Barco de Wafer de Grafite para Deposição

Descrição curta:

O wafer de grafite da VET Energy é um consumível de alta qualidade, desenvolvido especialmente para processos de deposição nas indústrias de semicondutores, fotovoltaica e outras. Feito de grafite de alta pureza e alta densidade, este produto possui excelente resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão, estabilidade dimensional e outras características, além de fornecer uma plataforma de suporte estável para o processo de deposição, garantindo a uniformidade e a planura da deposição de filmes finos.

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Detalhes do produto

Etiquetas de produtos

O barco de grafite PECVD da VET Energy é fabricado com grafite isostático de alta pureza, apresentando porosidade inferior a 15% e rugosidade superficial Ra≤1,6μm. A estabilidade dimensional superior e a condutividade térmica garantem a deposição uniforme do filme e maior eficiência da célula.

Material de grafite da SGL:

Parâmetro típico: R6510
Índice	Padrão de teste	Valor	Unidade
Tamanho médio do grão	ISO 13320	10	μm
Densidade aparente	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porosidade aberta	DIN66133	10	%
Poros de tamanho médio	DIN66133	1.8	μm
Permeabilidade	DIN 51935	0,06	cm²/s
Dureza Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Resistividade elétrica específica	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Resistência à flexão	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Resistência à compressão	DIN 51910	130	MPa
Módulo de Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Expansão térmica (20-200℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Condutividade térmica (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ele foi projetado especificamente para a fabricação de células solares de alta eficiência, suportando o processamento de wafers G12 de grande porte. O design otimizado do portador aumenta significativamente a produtividade, permitindo maiores taxas de rendimento e menores custos de produção.

Item	Tipo	Número de portador de wafer
Barco PEVCD Grephite - Série 156	156-13 barco de grefita	144
	156-19 barco de grefita	216
	156-21 barco de grefita	240
	156-23 barco de grafite	308
Barco PEVCD Grephite - Série 125	barco de grefita 125-15	196
	barco de grefita 125-19	252
	barco de grife 125-21	280