Grafito plokštelinė valtis nusodinimui

Trumpas aprašymas:

„VET Energy“ grafitinė plokštelinė valtis yra aukštos kokybės eksploatacinė medžiaga, pritaikyta nusodinimo procesams puslaidininkių, fotovoltinių ir kitose pramonės šakose. Pagaminta iš labai grynos, didelio tankio grafito medžiagos, ši medžiaga pasižymi puikiu atsparumu aukštai temperatūrai, atsparumu korozijai, matmenų stabilumu ir kitomis savybėmis, ir gali būti stabili nešiklio platforma nusodinimo procesui, užtikrinant plonasluoksnės nusodinimo vienodumą ir plokštumą.

Siųskite mums el. laišką Atsisiųsti kaip PDF

Produkto informacija

Produkto žymės

„VET Energy“ PECVD grafitinė valtis pagaminta iš didelio grynumo izostatinio grafito, kurio poringumas yra mažesnis nei 15 %, o paviršiaus šiurkštumas Ra ≤ 1,6 μm. Dėl puikaus matmenų stabilumo ir šilumos laidumo užtikrinamas tolygus plėvelės nusodinimas ir didesnis elementų efektyvumas.

Grafito medžiaga iš SGL:

Tipinis parametras: R6510
Indeksas	Bandymo standartas	Vertė	Vienetas
Vidutinis grūdų dydis	ISO 13320	10	μm
Tūrinis tankis	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm²³
Atviras poringumas	DIN66133	10	%
Vidutinis porų dydis	DIN66133	1.8	μm
Pralaidumas	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rokvelo kietumas HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Savitoji elektrinė varža	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Lenkimo stipris	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Gniuždymo stipris	DIN 51910	130	MPa
Youngo modulis	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Šiluminis plėtimasis (20–200 ℃)	DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Šilumos laidumas (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Jis specialiai sukurtas didelio efektyvumo saulės elementų gamybai, palaikant didelio dydžio G12 plokštelių apdorojimą. Optimizuotas laikiklio dizainas žymiai padidina našumą, todėl padidėja našumas ir sumažėja gamybos sąnaudos.

Prekė	Tipas	Skaičių plokštelių laikiklis
PEVCD Grephite valtis - 156 serija	156-13 grefito valtis	144
	156-19 grefito valtis	216
	156-21 grefito valtis	240
	156-23 grafito valtis	308
PEVCD Grephite valtis - 125 serija	125-15 grefito valtis	196
	125-19 grefito valtis	252
	125-21 grafito valtis	280