Thuyền đựng tấm than chì dùng cho quá trình lắng đọng

Hình ảnh nổi bật: Thuyền đựng tấm wafer than chì dùng cho quá trình lắng đọng

Mô tả ngắn gọn:

Tấm lót wafer graphite VET Energy là vật tư tiêu hao chất lượng cao được thiết kế riêng cho các quy trình lắng đọng trong ngành bán dẫn, quang điện và các ngành công nghiệp khác. Được làm từ vật liệu graphite có độ tinh khiết cao, mật độ cao, sản phẩm này có khả năng chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn, ổn định kích thước và các đặc tính khác tuyệt vời, và có thể cung cấp một nền tảng mang ổn định cho quá trình lắng đọng để đảm bảo tính đồng nhất và độ phẳng của lớp màng mỏng được lắng đọng.

Gửi email cho chúng tôi Tải xuống dưới dạng PDF

Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Thuyền graphite PECVD của VET Energy được sản xuất từ graphite đẳng tĩnh có độ tinh khiết cao, với độ xốp dưới 15% và độ nhám bề mặt Ra≤1,6μm. Độ ổn định kích thước và độ dẫn nhiệt vượt trội đảm bảo sự lắng đọng màng đồng đều và nâng cao hiệu suất pin.

Vật liệu than chì từ SGL:

Thông số điển hình: R6510
Mục lục	Tiêu chuẩn thử nghiệm	Giá trị	Đơn vị
Kích thước hạt trung bình	ISO 13320	10	μm
Mật độ khối	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Độ xốp mở	DIN66133	10	%
Kích thước lỗ chân lông trung bình	DIN66133	1.8	μm
Tính thấm	DIN 51935	0,06	cm²/s
Độ cứng Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Điện trở suất riêng	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Sức mạnh uốn	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Cường độ nén	DIN 51910	130	MPa
Mô đun Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Sự giãn nở nhiệt (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Độ dẫn nhiệt (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Công nghệ này được thiết kế đặc biệt cho việc sản xuất pin mặt trời hiệu suất cao, hỗ trợ xử lý tấm wafer kích thước lớn G12. Thiết kế chất mang được tối ưu hóa giúp tăng đáng kể thông lượng, cho phép tỷ lệ sản phẩm đạt chất lượng cao hơn và chi phí sản xuất thấp hơn.

Mục	Kiểu	Giá đỡ wafer số
Thuyền PEVCD Grephite - Dòng 156	156-13 thuyền Grephite	144
	156-19 thuyền Grephite	216
	156-21 thuyền grephite	240
	Thuyền graphite 156-23	308
Thuyền PEVCD Grephite - Dòng 125	thuyền grephite 125-15	196
	thuyền grephite 125-19	252
	Thuyền grphite 125-21	280