Silikonkarbiedlaag Grafietbakplaat en -deksel

Kort beskrywing:

VET Energy silikonkarbied-bedekking grafietplaat en -omhulsel is 'n hoëprestasieproduk wat ontwerp is om konsekwente en betroubare werkverrigting oor 'n lang tydperk te bied. Dit het super goeie hittebestandheid en termiese eenvormigheid, hoë suiwerheid, erosiebestandheid, wat dit die perfekte oplossing vir waferverwerkingstoepassings maak.

 


Produkbesonderhede

Produk-etikette

VET EnergieSilikonkarbiedlaag Grafietbak, Plaat en Bedekking is ontwerp om topvlak-prestasie te lewer, wat betroubare en konsekwente werking oor langdurige gebruik bied, wat dit 'n noodsaaklike keuse maak vir waferverwerkingstoepassings in die halfgeleierbedryf. Hierdie hoëprestasieSilikonkarbiedlaag Grafietplaatspog met uitsonderlike hittebestandheid, superieure termiese eenvormigheid en uitstekende chemiese stabiliteit, veral in hoëtemperatuurtoestande. Die hoësuiwerheidskonstruksie, tesame met gevorderde erosiebestandheid, maak dit onontbeerlik vir veeleisende omgewings soosMOCVD-onthoudings.

7

Belangrike kenmerke van silikonkarbiedbedekking grafietbak, plaat en deksel

1. Hoëtemperatuur-oksidasieweerstand:Weerstaan ​​temperature tot 1700 ℃, wat dit in staat stel om betroubaar in uiterste toestande te funksioneer.

2. Hoë suiwerheid en termiese eenvormigheid:Konsekwente hoë suiwerheid en egalige hitteverspreiding is van kritieke belang vir MOCVD-toepassings.

3. Uitsonderlike korrosieweerstand:Bestand teen sure, alkalieë, soute en verskeie organiese reagense, wat langtermynstabiliteit in diverse omgewings verseker.

4. Hoë Hardheid en Kompakte Oppervlak:Beskik oor 'n digte oppervlak met fyn deeltjies, wat die algehele duursaamheid en weerstand teen slytasie verbeter.

5. Verlengde dienslewe:Ontwerp vir lang lewensduur, beter as konvensionelesilikonkarbiedbedekte grafiet-susceptorsin strawwe halfgeleierverwerkingsomgewings.

 

KVS SiC薄膜基本物理性能

Basiese fisiese eienskappe van CVD SiCbedekking

性质 / Eiendom

典型数值 / Tipiese Waarde

晶体结构 / Kristalstruktuur

FCC β-fase多晶,主要为(111)取向

密度 / Digtheid

3.21 g/cm³

硬度 / Hardheid

2500 维氏硬度(500g vrag)

晶粒大小 / Graangrootte

2~10μm

纯度 / Chemiese Suiwerheid

99.99995%

热容 / Hittekapasiteit

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimasie Temperatuur

2700℃

抗弯强度 / Buigsterkte

415 MPa RT 4-punt

杨氏模量 / Young se Modulus

430 Gpa 4pt buiging, 1300 ℃

导热系数 / TermalGeleidingsvermoë

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Termiese Uitbreiding (CTE)

4.5×10-6K-1

VET Energy se kundigheid in aangepaste grafiet- en silikonkarbiedoplossings

As 'n betroubare vervaardiger spesialiseer VET Energy in pasgemaakte grafiet-susseptors en silikonkarbied-bedekkingsoplossings. Ons bied 'n reeks produkte wat op maat gemaak is vir die halfgeleier- en fotovoltaïese nywerhede, insluitendSiC-bedekte grafietkomponentesoos bakke, borde en deksels. Ons produkreeks sluit ook diverse bedekkingsopsies in, soosSiC-laag vir MOCVD, TaC-laag, glasagtige koolstoflaag, en pirolitiese koolstofbedekking, wat verseker dat ons aan die wisselende eise van hoëtegnologie-industrieë voldoen.

Ons ervare tegniese span, bestaande uit kundiges van top plaaslike navorsingsinstellings, bied omvattende materiaaloplossings vir kliënte. Ons verfyn voortdurend ons gevorderde prosesse, insluitend 'n eksklusiewe gepatenteerde tegnologie wat die binding tussen die silikonkarbiedlaag en die grafietsubstraat verbeter, wat die risiko van loslating verminder en die produk se lewensduur verder verleng.

Toepassings en voordele in halfgeleiervervaardiging

DieSilikonkarbiedlaag vir MOCVDmaak hierdie grafiet-susseptore hoogs effektief in hoëtemperatuur-, korrosiewe omgewings. Of dit nou as grafietwafeldraers of ander MOCVD-komponente gebruik word, hierdie silikonkarbiedbedekte suseptore demonstreer uitstekende duursaamheid en werkverrigting. Vir diegene wat betroubare oplossings soek in dieSiC-bedekte grafietsusseptormark, VET Energy se silikonkarbiedbedekte grafietbak, plaat en deksel bied 'n robuuste en veelsydige opsie wat aan die streng eise van die halfgeleierbedryf voldoen.

Deur te fokus op gevorderde materiaalwetenskap, is VET Energy daartoe verbind om hoëprestasie SiC-bedekte grafietoplossings te lewer wat innovasie in halfgeleierverwerking dryf en betroubare werkverrigting in alle MOCVD-verwante toepassings verseker.

1

2

VET Energy is die ware vervaardiger van pasgemaakte grafiet- en silikonkarbiedprodukte met verskillende bedekkings soos SiC-bedekking, TaC-bedekking, glasagtige koolstofbedekking, pirolitiese koolstofbedekking, ens., en kan verskeie pasgemaakte onderdele vir die halfgeleier- en fotovoltaïese industrie lewer.

Ons tegniese span kom van top plaaslike navorsingsinstellings, kan meer professionele materiaaloplossings vir u bied.

Ons ontwikkel voortdurend gevorderde prosesse om meer gevorderde materiale te verskaf, en het 'n eksklusiewe gepatenteerde tegnologie ontwikkel wat die binding tussen die deklaag en die substraat stywer en minder geneig tot loslating kan maak.

Ons verwelkom u hartlik om ons fabriek te besoek, kom ons gesels verder!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 

 

 


  • Vorige:
  • Volgende:

  • WhatsApp Aanlyn Klets!