Nacelle de plaquettes de graphite pour dépôt

Image principale du bateau de dépôt de plaquettes de graphite

Brève description :

La nacelle en graphite VET Energy est un consommable de haute qualité, spécialement conçu pour les procédés de dépôt dans les industries des semi-conducteurs, du photovoltaïque et autres. Fabriqué en graphite de haute pureté et haute densité, ce produit présente d'excellentes caractéristiques de résistance aux températures élevées, de résistance à la corrosion et de stabilité dimensionnelle, ainsi que d'autres caractéristiques. Il constitue une plateforme de support stable pour le dépôt de couches minces, garantissant ainsi leur uniformité et leur planéité.

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Détails du produit

Étiquettes de produit

La nacelle en graphite PECVD de VET Energy est fabriquée en graphite isostatique de haute pureté, présentant une porosité inférieure à 15 % et une rugosité de surface Ra ≤ 1,6 μm. Sa stabilité dimensionnelle et sa conductivité thermique supérieures garantissent un dépôt uniforme du film et une efficacité cellulaire accrue.

Matériau graphite de SGL :

Paramètre typique : R6510
Indice	Norme de test	Valeur	Unité
granulométrie moyenne	ISO 13320	10	μm
Densité apparente	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porosité ouverte	DIN66133	10	%
Pores de taille moyenne	DIN66133	1.8	μm
Perméabilité	DIN 51935	0,06	cm²/s
Dureté Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Résistivité électrique spécifique	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Résistance à la flexion	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Résistance à la compression	DIN 51910	130	MPa
module de Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Dilatation thermique (20-200℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Conductivité thermique (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Il est spécialement conçu pour la fabrication de cellules solaires à haut rendement, prenant en charge le traitement des plaquettes G12 de grande taille. La conception optimisée du support augmente considérablement le rendement, permettant des rendements plus élevés et des coûts de production réduits.

Article	Taper	Numéro de support de plaquette
Bateau PEVCD Grephite - La série 156	156-13 bateau en gréphite	144
	156-19 bateau en gréphite	216
	156-21 bateau en gréphite	240
	Bateau en graphite 156-23	308
Bateau PEVCD Grephite - La série 125	Bateau en gréphite 125-15	196
	Bateau grephite 125-19	252
	Bateau en graphite 125-21	280