VET EnergiSiliciumcarbidbelægning grafitbakke, Plate, and Cover er konstrueret til at levere ydeevne i topklasse, hvilket giver pålidelig og ensartet drift over længere tids brug, hvilket gør den til et vigtigt valg til waferbehandlingsapplikationer i halvlederindustrien. Denne højtydendeSiliciumcarbidbelægning grafitpladekan prale af enestående varmebestandighed, overlegen termisk ensartethed og enestående kemisk stabilitet, især under høje temperaturforhold. Dens konstruktion med høj renhed kombineret med avanceret erosionsbestandighed gør den uundværlig i krævende miljøer som f.eks.MOCVD-susceptorer.
Nøglefunktioner ved siliciumcarbidbelægning af grafitbakke, -plade og -dæksel
1. Modstand mod høj temperaturoxidation:Tåler temperaturer op til 1700 ℃, hvilket gør den pålidelig under ekstreme forhold.
2. Høj renhed og termisk ensartethed:Konsekvent høj renhed og jævn varmefordeling er afgørende for MOCVD-applikationer.
3. Enestående korrosionsbestandighed:Resistent over for syrer, alkalier, salte og forskellige organiske reagenser, hvilket sikrer langvarig stabilitet i forskellige miljøer.
4. Høj hårdhed og kompakt overflade:Har en tæt overflade med fine partikler, hvilket forbedrer den samlede holdbarhed og slidstyrke.
5. Forlænget levetid:Konstrueret til lang levetid, der overgår konventionellesiliciumcarbidbelagte grafitsusceptoreri barske halvlederbehandlingsmiljøer.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundlæggende fysiske egenskaber ved CVD SiCbelægning | |
| 性质 / Ejendom | 典型数值 / Typisk værdi |
| 晶体结构 / Krystalstruktur | FCC β-fase多晶,主要为(111)取向 |
| 密度 / Tæthed | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hårdhed | 2500 维氏硬度(500g belastning) |
| 晶粒大小 / Kornstørrelse | 2~10 μm |
| 纯度 / Kemisk renhed | 99,99995% |
| 热容 / Varmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Bøjningsstyrke | 415 MPa RT 4-punkts |
| 杨氏模量 / Youngs modul | 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalLedningsevne | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termisk ekspansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energys ekspertise inden for skræddersyede grafit- og siliciumcarbidløsninger
Som en betroet producent specialiserer VET Energy sig i specialdesignede grafitsusceptorer og siliciumcarbidbelægningsløsninger. Vi tilbyder en række produkter skræddersyet til halvleder- og solcelleindustrien, herunderSiC-belagte grafitkomponentersåsom bakker, tallerkener og låg. Vores produktsortiment omfatter også forskellige belægningsmuligheder, såsomSiC-belægning til MOCVD, TaC-belægning, glasagtig kulstofbelægningog pyrolytisk kulbelægning, hvilket sikrer, at vi opfylder de varierende krav fra højteknologiske industrier.
Vores erfarne tekniske team, der består af eksperter fra førende indenlandske forskningsinstitutioner, leverer omfattende materialeløsninger til kunder. Vi forfiner løbende vores avancerede processer, herunder en eksklusiv patenteret teknologi, der forbedrer bindingen mellem siliciumcarbidbelægningen og grafitsubstratet, hvilket reducerer risikoen for løsrivelse og yderligere forlænger produktets levetid.
Anvendelser og fordele inden for halvlederproduktion
DeSiliciumcarbidbelægning til MOCVDgør disse grafitsusceptorer yderst effektive i miljøer med høj temperatur og korrosive egenskaber. Uanset om de bruges som grafitwaferbærere eller andre MOCVD-komponenter, udviser disse siliciumcarbidbelagte susceptorer overlegen holdbarhed og ydeevne. For dem, der søger pålidelige løsninger inden forSiC-belagt grafitsusceptorVET Energys siliciumcarbidbelagte grafitbakke, -plade og -dæksel tilbyder en robust og alsidig løsning, der opfylder de strenge krav fra halvlederindustriens kernekraftværker.
Ved at fokusere på avanceret materialevidenskab er VET Energy forpligtet til at levere højtydende SiC-belagte grafitløsninger, der driver innovation inden for halvlederbehandling og sikrer pålidelig ydeevne i alle MOCVD-relaterede applikationer.
VET Energy er den egentlige producent af specialfremstillede grafit- og siliciumcarbidprodukter med forskellige belægninger som SiC-belægning, TaC-belægning, glasagtig kulstofbelægning, pyrolytisk kulstofbelægning osv. og kan levere forskellige specialfremstillede dele til halvleder- og solcelleindustrien.
Vores tekniske team kommer fra førende indenlandske forskningsinstitutioner og kan tilbyde dig mere professionelle materialeløsninger.
Vi udvikler løbende avancerede processer for at levere mere avancerede materialer, og har udviklet en eksklusiv patenteret teknologi, der kan gøre bindingen mellem belægningen og underlaget tættere og mindre tilbøjelig til at løsne sig.
Du er hjertelig velkommen til at besøge vores fabrik, lad os tale videre!
-
CVD SiC-belagt kulstof-kulstof-komposit CFC-båd...
-
CVD sic-belægning kulstof-kulstof kompositform
-
Kulstof-kulstof-kompositplade med SiC-belægning
-
CVD sic belægning cc kompositstang, siliciumkarbid ...
-
Grafitformbelægning af støbebåde
-
højstyrke kulstofgrafitrør, højdensitets...
-
Siliciumcarbidbelagt grafitsubstrat til ...
-
Grafitsubstrater/bærere med siliciumcarbid...
-
CVD siliciumcarbidbelægning MOCVD-susceptor
-
Siliciumkarbidbelægning Grafitbakkeplade og ...
-
Overfladebelægning grafitrør, lille grafit...
-
Silikone ring kulstof tætningsring pumpe mekanisk ...
-
Lancering af nyt produkt med kulstofgrafitrotor i Kina
-
Aktivt kulfiberstof, aktivt kul...







