Wadah Wafer Grafit untuk Deposisi

Deskripsi Singkat:

VET Energy graphite wafer boat adalah bahan habis pakai berkualitas tinggi yang dirancang khusus untuk proses deposisi di industri semikonduktor, fotovoltaik, dan industri lainnya. Terbuat dari material grafit dengan kemurnian dan kepadatan tinggi, produk ini memiliki ketahanan suhu tinggi, ketahanan korosi, stabilitas dimensi, dan karakteristik lainnya yang sangat baik, serta dapat menyediakan platform pembawa yang stabil untuk proses deposisi guna memastikan keseragaman dan kerataan deposisi lapisan tipis.

Kirim email kepada kami Unduh sebagai PDF

Detail Produk

Label Produk

Wadah grafit PECVD dari VET Energy diproduksi dengan grafit isostatik kemurnian tinggi, yang memiliki porositas di bawah 15% dan kekasaran permukaan Ra≤1,6μm. Stabilitas dimensi dan konduktivitas termal yang unggul memastikan pengendapan film yang seragam dan peningkatan efisiensi sel.

Material grafit dari SGL:

Parameter umum: R6510
Indeks	Standar pengujian	Nilai	Satuan
Ukuran butir rata-rata	ISO 13320	10	mikrometer
Kepadatan curah	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porositas terbuka	DIN66133	10	%
Ukuran pori sedang	DIN66133	1.8	mikrometer
Permeabilitas	DIN 51935	0,06	cm²/detik
Kekerasan Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Resistivitas listrik spesifik	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Kekuatan lentur	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Kekuatan tekan	DIN 51910	130	MPa
Modulus Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Ekspansi termal (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Konduktivitas termal (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Produk ini dirancang khusus untuk manufaktur sel surya efisiensi tinggi, mendukung pemrosesan wafer ukuran besar G12. Desain pembawa yang dioptimalkan secara signifikan meningkatkan kapasitas produksi, memungkinkan tingkat hasil yang lebih tinggi dan biaya produksi yang lebih rendah.

Barang	Jenis	Pembawa wafer nomor
Perahu PEVCD Grephite - Seri 156	156-13 perahu grephite	144
	156-19 perahu grephite	216
	156-21 perahu grephite	240
	Perahu grafit 156-23	308
Perahu PEVCD Grephite - Seri 125	125-15 perahu grephite	196
	125-19 perahu grephite	252
	Perahu grafit 125-21	280