Siliziumkarbidbeschichtung Grafit-Schachtplack a -deckel

Kuerz Beschreiwung:

D'VET Energy Siliziumkarbidbeschichtung mat Graphitplack a -ofdeckung ass e performant Produkt, dat entwéckelt gouf fir eng konsequent a verlässlech Leeschtung iwwer eng länger Zäit ze bidden. Et huet eng super gutt Hëtztbeständegkeet an thermesch Uniformitéit, héich Rengheet a Erosiounsbeständegkeet, wat et zur perfekter Léisung fir Waferveraarbechtungsapplikatioune mécht.

Schéckt eis eng E-Mail Als PDF eroflueden

Produktdetailer

Produkt Tags

VET EnergieSiliziumkarbidbeschichtung Grafittablett, Plate, and Cover ass entwéckelt fir eng Top-Performance ze liwweren, andeems en zouverléissegen a konsequenten Operatioun iwwer länger Benotzung garantéiert, wat et zu enger essentieller Wiel fir Waferveraarbechtungsapplikatiounen an der Hallefleederindustrie mécht. Dësen héichleistungsfäegeSiliziumkarbidbeschichtung Grafitplackhuet eng aussergewéinlech Hëtztbeständegkeet, eng iwwerleeën thermesch Uniformitéit an eng aussergewéinlech chemesch Stabilitéit, besonnesch bei héijen Temperaturen. Seng héichreine Konstruktioun, zesumme mat der fortgeschrattener Erosiounsbeständegkeet, mécht et onverzichtbar fir usprochsvoll Ëmfeld wéi z.B.MOCVD-Suszeptoren.

Schlësselmerkmale vun der Siliziumkarbidbeschichtungs-Graphit-Schacht, -plack an -deckel

1. Resistenz géint héich Temperaturen Oxidatioun:Halt Temperaturen bis zu 1700 ℃ stand, sou datt et och ënner extremen Bedingungen zouverlässeg funktionéiert.

2. Héich Rengheet a thermesch Uniformitéit:Eng konsequent héich Rengheet an eng gläichméisseg Hëtztverdeelung si fir MOCVD-Uwendungen entscheedend.

3. Aussergewéinlech Korrosiounsbeständegkeet:Resistent géint Säuren, Alkalien, Salzer a verschidden organesch Reagenzien, wat eng laangfristeg Stabilitéit a verschiddenen Ëmfeld garantéiert.

4. Héich Härte a kompakt Uewerfläch:Huet eng dicht Uewerfläch mat feine Partikelen, déi d'allgemeng Haltbarkeet an d'Verschleißbeständegkeet verbesseren.

5. Verlängert Liewensdauer:Entworf fir eng laang Liewensdauer, besser Leeschtung wéi konventionellSiliziumkarbid-beschichtete Graphit-Susceptorenan haarden Halbleiterveraarbechtungsumgebungen.

CVD SiC薄膜基本物理性能 Basis physikalesch Eegeschafte vu CVD SiCBeschichtung
性质 / Immobilie	典型数值 / Typesche Wäert
晶体结构 / Kristallstruktur	FCC β Phase多晶，主要为（111) 取向
密度 / Dicht	3,21 g/cm³
硬度 / Häert	2500 维氏硬度（500g Belaaschtung）
晶粒大小 / Kärengréisst	2~10μm
纯度 / Chemesch Rengheet	99,99995%
热容 / Hëtztkapazitéit	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimatiounstemperatur	2700℃
抗弯强度 / Biegfestigkeit	415 MPa RT 4-Punkt
杨氏模量 / Young säi Modul	430 Gpa 4pt Bieg, 1300℃
导热系数 / ThermalKonduktivitéit	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Thermesch Expansioun (CTE)	4,5×10^-6K^-1

D'Expertise vu VET Energy a personaliséierte Graphit- a Siliziumkarbidléisungen

Als vertrauenswürdege Produzent spezialiséiert sech VET Energy op individuell entwéckelt Graphit-Susceptoren a Siliziumkarbid-Beschichtungsléisungen. Mir bidden eng ganz Rei vu Produkter, déi op d'Halbleiter- a Photovoltaikindustrie zougeschnidden sinn, dorënnerSiC-beschichtete Graphitkomponentenwéi Schachtel, Telleren an Deckel. Eis Produktpalette enthält och verschidde Beschichtungsoptiounen, wéi zum BeispillSiC-Beschichtung fir MOCVD, TaC-Beschichtung, glasartiger Kuelestoffbeschichtung, a pyrolytesch Kuelestoffbeschichtung, sou datt mir den ënnerschiddlechen Ufuerderungen vun High-Tech-Industrien gerecht ginn.

Eis erfueren technesch Equipe, déi Experten aus féierende nationale Fuerschungsinstituter zesummesetzt, bitt ëmfaassend Materialléisungen fir Clienten. Mir verfeineren eis fortgeschratt Prozesser kontinuéierlech, dorënner eng exklusiv patentéiert Technologie, déi d'Verbindung tëscht der Siliziumcarbidbeschichtung an dem Graphitsubstrat verbessert, wouduerch de Risiko vum Ofléisen reduzéiert gëtt an d'Liewensdauer vum Produkt weider verlängert gëtt.

Uwendungen a Virdeeler an der Hallefleiterproduktioun

DenSiliziumkarbidbeschichtung fir MOCVDmécht dës Graphit-Suszeptoren héich effektiv an héichtemperaturéierten, korrosiven Ëmfeld. Egal ob se als Graphit-Waferträger oder aner MOCVD-Komponenten agesat ginn, dës Siliziumkarbid-beschichtete Suszeptoren weisen eng iwwerleeën Haltbarkeet a Leeschtung. Fir déi, déi zouverlässeg Léisungen an der ... sichenSiC-beschichtete Graphit-SusceptorUm Maart bidden de Siliziumkarbid-beschichtete Graphittablett, d'Plack an d'Deckel vu VET Energy eng robust a villfälteg Optioun, déi den héijen Ufuerderungen vun der Hallefleederindustrie gerecht gëtt.

Mat engem Fokus op fortgeschratt Materialwëssenschaft engagéiert sech VET Energy fir héich performant SiC-beschichtete Graphitléisungen ze liwweren, déi Innovatioun an der Hallefleederveraarbechtung fërderen a verlässlech Leeschtung an allen MOCVD-bezunnen Uwendungen garantéieren.

VET Energy ass den eigentleche Produzent vu personaliséierte Graphit- a Siliziumcarbidprodukter mat verschiddene Beschichtungen wéi SiC-Beschichtung, TaC-Beschichtung, glasartiger Kuelestoffbeschichtung, pyrolytesch Kuelestoffbeschichtung, etc., a kann verschidden personaliséiert Deeler fir d'Hallefleeder- a Photovoltaikindustrie liwweren.

Eis technesch Equipe kënnt vun den Top-Fuerschungsinstituter aus dem Inland a kann Iech méi professionell Materialléisungen ubidden.

Mir entwéckelen kontinuéierlech fortgeschratt Prozesser fir méi fortgeschratt Materialien ze liwweren, an hunn eng exklusiv patentéiert Technologie entwéckelt, déi d'Verbindung tëscht der Beschichtung an dem Substrat méi enk a manner ufälleg fir Ofléisen mécht.

Mir wëllkomm Iech häerzlech wëllkomm fir eis Fabréck ze besichen, loosst eis weider diskutéieren!