Grafietplaat en deksel met siliciumcarbidecoating

Grafiet dienbladplaat en deksel met siliciumcarbide coating (afbeelding)

Korte beschrijving:

De VET Energy siliciumcarbide coating op grafietplaten en -afdekkingen is een hoogwaardig product dat is ontworpen om gedurende een langere periode consistente en betrouwbare prestaties te leveren. Het heeft een uitstekende hittebestendigheid en thermische uniformiteit, een hoge zuiverheid en erosiebestendigheid, waardoor het de perfecte oplossing is voor toepassingen in de waferverwerking.

Stuur ons een e-mail. Downloaden als PDF

Productdetails

Productlabels

VET EnergieGrafietbak met siliciumcarbidecoatingDe plaat en de behuizing zijn ontworpen om topprestaties te leveren en zorgen voor een betrouwbare en consistente werking gedurende langdurig gebruik. Dit maakt ze een essentiële keuze voor waferverwerkingstoepassingen in de halfgeleiderindustrie. Deze hoogwaardige plaat en behuizing presteren uitstekend.Grafietplaat met siliciumcarbidecoatingHet materiaal beschikt over een uitzonderlijke hittebestendigheid, superieure thermische uniformiteit en uitstekende chemische stabiliteit, met name bij hoge temperaturen. De zeer zuivere constructie, in combinatie met geavanceerde erosiebestendigheid, maakt het onmisbaar voor veeleisende omgevingen zoals...MOCVD-gevoeligheid.

Belangrijkste kenmerken van de met siliciumcarbide gecoate grafietbak, -plaat en -afdekking

1. Weerstand tegen oxidatie bij hoge temperaturen:Het is bestand tegen temperaturen tot 1700℃, waardoor het betrouwbaar functioneert onder extreme omstandigheden.

2. Hoge zuiverheid en thermische uniformiteit:Een constante hoge zuiverheid en een gelijkmatige warmteverdeling zijn cruciaal voor MOCVD-toepassingen.

3. Uitzonderlijke corrosiebestendigheid:Bestand tegen zuren, basen, zouten en diverse organische reagentia, wat zorgt voor langdurige stabiliteit in uiteenlopende omgevingen.

4. Hoge hardheid en compact oppervlak:Het oppervlak is dicht en opgebouwd uit fijne deeltjes, wat de algehele duurzaamheid en slijtvastheid verbetert.

5. Verlengde levensduur:Ontworpen voor een lange levensduur, met betere prestaties dan conventionele producten.siliciumcarbide-gecoate grafietsusceptorenin veeleisende halfgeleiderverwerkingsomgevingen.

Hart- en vaatziekten SiC薄膜基本物理性能 Basis fysische eigenschappen van CVD SiCcoating
性质 / Eigendom	典型数值 / Typische waarde
Ik denk dat dit het geval is / Kristalstructuur	FCC β-fase多晶，主要为（111）取向
密度 / Dikte	3,21 g/cm³
硬度 / Hardheid	2500 维氏硬度(500g belasting)
晶粒大小 / Korrelgrootte	2~10 μm
纯度 / Chemische zuiverheid	99,99995%
热容 / Warmtecapaciteit	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimatietemperatuur	2700℃
Geen probleem / Buigsterkte	415 MPa RT 4-punts
杨氏模量 / Young's modulus	430 GPA 4-punts buiging, 1300℃
导热系数 / ThermalGeleidbaarheid	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Thermische uitzetting (CTE)	4,5×10^-6K^-1

De expertise van VET Energy in maatwerkoplossingen van grafiet en siliciumcarbide.

Als vertrouwde fabrikant is VET Energy gespecialiseerd in op maat ontworpen grafietsusceptoren en siliciumcarbide coatingoplossingen. We bieden een reeks producten die specifiek zijn ontwikkeld voor de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrie, waaronder:SiC-gecoate grafietcomponentenzoals dienbladen, borden en deksels. Ons productassortiment omvat ook diverse coatingopties, zoalsSiC-coating voor MOCVD, TaC-coating, glasachtige koolstofcoatingen een pyrolytische koolstofcoating, waardoor we voldoen aan de uiteenlopende eisen van hightechindustrieën.

Ons ervaren technische team, bestaande uit experts van vooraanstaande binnenlandse onderzoeksinstellingen, biedt klanten complete materiaaloplossingen. We verfijnen onze geavanceerde processen continu, waaronder een exclusieve gepatenteerde technologie die de hechting tussen de siliciumcarbidecoating en het grafietsubstraat verbetert, waardoor het risico op loslaten wordt verminderd en de levensduur van het product verder wordt verlengd.

Toepassingen en voordelen in de halfgeleiderproductie

DeSiliciumcarbidecoating voor MOCVDDit maakt deze grafiet-susceptoren zeer effectief in corrosieve omgevingen met hoge temperaturen. Of ze nu worden gebruikt als dragers voor grafietwafels of andere MOCVD-componenten, deze met siliciumcarbide gecoate susceptoren tonen superieure duurzaamheid en prestaties. Voor diegenen die op zoek zijn naar betrouwbare oplossingen in deSiC-gecoate grafiet-susceptorDe met siliciumcarbide gecoate grafietbak, -plaat en -deksel van VET Energy bieden een robuuste en veelzijdige oplossing die voldoet aan de strenge eisen van de halfgeleiderindustrie.

Door zich te richten op geavanceerde materiaalkunde, streeft VET Energy ernaar hoogwaardige SiC-gecoate grafietoplossingen te leveren die innovatie in de halfgeleiderverwerking stimuleren en betrouwbare prestaties garanderen in alle MOCVD-gerelateerde toepassingen.

VET Energy is een echte fabrikant van op maat gemaakte grafiet- en siliciumcarbideproducten met verschillende coatings zoals SiC-coating, TaC-coating, glasachtige koolstofcoating, pyrolytische koolstofcoating, enz., en kan diverse op maat gemaakte onderdelen leveren voor de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrie.

Ons technische team is afkomstig van vooraanstaande binnenlandse onderzoeksinstellingen en kan u professionelere materiaaloplossingen bieden.

We ontwikkelen voortdurend geavanceerde processen om steeds betere materialen te leveren en hebben een exclusieve, gepatenteerde technologie ontwikkeld die de hechting tussen de coating en het substraat sterker maakt en de kans op loslaten verkleint.

Wij heten u van harte welkom in onze fabriek. Laten we de mogelijkheden bespreken!