Barco de lâmina de grafite para deposição

Barco de grafite para deposição (Imagem em destaque)

Descrição resumida:

O suporte para wafers de grafite da VET Energy é um consumível de alta qualidade, desenvolvido especificamente para processos de deposição nas indústrias de semicondutores, fotovoltaica e outras. Fabricado com grafite de alta pureza e alta densidade, este produto apresenta excelente resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão, estabilidade dimensional e outras características, proporcionando uma plataforma de suporte estável para o processo de deposição, garantindo a uniformidade e a planicidade da deposição de filmes finos.

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Detalhes do produto

Etiquetas do produto

O suporte de grafite PECVD da VET Energy é fabricado com grafite isostático de alta pureza, apresentando porosidade inferior a 15% e rugosidade superficial Ra≤1,6μm. A estabilidade dimensional e a condutividade térmica superiores garantem a deposição uniforme do filme e o aumento da eficiência da célula.

Material de grafite da SGL:

Parâmetro típico: R6510
Índice	Padrão de teste	Valor	Unidade
Tamanho médio do grão	ISO 13320	10	μm
densidade aparente	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porosidade aberta	DIN66133	10	%
Tamanho de poro médio	DIN66133	1.8	μm
Permeabilidade	DIN 51935	0,06	cm²/s
Dureza Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Resistividade elétrica específica	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Resistência à flexão	DIN IEC 60413/501	60	MPa
resistência à compressão	DIN 51910	130	MPa
Módulo de Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Expansão térmica (20-200℃)	DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Condutividade térmica (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Foi projetado especificamente para a fabricação de células solares de alta eficiência, suportando o processamento de wafers de grande porte G12. O design otimizado da estrutura de suporte aumenta significativamente a produtividade, permitindo maiores taxas de rendimento e menores custos de produção.

Item	Tipo	Número de wafers de suporte
Barco PEVCD Grephite - Série 156	156-13 barco de grefita	144
	156-19 barco de grefita	216
	156-21 barco de grefita	240
	Barco de grafite 156-23	308
Barco PEVCD Grephite - Série 125	125-15 barco de grefita	196
	125-19 barco de grefita	252
	125-21 barco de grife	280