ВЕТ ЭнергияГрафитовый поддон с покрытием из карбида кремния, Plate, and Cover разработан для обеспечения высочайшей производительности, надежной и стабильной работы при длительном использовании, что делает его незаменимым выбором для приложений обработки пластин в полупроводниковой промышленности. Этот высокопроизводительныйПокрытие графитовой пластины карбидом кремнияобладает исключительной термостойкостью, превосходной термической однородностью и выдающейся химической стабильностью, особенно в условиях высоких температур. Его высокочистая конструкция в сочетании с улучшенной эрозионной стойкостью делает его незаменимым для таких сложных условий, какРецепторы MOCVD.
Основные характеристики графитового поддона, пластины и крышки с покрытием из карбида кремния
1. Стойкость к высокотемпературному окислению:Выдерживает температуру до 1700℃, что позволяет ему надежно работать в экстремальных условиях.
2. Высокая чистота и термическая однородность:Постоянная высокая чистота и равномерное распределение тепла имеют решающее значение для применений MOCVD.
3. Исключительная коррозионная стойкость:Устойчив к воздействию кислот, щелочей, солей и различных органических реагентов, что обеспечивает долговременную стабильность в различных средах.
4. Высокая твердость и компактная поверхность:Имеет плотную поверхность с мелкими частицами, что повышает общую долговечность и устойчивость к износу.
5. Увеличенный срок службы:Разработано для долговечности, превосходит обычныеграфитовые токоприемники с покрытием из карбида кремнияв жестких условиях обработки полупроводников.
| ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основные физические свойства CVD SiCпокрытие | |
| 性质 / Свойство | 典型数值 / Типичное значение |
| 晶体结构 / Кристаллическая структура | FCC β фаза多晶,主要为(111)取向 |
| 密度 / Плотность | 3,21 г/см³ |
| 硬度 / Твёрдость | 2500 维氏硬度 (загрузка 500 г) |
| 晶粒大小 / Размер зерна | 2~10мкм |
| 纯度 / Химическая чистота | 99,99995% |
| 热容 / Теплоемкость | 640 Дж·кг-1·К-1 |
| 升华温度 / Температура сублимации | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Прочность на изгиб | 415 МПа RT 4-точечный |
| 杨氏模量 / Модуль Юнга | 430 ГПа 4-точечный изгиб, 1300℃ |
| 导热系数 / ТермалПроводимость | 300Вт·м-1·К-1 |
| 热膨胀系数 / Тепловое расширение (КТР) | 4,5×10-6K-1 |
Опыт VET Energy в индивидуальных решениях на основе графита и карбида кремния
Как надежный производитель, VET Energy специализируется на изготовлении графитовых токоприемников по индивидуальному заказу и решениях для покрытия карбида кремния. Мы предлагаем ряд продуктов, специально разработанных для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности, включаяГрафитовые компоненты с покрытием SiCкак подносы, тарелки и крышки. Наша линейка продукции также включает в себя различные варианты покрытия, такие какПокрытие SiC для MOCVD, покрытие TaC, стеклоуглеродное покрытиеи пиролитическое углеродное покрытие, что позволяет нам удовлетворять различные потребности высокотехнологичных отраслей промышленности.
Наша опытная техническая команда, в которую входят эксперты из ведущих отечественных научно-исследовательских институтов, предоставляет комплексные решения по материалам для клиентов. Мы постоянно совершенствуем наши передовые процессы, включая эксклюзивную запатентованную технологию, которая улучшает связь между покрытием из карбида кремния и графитовой подложкой, снижая риск отслоения и еще больше продлевая срок службы продукта.
Применение и преимущества в производстве полупроводников
TheПокрытие из карбида кремния для MOCVDделает эти графитовые токоприемники высокоэффективными в высокотемпературных, коррозионных средах. Независимо от того, используются ли они в качестве носителей графитовых пластин или других компонентов MOCVD, эти покрытые карбидом кремния токоприемники демонстрируют превосходную прочность и производительность. Для тех, кто ищет надежные решения вГрафитовый токоприемник с покрытием SiCНа рынке графитовые поддоны, пластины и крышки с покрытием из карбида кремния компании VET Energy представляют собой прочное и универсальное решение, отвечающее строгим требованиям полупроводниковой промышленности.
Сосредоточившись на передовой материаловедении, компания VET Energy стремится поставлять высокопроизводительные решения на основе графита с покрытием SiC, которые стимулируют инновации в области обработки полупроводников и обеспечивают надежную работу во всех областях применения, связанных с MOCVD.
Компания VET Energy является реальным производителем индивидуальных изделий из графита и карбида кремния с различными покрытиями, такими как покрытие SiC, покрытие TaC, стеклоуглеродное покрытие, пиролитическое углеродное покрытие и т. д., а также может поставлять различные индивидуальные детали для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности.
Наша техническая команда состоит из ведущих отечественных научно-исследовательских институтов и может предложить вам более профессиональные решения в области материалов.
Мы постоянно разрабатываем передовые процессы для производства более совершенных материалов и разработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая позволяет сделать связь между покрытием и подложкой более прочной и менее подверженной отслоению.
Приглашаем Вас посетить наш завод и обсудить детали!
-
Композитная лодка CFC из углерод-углеродного композита с покрытием CVD SiC...
-
CVD-покрытие карбид-углеродный композитный материал
-
Композитная пластина из углерод-углерода с покрытием SiC
-
Композитный стержень с покрытием CVD Sic, карбид кремния...
-
Графитовое покрытие форм для литья лодок
-
высокопрочная углеродная графитовая трубка, высокая плотность...
-
Графитовая подложка с покрытием из карбида кремния для...
-
Графитовые подложки/носители с карбидом кремния...
-
Покрытие из карбида кремния CVD MOCVD токоприемник
-
Графитовая пластина поддона с покрытием из карбида кремния и...
-
Покрытие поверхности графитовой трубки, графит малого размера...
-
силиконовое кольцо углеродное уплотнительное кольцо насос механический ...
-
Запуск нового продукта на основе ротора из углеродного графита в Китае
-
Ткань из активированного углеродного волокна, активированный уголь...







