قارب رقائق الجرافيت من VET Energy هو مادة استهلاكية عالية الجودة مصممة خصيصًا لعمليات الترسيب في صناعات أشباه الموصلات والخلايا الكهروضوئية وغيرها. مصنوع من مادة جرافيت عالية النقاء والكثافة، يتميز هذا المنتج بمقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية والتآكل، بالإضافة إلى ثبات الأبعاد، مما يوفر منصة حاملة مستقرة لعملية الترسيب لضمان تجانس ودقة ترسيب الأغشية الرقيقة.
يتم تصنيع قارب الجرافيت بتقنية الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما (PECVD) من شركة VET Energy باستخدام جرافيت متساوي الضغط عالي النقاء، يتميز بمسامية أقل من 15% وخشونة سطحية Ra≤1.6 ميكرومتر. يضمن الثبات البُعدي الفائق والتوصيل الحراري العالي ترسيبًا متجانسًا للطبقة وكفاءة محسّنة للخلايا.
مادة الجرافيت من شركة SGL:
| المعلمة النموذجية: R6510 | |||
| فِهرِس | معيار الاختبار | قيمة | وحدة |
| متوسط حجم الحبوب | ISO 13320 | 10 | ميكرومتر |
| الكثافة الظاهرية | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | جم/سم3 |
| مسامية مفتوحة | DIN66133 | 10 | % |
| حجم المسام متوسط | DIN66133 | 1.8 | ميكرومتر |
| نفاذية | DIN 51935 | 0.06 | سم²/ث |
| صلابة روكويل HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| المقاومة الكهربائية النوعية | DIN IEC 60413/402 | 13 | ميكرو أوم متر |
| قوة الانحناء | DIN IEC 60413/501 | 60 | ميجا باسكال |
| قوة الضغط | DIN 51910 | 130 | ميجا باسكال |
| معامل يونغ | DIN 51915 | 11.5×10³ | ميجا باسكال |
| التمدد الحراري (20-200 درجة مئوية) | DIN 51909 | 4.2 × 10-6 | K-1 |
| الموصلية الحرارية (20 درجة مئوية) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
صُممت هذه التقنية خصيصاً لتصنيع الخلايا الشمسية عالية الكفاءة، وتدعم معالجة رقائق السيليكون كبيرة الحجم من نوع G12. يُحسّن تصميم الحامل المُحسّن الإنتاجية بشكل ملحوظ، مما يُتيح معدلات إنتاج أعلى وتكاليف إنتاج أقل.
| غرض | يكتب | حامل رقاقة رقمي |
| قارب PEVCD Grephite - سلسلة 156 | قارب من الجرافيت 156-13 | 144 |
| قارب من الجرافيت 156-19 | 216 | |
| قارب من الجرافيت 156-21 | 240 | |
| قارب جرافيت 156-23 | 308 | |
| قارب PEVCD Grephite - سلسلة 125 | قارب من الجرافيت 125-15 | 196 |
| قارب جريفيت 125-19 | 252 | |
| قارب جرافيت 125-21 | 280 |
