Графитовая подложка с покрытием из карбида кремния и крышка

Краткое описание:

Графитовая пластина и покрытие из карбида кремния VET Energy — это высокоэффективный продукт, разработанный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода времени. Он обладает превосходной термостойкостью и равномерностью распределения тепла, высокой чистотой и устойчивостью к эрозии, что делает его идеальным решением для обработки кремниевых пластин.

 

 


Подробная информация о товаре

Метки товаров

VET EnergyГрафитовый поддон с покрытием из карбида кремнияПластина и крышка разработаны для обеспечения высочайшей производительности, гарантируя надежную и стабильную работу в течение длительного времени, что делает их незаменимым выбором для обработки кремниевых пластин в полупроводниковой промышленности. Эта высокопроизводительная пластинаГрафитовая пластина с покрытием из карбида кремнияОбладает исключительной термостойкостью, превосходной равномерностью распределения тепла и выдающейся химической стабильностью, особенно в условиях высоких температур. Высокочистая конструкция в сочетании с повышенной стойкостью к эрозии делает его незаменимым для работы в сложных условиях, таких как...MOCVD-сусцепторы.

7

Основные характеристики графитового лотка, пластины и покрытия с покрытием из карбида кремния

1. Устойчивость к высокотемпературному окислению:Выдерживает температуру до 1700℃, что позволяет ему надежно работать в экстремальных условиях.

2. Высокая чистота и термическая однородность:Для применений в методе MOCVD крайне важны стабильно высокая чистота и равномерное распределение тепла.

3. Исключительная коррозионная стойкость:Устойчив к кислотам, щелочам, солям и различным органическим реагентам, что обеспечивает долговременную стабильность в разнообразных средах.

4. Высокая твердость и плотная поверхность:Обладает плотной поверхностью с мелкими частицами, что повышает общую прочность и износостойкость.

5. Увеличенный срок службы:Разработаны для долговечности, превосходят по характеристикам обычные аналоги.графитовые сусцепторы с покрытием из карбида кремнияв жестких условиях обработки полупроводников.

 

ССВ SiC薄膜基本物理性能

Основные физические свойства CVD SiCпокрытие

性质 / Свойство

典型数值 / Типичное значение

晶体结构 Кристаллическая структура

β-фаза ГЦК多晶,主要为(111)取向

密度 / Плотность

3,21 г/см³

硬度 / Твердость

2500 维氏硬度 (загрузка 500 г)

晶粒大小 / Размер зерна

2–10 мкм

纯度 / Химическая чистота

99,99995%

热容 / Теплоемкость

640 Дж·кг-1·К-1

升华温度 Температура сублимации

2700℃

抗弯强度 / Прочность на изгиб

415 МПа RT 4-точечный

杨氏模量 Модуль Юнга

4-точечный изгиб 430 ГПа, 1300℃

导热系数 / ТермалПроводимость

300 Вт·м-1·К-1

热膨胀系数 / Коэффициент теплового расширения (КТР)

4,5×10-6K-1

Компания VET Energy специализируется на разработке индивидуальных решений с использованием графита и карбида кремния.

Компания VET Energy, являясь надежным производителем, специализируется на разработке графитовых подложек по индивидуальному заказу и решений для нанесения покрытий из карбида кремния. Мы предлагаем широкий ассортимент продукции, адаптированной для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности, включая:Компоненты из графита с покрытием из карбида кремниянапример, подносы, тарелки и крышки. В нашем ассортименте продукции также представлены различные варианты покрытий, такие как:Покрытие из карбида кремния для MOCVD, покрытие TaC, стекловидное углеродное покрытиеа также пиролитическое углеродное покрытие, что позволяет нам удовлетворять разнообразные потребности высокотехнологичных отраслей промышленности.

Наша опытная техническая команда, состоящая из экспертов ведущих отечественных научно-исследовательских институтов, предоставляет клиентам комплексные решения в области материалов. Мы постоянно совершенствуем наши передовые процессы, включая эксклюзивную запатентованную технологию, которая улучшает сцепление между покрытием из карбида кремния и графитовой подложкой, снижая риск отслоения и дополнительно продлевая срок службы изделия.

Применение и преимущества в производстве полупроводников.

ОнПокрытие из карбида кремния для MOCVDЭто делает эти графитовые подложки высокоэффективными в высокотемпературных и агрессивных средах. Независимо от того, используются ли они в качестве подложек для графитовых пластин или других компонентов MOCVD, эти подложки с покрытием из карбида кремния демонстрируют превосходную долговечность и производительность. Для тех, кто ищет надежные решения в этой области.Графитовый сусцептор с покрытием из карбида кремнияНа рынке компания VET Energy предлагает надежные и универсальные лотки, пластины и крышки из графита с покрытием из карбида кремния, отвечающие строгим требованиям полупроводниковой промышленности.

Сосредоточившись на передовых технологиях материаловедения, компания VET Energy стремится предоставлять высокоэффективные решения на основе графита с покрытием из карбида кремния, которые стимулируют инновации в полупроводниковой промышленности и обеспечивают надежную работу во всех областях применения, связанных с MOCVD.

1

2

Компания VET Energy является производителем изделий из графита и карбида кремния с различными покрытиями, такими как SiC, TaC, стеклоуглерод, пиролитический углерод и др., и может поставлять различные детали на заказ для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности.

Наша техническая команда состоит из специалистов ведущих отечественных научно-исследовательских институтов и может предложить вам более профессиональные решения в области материалов.

Мы постоянно совершенствуем технологические процессы для получения более совершенных материалов и разработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая позволяет сделать сцепление между покрытием и подложкой более прочным и менее склонным к отслоению.

Мы будем рады видеть вас на нашем заводе, давайте обсудим все подробности!

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Предыдущий:
  • Следующий:

  • СОПУТСТВУЮЩИЕ ТОВАРЫ

    Онлайн-чат в WhatsApp!