Графитна чамац за таложење

Кратак опис:

ВЕТ Енерџи графитни чамац за вафле је висококвалитетни потрошни материјал прилагођен за процесе наношења у полупроводничкој, фотонапонској и другим индустријама. Направљен од графитног материјала високе чистоће и густине, овај производ има одличну отпорност на високе температуре, отпорност на корозију, димензионалну стабилност и друге карактеристике, и може да обезбеди стабилну носачку платформу за процес наношења како би се осигурала једнообразност и равност танког филма.

Пошаљите нам имејл Преузми као PDF

Детаљи производа

Ознаке производа

PECVD графитни чамац компаније VET Energy је произведен од изостатичког графита високе чистоће, са порозношћу испод 15% и површинском храпавошћу Ra≤1,6μm. Супериорна димензионална стабилност и топлотна проводљивост обезбеђују равномерно наношење филма и побољшану ефикасност ћелија.

Графитни материјал од SGL-а:

Типичан параметар: R6510
Индекс	Стандард за тестирање	Вредност	Јединица
Просечна величина зрна	ИСО 13320	10	μm
Густина запремине	ДИН ИЕЦ 60413/204	1,83	г/цм³
Отворена порозност	ДИН66133	10	%
Средња величина пора	ДИН66133	1,8	μm
Пропустљивост	ДИН 51935	0,06	цм²/с
Тврдоћа по Роквелу HR5/100	ДИН ИЕЦ60413/303	90	HR
Специфична електрична отпорност	ДИН ИЕЦ 60413/402	13	μΩm
Флексибилна чврстоћа	ДИН ИЕЦ 60413/501	60	МПа
Притисна чврстоћа	ДИН 51910	130	МПа
Јангов модул	ДИН 51915	11,5×10³	МПа
Термичко ширење (20-200℃)	ДИН 51909	4,2X10^-6	K^-1
Топлотна проводљивост (20℃)	ДИН 51908	105	Wm^-1K^-1

Посебно је дизајниран за производњу високоефикасних соларних ћелија, подржавајући обраду великих плочица G12. Оптимизовани дизајн носача значајно повећава пропусност, омогућавајући веће стопе приноса и ниже трошкове производње.

Ставка	Тип	Носач плочице са бројем
PEVCD Grephite чамац - Серија 156	156-13 графитски чамац	144
	156-19 графитски чамац	216
	156-21 графитски чамац	240
	Графитни чамац 156-23	308
PEVCD Grephite чамац - Серија 125	125-15 графит чамац	196
	125-19 графитски чамац	252
	125-21 графитни чамац	280