DIN51935 | 0,06 | cm²/giây |
| Độ cứng Rockwell HR5/100 | Tiêu chuẩn IEC60413/303 | 90 | HR |
| Điện trở suất riêng | Tiêu chuẩn IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Độ bền uốn | Tiêu chuẩn IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Sức nén | Tiêu chuẩn DIN51910 | 130 | MPa |
| Môđun Young | Tiêu chuẩn DIN51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Sự giãn nở vì nhiệt (20-200℃) | Tiêu chuẩn DIN51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Độ dẫn nhiệt (20℃) | Tiêu chuẩn DIN51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Được thiết kế riêng cho sản xuất pin mặt trời hiệu suất cao, hỗ trợ xử lý wafer cỡ lớn G12. Thiết kế bộ phận mang được tối ưu hóa làm tăng đáng kể thông lượng, cho phép tỷ lệ năng suất cao hơn và chi phí sản xuất thấp hơn.
| Mục | Kiểu | Số wafer mang |
| Thuyền PEVCD Grephite - Dòng 156 | thuyền grephite 156-13 | 144 |
| thuyền grephite 156-19 | 216 | |
| thuyền grephite 156-21 | 240 | |
| Thuyền graphite 156-23 | 308 | |
| Thuyền PEVCD Grephite - Dòng 125 | thuyền grephite 125-15 | 196 |
| thuyền grephite 125-19 | 252 | |
| thuyền grphite 125-21 | 280 |
