เรือเวเฟอร์กราไฟต์ VET Energy เป็นวัสดุสิ้นเปลืองคุณภาพสูงที่ออกแบบมาสำหรับกระบวนการสะสมในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โฟโตวอลตาอิก และอุตสาหกรรมอื่นๆ ผลิตภัณฑ์นี้ผลิตจากวัสดุกราไฟต์ที่มีความบริสุทธิ์และความหนาแน่นสูง มีคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน มีเสถียรภาพของมิติ และคุณสมบัติอื่นๆ ได้เป็นอย่างดี และสามารถเป็นแพลตฟอร์มพาหะที่มั่นคงสำหรับกระบวนการสะสมเพื่อให้แน่ใจว่าการสะสมฟิล์มบางมีความสม่ำเสมอและเรียบ
เรือกราไฟต์ PECVD จาก VET Energy ผลิตขึ้นจากกราไฟต์ไอโซสแตติกที่มีความบริสุทธิ์สูง ซึ่งมีรูพรุนต่ำกว่า 15% และความหยาบของพื้นผิว Ra≤1.6μm ความเสถียรของมิติและการนำความร้อนที่เหนือกว่าช่วยให้เกิดการสะสมฟิล์มที่สม่ำเสมอและประสิทธิภาพของเซลล์ที่เพิ่มขึ้น
วัสดุกราไฟท์จาก SGL:
| พารามิเตอร์ทั่วไป: R6510 | |||
| ดัชนี | มาตรฐานการทดสอบ | ค่า | หน่วย |
| ขนาดเมล็ดเฉลี่ย | มาตราฐาน ISO 13320 | 10 | ไมโครเมตร |
| ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม | มาตรฐาน DIN IEC 60413/204 | 1.83 | กรัม/ซม.3 |
| รูพรุนเปิด | DIN66133 | 10 | % |
| ขนาดรูพรุนปานกลาง | DIN66133 | 1.8 | ไมโครเมตร |
| ความสามารถในการซึมผ่าน | ดินแดง 51935 | 0.06 | ซม²/วินาที |
| ความแข็งร็อคเวลล์ HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| ค่าความต้านทานไฟฟ้าจำเพาะ | มาตรฐาน DIN IEC 60413/402 | 13 | ไมโครΩm |
| ความแข็งแรงในการดัดงอ | มาตรฐาน DIN IEC 60413/501 | 60 | เมกะปาสคาล |
| ความแข็งแรงในการบีบอัด | ดินแดง 51910 | 130 | เมกะปาสคาล |
| โมดูลัสของยัง | ดินแดง 51915 | 11.5×10³ | เมกะปาสคาล |
| การขยายตัวเนื่องจากความร้อน (20-200℃) | ดินแดง 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| การนำความร้อน (20℃) | ดินแดง 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
ได้รับการออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ประสิทธิภาพสูง รองรับการประมวลผลเวเฟอร์ขนาดใหญ่ G12 การออกแบบตัวพาที่ปรับให้เหมาะสมจะช่วยเพิ่มปริมาณงานได้อย่างมาก ทำให้มีอัตราผลตอบแทนที่สูงขึ้นและต้นทุนการผลิตที่ต่ำลง
| รายการ | พิมพ์ | ผู้ให้บริการเวเฟอร์ตัวเลข |
| เรือ PEVCD Grephite - ซีรีส์ 156 | 156-13 เรือเกรไฟต์ | 144 |
| 156-19 เรือเกรไฟต์ | 216 | |
| 156-21 เรือเกรไฟต์ | 240 | |
| เรือกราไฟท์ 156-23 | 308 | |
| เรือ PEVCD Grephite - ซีรีส์ 125 | เรือเกรไฟท์ 125-15 | 196 |
| เรือเกรไฟท์ 125-19 | 252 | |
| เรือกราไฟท์ 125-21 | 280 |







