Pelat jeung Panutup Baki Grafit Lapisan Silikon Karbida

Pedaran Singkat:

Pelat jeung panutup grafit palapis silikon karbida VET Energy mangrupa produk kinerja tinggi anu dirancang pikeun nyadiakeun kinerja anu konsisten jeung bisa diandelkeun dina jangka waktu anu lila. Produk ieu mibanda résistansi panas jeung keseragaman termal anu super alus, kamurnian anu luhur, résistansi erosi, sahingga jadi solusi anu sampurna pikeun aplikasi pamrosésan wafer.

 

 


Rincian Produk

Tag Produk

Énergi VETBaki Grafit Lapisan Silikon Karbida, Plate, sareng Cover direkayasa pikeun nganteurkeun kinerja tingkat luhur, nyayogikeun operasi anu tiasa dipercaya sareng konsisten salami panggunaan anu berkepanjangan, jantenkeun pilihan penting pikeun aplikasi pamrosésan wafer dina industri semikonduktor. Kinerja tinggi ieuPelat Grafit Lapisan Silikon Karbidamibanda résistansi panas anu luar biasa, keseragaman termal anu unggul, sareng stabilitas kimia anu luar biasa, khususna dina kaayaan suhu anu luhur. Konstruksi anu luhur kamurnianna, digabungkeun sareng résistansi erosi anu canggih, ngajantenkeun éta penting pisan pikeun lingkungan anu nungtut sapertosSuseptor MOCVD.

7

Fitur Utama Baki, Pelat, sareng Panutup Grafit Lapisan Silikon Karbida

1. Résistansi Oksidasi Suhu Luhur:Tahan suhu nepi ka 1700℃, ngamungkinkeun éta tiasa dianggo kalayan andal dina kaayaan anu ekstrim.

2. Kamurnian Luhur sareng Keseragaman Termal:Kamurnian anu luhur sareng konsisten sareng distribusi panas anu rata penting pisan pikeun aplikasi MOCVD.

3. Résistansi Korosi Anu Luar Biasa:Tahan kana asam, alkali, uyah, sareng rupa-rupa réagen organik, mastikeun stabilitas jangka panjang dina lingkungan anu rupa-rupa.

4. Karasa Luhur sareng Permukaan Kompak:Mibanda permukaan anu padet kalayan partikel anu lemes, ningkatkeun daya tahan sacara umum sareng résistansi kana karusakan.

5. Umur Layanan anu Diperpanjang:Dirancang pikeun umur panjang, langkung unggul tibatan anu konvensionalsuseptor grafit dilapis silikon karbidadina lingkungan pamrosésan semikonduktor anu kasar.

 

CVD (Panyakit Jantung jeung Lambung) SiC薄膜基本物理性能

Sipat fisik dasar CVD SiCpalapis

性质 / Harta

典型数值 / Nilai Khas

晶体结构 / Struktur Kristal

Fase β FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / Kapadetan

3,21 g/cm³

硬度 / Karasa

2500 维氏硬度(500g beban)

晶粒大小 / Ukuran Gandum

2 ~ 10μm

纯度 / Kamurnian Kimia

99.99995%

热容 / Kapasitas Panas

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Suhu Sublimasi

2700℃

抗弯强度 / Kakuatan Fleksibel

415 MPa RT 4-titik

杨氏模量 / Modulus Young

430 Gpa 4pt tikungan, 1300℃

导热系数 / TermalKonduktivitas

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Ékspansi Termal (CTE)

4.5×10-6K-1

Kaahlian VET Energy dina Solusi Grafit sareng Silikon Karbida Khusus

Salaku produsén anu dipercaya, VET Energy spesialisasi dina susceptor grafit anu dirancang khusus sareng solusi palapis silikon karbida. Kami nawiskeun rupa-rupa produk anu disaluyukeun pikeun industri semikonduktor sareng fotovoltaik, kalebetKomponen grafit anu dilapis SiCsapertos baki, piring, sareng panutup. Jajaran produk kami ogé kalebet rupa-rupa pilihan palapis, sapertosLapisan SiC pikeun MOCVD, Lapisan TaC, lapisan karbon kaca, sareng palapis karbon pirolitik, mastikeun kami nyumponan rupa-rupa paménta industri téknologi tinggi.

Tim téknis kami anu berpengalaman, anu diwangun ku para ahli ti lembaga panalungtikan domestik top, nyayogikeun solusi bahan anu komprehensif pikeun klien. Kami teras-terasan ngasah prosés canggih kami, kalebet téknologi anu dipatenkeun sacara éksklusif anu ningkatkeun beungkeutan antara lapisan silikon karbida sareng substrat grafit, ngirangan résiko coplok sareng langkung manjangkeun umur produk.

Aplikasi sareng Mangpaat dina Manufaktur Semikonduktor

TheLapisan Silikon Karbida pikeun MOCVDngajadikeun susceptor grafit ieu épéktip pisan dina lingkungan korosif suhu luhur. Naha dianggo salaku pembawa wafer grafit atanapi komponén MOCVD anu sanés, susceptor anu dilapis silikon karbida ieu nunjukkeun daya tahan sareng kinerja anu unggul. Pikeun anu milarian solusi anu tiasa dipercaya dinaSusceptor grafit dilapis SiCDi pasar, baki, pelat, sareng panutup grafit anu dilapis silikon karbida ti VET Energy nawiskeun pilihan anu kuat sareng serbaguna anu nyumponan paménta industri semikonduktor anu ketat.

Ku fokus kana élmu bahan canggih, VET Energy berkomitmen pikeun nganteurkeun solusi grafit dilapis SiC kinerja tinggi anu ngadorong inovasi dina pamrosésan semikonduktor sareng mastikeun kinerja anu tiasa dipercaya dina sadaya aplikasi anu aya hubunganana sareng MOCVD.

1

2

VET Energy nyaéta produsén asli produk grafit sareng silikon karbida khusus kalayan rupa-rupa lapisan sapertos lapisan SiC, lapisan TaC, lapisan karbon glassy, ​​lapisan karbon pirolitik, jsb., tiasa nyayogikeun rupa-rupa suku cadang khusus pikeun industri semikonduktor sareng fotovoltaik.

Tim téknis kami asalna ti lembaga panalungtikan domestik luhur, tiasa nyayogikeun solusi bahan anu langkung profésional pikeun anjeun.

Kami terus-terusan ngembangkeun prosés canggih pikeun nyayogikeun bahan anu langkung canggih, sareng parantos ngadamel téknologi anu dipatenkeun sacara éksklusif, anu tiasa ngajantenkeun beungkeutan antara palapis sareng substrat langkung pageuh sareng kirang rentan leupas.

Wilujeng sumping ka pabrik kami, hayu urang diskusi salajengna!

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Saméméhna:
  • Teras:

  • Obrolan Online WhatsApp!