Графитна вафлена лодка за отлагане

Графитна лодка за отлагане на пластини - представено изображение

Кратко описание:

Графитната лодка за пластини VET Energy е висококачествен консуматив, предназначен за процеси на отлагане в полупроводниковата, фотоволтаичната и други индустрии. Изработена от високочист графитен материал с висока плътност, този продукт има отлична устойчивост на високи температури, устойчивост на корозия, размерна стабилност и други характеристики и може да осигури стабилна платформа за процеса на отлагане, за да се гарантира равномерност и плоскост на тънкослойното отлагане.

Изпратете ни имейл Изтегляне като PDF

Детайли за продукта

Етикети на продукти

Графитната лодка PECVD от VET Energy е произведена от високочист изостатичен графит, с порьозност под 15% и грапавост на повърхността Ra≤1.6μm. Превъзходната размерна стабилност и топлопроводимост осигуряват равномерно отлагане на филма и подобрена ефективност на клетката.

Графитен материал от SGL:

Типичен параметър: R6510
Индекс	Стандарт за изпитване	Стойност	Единица
Среден размер на зърната	ISO 13320	10	μm
Насипна плътност	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Отворена порьозност	DIN66133	10	%
Среден размер на порите	DIN66133	1.8	μm
Пропускливост	ДИН 51935	0,06	см²/с
Твърдост по Рокуел HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Специфично електрическо съпротивление	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Якост на огъване	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Якост на натиск	ДИН 51910	130	МПа
Модул на Юнг	ДИН 51915	11,5×10³	МПа
Термично разширение (20-200℃)	ДИН 51909	4.2X10^-6	K^-1
Топлопроводимост (20℃)	ДИН 51908	105	Wm^-1K^-1

Той е специално проектиран за производство на високоефективни слънчеви клетки, поддържайки обработка на големи пластини G12. Оптимизираният дизайн на носачите значително увеличава производителността, което позволява по-високи нива на добив и по-ниски производствени разходи.

Елемент	Тип	Номер на носител на пластина
PEVCD Grephite лодка - серия 156	156-13 грефитна лодка	144
	156-19 грефитова лодка	216
	156-21 грефитова лодка	240
	156-23 графитна лодка	308
PEVCD Grephite лодка - серия 125	125-15 грефитова лодка	196
	125-19 грефитова лодка	252
	125-21 графитна лодка	280