Grafiet bakplaat en deksel met siliciumcarbide coating

Grafiet bakplaat met siliciumcarbide coating en deksel, hoofdafbeelding

Korte beschrijving:

VET Energy grafietplaat en -afdekking met siliciumcarbidecoating is een hoogwaardig product dat is ontworpen om consistente en betrouwbare prestaties te leveren gedurende een lange periode. Het heeft een uitstekende hittebestendigheid en thermische uniformiteit, hoge zuiverheid en erosiebestendigheid, waardoor het de perfecte oplossing is voor waferverwerkingstoepassingen.

Stuur ons een e-mail Downloaden als PDF

Productdetails

Productlabels

VET EnergieGrafietbak met siliciumcarbidecoating, Plate en Cover zijn ontworpen om topprestaties te leveren en zorgen voor een betrouwbare en consistente werking gedurende langdurig gebruik. Dit maakt het een essentiële keuze voor waferverwerkingstoepassingen in de halfgeleiderindustrie. Deze hoogwaardigeGrafietplaat met siliciumcarbidecoatingpronkt met een uitzonderlijke hittebestendigheid, superieure thermische uniformiteit en uitstekende chemische stabiliteit, met name bij hoge temperaturen. De hoge zuiverheidsgraad, gecombineerd met geavanceerde erosiebestendigheid, maakt het onmisbaar voor veeleisende omgevingen zoalsMOCVD-susceptoren.

Belangrijkste kenmerken van siliciumcarbidecoating: grafietbak, plaat en deksel

1. Oxidatiebestendigheid bij hoge temperaturen:Bestand tegen temperaturen tot 1700℃, waardoor het apparaat betrouwbare prestaties levert onder extreme omstandigheden.

2. Hoge zuiverheid en thermische uniformiteit:Een consistente hoge zuiverheid en gelijkmatige warmteverdeling zijn cruciaal voor MOCVD-toepassingen.

3. Uitzonderlijke corrosiebestendigheid:Bestand tegen zuren, logen, zouten en diverse organische reagentia, waardoor langdurige stabiliteit in uiteenlopende omgevingen wordt gegarandeerd.

4. Hoge hardheid en compact oppervlak:Heeft een dicht oppervlak met fijne deeltjes, wat de algehele duurzaamheid en slijtvastheid verbetert.

5. Verlengde levensduur:Ontworpen voor een lange levensduur, beter presterend dan conventionelemet siliciumcarbide gecoate grafietsusceptorenin zware halfgeleiderverwerkingsomgevingen.

CVD SiC薄膜基本物理性能 Basisfysische eigenschappen van CVD SiCcoating
性质 / Eigendom	典型数值 / Typische waarde
Ik denk dat dit het geval is / Kristalstructuur	FCC β-fase多晶，主要为（111）取向
密度 / Dikte	3,21 g/cm³
硬度 / Hardheid	2500 维氏硬度(500g belasting)
晶粒大小 / Korrelgrootte	2~10μm
纯度 / Chemische zuiverheid	99,99995%
热容 / Warmtecapaciteit	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimatietemperatuur	2700℃
Ik denk dat dit het geval is / Buigsterkte	415 MPa RT 4-punts
杨氏模量 / Young's modulus	430 Gpa 4pt bocht, 1300℃
导热系数 / ThermaikGeleidbaarheid	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Thermische uitzetting (CTE)	4,5×10^-6K^-1

De expertise van VET Energy in op maat gemaakte grafiet- en siliciumcarbideoplossingen

Als betrouwbare fabrikant is VET Energy gespecialiseerd in op maat ontworpen grafietsusceptoren en siliciumcarbidecoatingoplossingen. We bieden een reeks producten op maat voor de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrie, waaronder:SiC-gecoate grafietcomponentenzoals trays, borden en deksels. Ons productassortiment omvat ook diverse coatingopties, zoalsSiC-coating voor MOCVD, TaC-coating, glasachtige koolstofcoatingen pyrolytische koolstofcoating. Daarmee voldoen we aan de uiteenlopende eisen van hightechindustrieën.

Ons ervaren technische team, bestaande uit experts van toonaangevende binnenlandse onderzoeksinstellingen, biedt klanten uitgebreide materiaaloplossingen. We verfijnen voortdurend onze geavanceerde processen, waaronder een exclusieve gepatenteerde technologie die de hechting tussen de siliciumcarbidecoating en het grafietsubstraat verbetert, waardoor het risico op losraken wordt verminderd en de levensduur van het product verder wordt verlengd.

Toepassingen en voordelen in de halfgeleiderproductie

DeSiliciumcarbidecoating voor MOCVDmaakt deze grafiet-susceptors zeer effectief in omgevingen met hoge temperaturen en corrosie. Of ze nu worden gebruikt als dragers voor grafietwafers of andere MOCVD-componenten, deze met siliciumcarbide gecoate susceptors vertonen superieure duurzaamheid en prestaties. Voor wie op zoek is naar betrouwbare oplossingen in deSiC-gecoate grafietsusceptorDe met siliciumcarbide gecoate grafietbak, -plaat en -deksel van VET Energy vormen een robuuste en veelzijdige optie die voldoet aan de strenge eisen van de halfgeleiderindustrie.

Met de focus op geavanceerde materiaalkunde streeft VET Energy ernaar hoogwaardige SiC-gecoate grafietoplossingen te leveren die innovatie in halfgeleiderverwerking stimuleren en betrouwbare prestaties garanderen in alle MOCVD-gerelateerde toepassingen.

VET Energy is de echte fabrikant van op maat gemaakte grafiet- en siliciumcarbideproducten met verschillende coatings, zoals SiC-coating, TaC-coating, glasachtige koolstofcoating, pyrolytische koolstofcoating, enz. en kan diverse op maat gemaakte onderdelen leveren voor de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrie.

Ons technische team is afkomstig van toonaangevende binnenlandse onderzoeksinstellingen en kan u voorzien van professionelere materiële oplossingen.

Wij ontwikkelen voortdurend geavanceerde processen om steeds geavanceerdere materialen te kunnen leveren. Ook hebben we een exclusieve, gepatenteerde technologie ontwikkeld waarmee de hechting tussen de coating en de ondergrond sterker wordt en er minder snel onthechting optreedt.

Wij nodigen u van harte uit om onze fabriek te bezoeken. Laten we eens nader met elkaar praten!