Покрытие из карбида кремния Графитовая пластина и крышка лотка

Краткое описание:

Покрытие из графита и пластины с карбидом кремния VET Energy — это высокопроизводительный продукт, разработанный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода. Он обладает суперхорошей термостойкостью и термической однородностью, высокой чистотой, эрозионной стойкостью, что делает его идеальным решением для обработки пластин.

 


Подробности продукта

Теги продукта

ВЕТ ЭнергияГрафитовый поддон с покрытием из карбида кремния, Plate, and Cover разработан для обеспечения высочайшей производительности, надежной и стабильной работы при длительном использовании, что делает его незаменимым выбором для приложений обработки пластин в полупроводниковой промышленности. Этот высокопроизводительныйПокрытие графитовой пластины карбидом кремнияобладает исключительной термостойкостью, превосходной термической однородностью и выдающейся химической стабильностью, особенно в условиях высоких температур. Его высокочистая конструкция в сочетании с улучшенной эрозионной стойкостью делает его незаменимым для таких сложных условий, какРецепторы MOCVD.

7

Основные характеристики графитового поддона, пластины и крышки с покрытием из карбида кремния

1. Стойкость к высокотемпературному окислению:Выдерживает температуру до 1700℃, что позволяет ему надежно работать в экстремальных условиях.

2. Высокая чистота и термическая однородность:Постоянная высокая чистота и равномерное распределение тепла имеют решающее значение для применений MOCVD.

3. Исключительная коррозионная стойкость:Устойчив к воздействию кислот, щелочей, солей и различных органических реагентов, что обеспечивает долговременную стабильность в различных средах.

4. Высокая твердость и компактная поверхность:Имеет плотную поверхность с мелкими частицами, что повышает общую долговечность и устойчивость к износу.

5. Увеличенный срок службы:Разработано для долговечности, превосходит обычныеграфитовые токоприемники с покрытием из карбида кремнияв жестких условиях обработки полупроводников.

 

ССЗ SiC薄膜基本物理性能

Основные физические свойства CVD SiCпокрытие

性质 / Свойство

典型数值 / Типичное значение

晶体结构 / Кристаллическая структура

FCC β фаза多晶,主要为(111)取向

密度 / Плотность

3,21 г/см³

硬度 / Твёрдость

2500 维氏硬度 (загрузка 500 г)

晶粒大小 / Размер зерна

2~10мкм

纯度 / Химическая чистота

99,99995%

热容 / Теплоемкость

640 Дж·кг-1·К-1

升华温度 / Температура сублимации

2700℃

抗弯强度 / Прочность на изгиб

415 МПа RT 4-точечный

杨氏模量 / Модуль Юнга

430 ГПа 4-точечный изгиб, 1300℃

导热系数 / ТермалПроводимость

300Вт·м-1·К-1

热膨胀系数 / Тепловое расширение (КТР)

4,5×10-6K-1

Опыт VET Energy в индивидуальных решениях на основе графита и карбида кремния

Как надежный производитель, VET Energy специализируется на изготовлении графитовых токоприемников по индивидуальному заказу и решениях для покрытия карбида кремния. Мы предлагаем ряд продуктов, специально разработанных для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности, включаяГрафитовые компоненты с покрытием SiCкак подносы, тарелки и крышки. Наша линейка продукции также включает в себя различные варианты покрытия, такие какПокрытие SiC для MOCVD, покрытие TaC, стеклоуглеродное покрытиеи пиролитическое углеродное покрытие, что позволяет нам удовлетворять различные потребности высокотехнологичных отраслей промышленности.

Наша опытная техническая команда, в которую входят эксперты из ведущих отечественных научно-исследовательских институтов, предоставляет комплексные решения по материалам для клиентов. Мы постоянно совершенствуем наши передовые процессы, включая эксклюзивную запатентованную технологию, которая улучшает связь между покрытием из карбида кремния и графитовой подложкой, снижая риск отслоения и еще больше продлевая срок службы продукта.

Применение и преимущества в производстве полупроводников

TheПокрытие из карбида кремния для MOCVDделает эти графитовые токоприемники высокоэффективными в высокотемпературных, коррозионных средах. Независимо от того, используются ли они в качестве носителей графитовых пластин или других компонентов MOCVD, эти покрытые карбидом кремния токоприемники демонстрируют превосходную прочность и производительность. Для тех, кто ищет надежные решения вГрафитовый токоприемник с покрытием SiCНа рынке графитовые поддоны, пластины и крышки с покрытием из карбида кремния компании VET Energy представляют собой прочное и универсальное решение, отвечающее строгим требованиям полупроводниковой промышленности.

Сосредоточившись на передовой материаловедении, компания VET Energy стремится поставлять высокопроизводительные решения на основе графита с покрытием SiC, которые стимулируют инновации в области обработки полупроводников и обеспечивают надежную работу во всех областях применения, связанных с MOCVD.

1

2

Компания VET Energy является реальным производителем индивидуальных изделий из графита и карбида кремния с различными покрытиями, такими как покрытие SiC, покрытие TaC, стеклоуглеродное покрытие, пиролитическое углеродное покрытие и т. д., а также может поставлять различные индивидуальные детали для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности.

Наша техническая команда состоит из ведущих отечественных научно-исследовательских институтов и может предложить вам более профессиональные решения в области материалов.

Мы постоянно разрабатываем передовые процессы для производства более совершенных материалов и разработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая позволяет сделать связь между покрытием и подложкой более прочной и менее подверженной отслоению.

Приглашаем Вас посетить наш завод и обсудить детали!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 

 

 


  • Предыдущий:
  • Следующий:

  • СВЯЗАННЫЕ ТОВАРЫ

    Онлайн-чат WhatsApp!