Płyta i pokrywa tacki grafitowej z powłoką z węglika krzemu

Krótki opis:

Powłoka grafitowa z węglika krzemu VET Energy, płyta i pokrywa, to produkt o wysokiej wydajności, zaprojektowany z myślą o zapewnieniu stałej i niezawodnej pracy przez długi czas. Charakteryzuje się bardzo dobrą odpornością na ciepło i jednorodnością termiczną, wysoką czystością i odpornością na erozję, co czyni go idealnym rozwiązaniem do zastosowań w obróbce płytek półprzewodnikowych.

Wyślij do nas e-mail Pobierz jako PDF

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Energia VETTacka grafitowa z powłoką z węglika krzemuPłyta i pokrywa zostały zaprojektowane z myślą o zapewnieniu najwyższej wydajności, niezawodnej i stabilnej pracy przez długi czas użytkowania, co czyni je niezbędnym wyborem do zastosowań w obróbce płytek półprzewodnikowych w przemyśle półprzewodnikowym. Ten wysokowydajnyPłyta grafitowa z powłoką z węglika krzemuCharakteryzuje się wyjątkową odpornością na ciepło, doskonałą jednorodnością termiczną i znakomitą stabilnością chemiczną, szczególnie w warunkach wysokich temperatur. Wysoka czystość konstrukcji w połączeniu z zaawansowaną odpornością na erozję sprawia, że jest on niezastąpiony w wymagających środowiskach, takich jak:Susceptory MOCVD.

Główne cechy powłoki z węglika krzemu, tacki grafitowej, płyty i pokrywy

1. Odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze:Wytrzymuje temperatury do 1700℃, co pozwala na niezawodną pracę w ekstremalnych warunkach.

2. Wysoka czystość i jednorodność termiczna:Stała, wysoka czystość i równomierne rozprowadzanie ciepła są kluczowe w zastosowaniach MOCVD.

3. Wyjątkowa odporność na korozję:Odporne na działanie kwasów, zasad, soli i różnych odczynników organicznych, co gwarantuje długoterminową stabilność w różnorodnych środowiskach.

4. Wysoka twardość i zwarta powierzchnia:Posiada gęstą powierzchnię z drobnymi cząsteczkami, co zwiększa ogólną trwałość i odporność na zużycie.

5. Wydłużona żywotność:Zaprojektowane z myślą o długowieczności, przewyższające konwencjonalnesusceptory grafitowe pokryte węglikiem krzemuw trudnych warunkach przetwarzania półprzewodników.

CVD SiC薄膜基本物理性能 Podstawowe właściwości fizyczne SiC CVDpowłoka
性质 / Nieruchomość	典型数值 / Wartość typowa
晶体结构 / Struktura kryształu	Faza β FCC多晶, 主要为 (111) 取向
密度 / Gęstość	3,21 g/cm³
硬度 / Twardość	2500 维氏硬度 (ładunek 500g)
晶粒大小 / Rozmiar ziarna	2~10μm
纯度 / Czystość chemiczna	99,99995%
热容 / Pojemność cieplna	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacji	2700℃
抗弯强度 / Wytrzymałość na zginanie	415 MPa RT 4-punktowy
杨氏模量 / Moduł Younga	430 Gpa 4-punktowe zgięcie, 1300℃
导热系数 / ThermajaPrzewodność	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Rozszerzalność cieplna (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Ekspertyza VET Energy w zakresie niestandardowych rozwiązań z grafitu i węglika krzemu

Jako zaufany producent, VET Energy specjalizuje się w projektowanych na zamówienie rozwiązaniach z zakresu susceptorów grafitowych i powłok z węglika krzemu. Oferujemy gamę produktów dostosowanych do potrzeb przemysłu półprzewodnikowego i fotowoltaicznego, w tym:Komponenty grafitowe pokryte SiCtakie jak tace, talerze i pokrywki. Nasza oferta produktów obejmuje również różnorodne opcje powłok, takie jakPowłoka SiC do MOCVD, Powłoka TaC, powłoka z węgla szklistegooraz powłokę z węgla pirolitycznego, co pozwala nam sprostać zróżnicowanym wymaganiom branż high-tech.

Nasz doświadczony zespół techniczny, składający się z ekspertów z czołowych krajowych instytutów badawczych, zapewnia klientom kompleksowe rozwiązania materiałowe. Stale udoskonalamy nasze zaawansowane procesy, w tym opatentowaną technologię, która wzmacnia wiązanie między powłoką z węglika krzemu a podłożem grafitowym, zmniejszając ryzyko odwarstwienia i dodatkowo wydłużając żywotność produktu.

Zastosowania i korzyści w produkcji półprzewodników

TenPowłoka z węglika krzemu do MOCVDDzięki temu te grafitowe susceptory są niezwykle skuteczne w środowiskach o wysokiej temperaturze i korozyjności. Niezależnie od tego, czy są stosowane jako nośniki płytek grafitowych, czy inne komponenty MOCVD, te pokryte węglikiem krzemu susceptory charakteryzują się wyjątkową trwałością i wydajnością. Dla tych, którzy szukają niezawodnych rozwiązań wSusceptor grafitowy pokryty SiCNa rynku dostępne są tacki, płyty i pokrywy grafitowe pokryte węglikiem krzemu firmy VET Energy, które stanowią solidne i wszechstronne rozwiązanie spełniające rygorystyczne wymagania branży półprzewodników.

Koncentrując się na zaawansowanej nauce o materiałach, VET Energy stawia sobie za cel dostarczanie wysokowydajnych rozwiązań w zakresie grafitu powlekanego SiC, które napędzają innowacje w przetwórstwie półprzewodników i gwarantują niezawodną pracę we wszystkich zastosowaniach związanych z MOCVD.

VET Energy to prawdziwy producent niestandardowych produktów z grafitu i węglika krzemu z różnymi powłokami, takimi jak powłoka SiC, powłoka TaC, powłoka z węgla szklistego, powłoka z węgla pirolitycznego itp., mogący dostarczać różnorodne niestandardowe części dla przemysłu półprzewodnikowego i fotowoltaicznego.

Nasz zespół techniczny składa się z pracowników czołowych krajowych instytutów badawczych i może dostarczyć Państwu bardziej profesjonalne rozwiązania materiałowe.

Nieustannie udoskonalamy zaawansowane procesy, aby dostarczać coraz lepsze materiały. Opracowaliśmy również opatentowaną technologię, która sprawia, że wiązanie między powłoką a podłożem jest silniejsze i mniej podatne na odrywanie.

Serdecznie zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki, porozmawiajmy!