Bato waf grafit VET Energy a se yon konsomab kalite siperyè ki fèt pou pwosesis depozisyon nan endistri semi-kondiktè, fotovoltaik ak lòt endistri yo. Li fèt ak materyèl grafit ki gen gwo pite ak gwo dansite, pwodui sa a gen ekselan rezistans tanperati ki wo, rezistans korozyon, estabilite dimansyonèl ak lòt karakteristik, epi li ka bay yon platfòm sipò ki estab pou pwosesis depozisyon an pou asire inifòmite ak platè depozisyon fim mens lan.
Bato grafit PECVD VET Energy la fabrike ak grafit izostatik ki gen yon gwo pite, ki gen yon porosit ki anba 15% ak yon sifas ki graj Ra≤1.6μm. Estabilite dimansyonèl siperyè ak konduktivite tèmik la asire yon depo fim inifòm ak yon efikasite selil amelyore.
Materyèl grafit ki soti nan SGL:
| Paramèt tipik: R6510 | |||
| Endèks | Estanda tès | Valè | Inite |
| Gwosè grenn mwayèn | ISO 13320 | 10 | μm |
| Dansite an mas | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm33 |
| Porosite ouvè | DIN66133 | 10 | % |
| Gwosè pò mwayen | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Pèmeabilite | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| Dite Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Rezistans elektrik espesifik | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Fòs fleksyon | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Fòs konpresiv | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Modil Young lan | DIN 51915 | 11.5 × 10³ | MPa |
| Ekspansyon tèmik (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Konduktivite tèmik (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Li fèt espesyalman pou fabrikasyon selil solè ki gen gwo efikasite, pou sipòte pwosesis gwo plak G12 yo. Konsepsyon transpòtè optimize a ogmante anpil debi a, sa ki pèmèt pi gwo pousantaj sede ak pi ba pri pwodiksyon.
| Atik | Kalite | Nimewo transpòtè wafer |
| Bato PEVCD Grephite - Seri 156 la | 156-13 bato grefit | 144 |
| 156-19 bato grefit | 216 | |
| 156-21 bato grefit | 240 | |
| Bato grafit 156-23 | 308 | |
| Bato PEVCD Grephite - Seri 125 la | Bato grefit 125-15 | 196 |
| Bato grefit 125-19 | 252 | |
| Bato grafit 125-21 | 280 |
