VET Energy graphite ọkọ oju omi wafer jẹ ohun elo didara ti o ni ibamu fun awọn ilana ifisilẹ ni semikondokito, fọtovoltaic ati awọn ile-iṣẹ miiran. Ti a ṣe ti mimọ-giga, ohun elo graphite iwuwo giga, ọja yii ni iwọn otutu giga ti o dara julọ, resistance ipata, iduroṣinṣin iwọn ati awọn abuda miiran, ati pe o le pese pẹpẹ ti ngbe iduro fun ilana fifisilẹ lati rii daju iṣọkan ati fifẹ ti ifisilẹ fiimu tinrin.
Ọkọ oju omi graphite PECVD lati VET Energy jẹ iṣelọpọ pẹlu graphite isostatic mimọ-giga, ti o nfihan porosity ni isalẹ 15% ati roughness dada Ra≤1.6μm. Iduroṣinṣin onisẹpo ti o ga julọ ati adaṣe igbona ṣe idaniloju ifisilẹ fiimu aṣọ ati imudara sẹẹli.
Ohun elo graphite lati SGL:
| Aṣoju paramita: R6510 | |||
| Atọka | Igbeyewo bošewa | Iye | Ẹyọ |
| Apapọ ọkà iwọn | ISO 13320 | 10 | μm |
| Olopobobo iwuwo | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Ṣii porosity | DIN66133 | 10 | % |
| Iwọn pore alabọde | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Igbalaaye | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| Rockwell líle HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Specific itanna resistivity | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Agbara Flexural | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Agbara titẹ | DIN 51910 | 130 | MPa |
| modulus ọdọ | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| Imugboroosi gbona (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Imudara igbona (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
O jẹ apẹrẹ pataki fun iṣelọpọ iṣelọpọ oorun ti o ga, ti n ṣe atilẹyin sisẹ wafer titobi G12 nla. Apẹrẹ ti ngbe iṣapeye pọ si ilọjade pọsi, ṣiṣe awọn oṣuwọn ikore ti o ga julọ ati awọn idiyele iṣelọpọ kekere.
| Nkan | Iru | Nọmba wafer ti ngbe |
| PEVCD Grephite ọkọ - The 156 jara | 156-13 grephite ọkọ | 144 |
| 156-19 grephite ọkọ | 216 | |
| 156-21 grephite ọkọ | 240 | |
| 156-23 lẹẹdi ọkọ | 308 | |
| PEVCD Grephite ọkọ - The 125 jara | 125-15 grephite ọkọ | 196 |
| 125-19 grephite ọkọ | 252 | |
| 125-21 grphite ọkọ | 280 |
