Графитна плоча и капак за послужавник со силициум карбиден слој

Графитна плоча и капак за послужавник со силициум карбиден премаз

Краток опис:

Графитната плоча и обвивка VET Energy со силициум карбиден премаз е високо-перформансен производ дизајниран да обезбеди конзистентни и сигурни перформанси во подолг временски период. Има супер добра отпорност на топлина и термичка униформност, висока чистота, отпорност на ерозија, што го прави совршено решение за апликации за обработка на плочки.

Испратете ни е-пошта Преземи како PDF

Детали за производот

Ознаки на производи

VET ЕнергијаГрафитна лента со силициум карбиден слој, Плоча и Капак се конструирани да испорачаат врвни перформанси, обезбедувајќи сигурна и конзистентна работа при продолжена употреба, што го прави суштински избор за апликации за обработка на плочки во полупроводничката индустрија. Овој високо-перформансенГрафитна плоча со силициум карбиден слојсе одликува со исклучителна отпорност на топлина, супериорна термичка униформност и извонредна хемиска стабилност, особено во услови на висока температура. Неговата конструкција со висока чистота, заедно со напредната отпорност на ерозија, го прави неопходен за тешки средини како што сеMOCVD сусцептори.

Клучни карактеристики на графитната лента, плочата и капакот со силициум карбиден слој

1. Отпорност на оксидација на висока температура:Издржува температури до 1700℃, што му овозможува сигурно работење во екстремни услови.

2. Висока чистота и термичка униформност:Доследната висока чистота и рамномерната распределба на топлината се од клучно значење за MOCVD апликациите.

3. Исклучителна отпорност на корозија:Отпорен на киселини, алкалии, соли и разни органски реагенси, обезбедувајќи долгорочна стабилност во различни средини.

4. Висока тврдост и компактна површина:Се одликува со густа површина со фини честички, подобрувајќи ја целокупната издржливост и отпорност на абење.

5. Продолжен работен век:Создаден за долготрајност, надминувајќи ги конвенционалнитеграфитни сусцептори обложени со силициум карбидво сурови средини за обработка на полупроводници.

КВБ SiC薄膜基本物理性能 Основни физички својства на CVD SiCоблога
性质 / Имот	典型数值 / Типична вредност
晶体结构 / Кристална структура	FCC β фаза多晶，主要为（111).
密度 / Густина	3,21 g/cm³
硬度 / Тврдост	2500 维氏硬度 (500 g оптоварување)
晶粒大小 / Големина на зрно	2~10μm
纯度 / Хемиска чистота	99,99995%
热容 / Топлински капацитет	640 J·kg^-1·К^-1
升华温度 / Температура на сублимација	2700℃
抗弯强度 / Јачина на свиткување	415 MPa RT 4-точка
杨氏模量 / Јангов модул	430 Gpa 4pt свиткување, 1300℃
导热系数 / ТермалСпроводливост	300W·m^-1·К^-1
热膨胀系数 / Термичка експанзија (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Експертизата на VET Energy во прилагодени решенија од графит и силициум карбид

Како доверлив производител, VET Energy е специјализирана за графитни сусцептори со посебен дизајн и решенија за обложување од силициум карбид. Нудиме низа производи прилагодени за полупроводничката и фотоволтаичната индустрија, вклучувајќиГрафитни компоненти обложени со SiCкако послужавници, чинии и капаци. Нашата линија на производи вклучува и разновидни опции за обложување, како што сеSiC облога за MOCVD, TaC облога, стаклен јаглероден слоји пиролитички јаглероден премаз, со што се обезбедува задоволување на различните барања на високотехнолошките индустрии.

Нашиот искусен технички тим, составен од експерти од врвни домашни истражувачки институции, им обезбедува сеопфатни материјални решенија на клиентите. Постојано ги усовршуваме нашите напредни процеси, вклучувајќи ексклузивна патентирана технологија што го подобрува поврзувањето помеѓу силициум карбидниот слој и графитната подлога, намалувајќи го ризикот од одлепување и дополнително продолжувајќи го животниот век на производот.

Примени и придобивки во производството на полупроводници

НаОблога од силициум карбид за MOCVDги прави овие графитни сусцептори многу ефикасни во високотемпературни, корозивни средини. Без разлика дали се користат како носачи на графитни плочки или други MOCVD компоненти, овие сусцептори обложени со силициум карбид покажуваат супериорна издржливост и перформанси. За оние кои бараат сигурни решенија воГрафитен сусцептор обложен со SiCНа пазарот, графитната подлога, плочата и капакот на VET Energy, обложени со силициум карбид, нудат робусна и разновидна опција што ги задоволува ригорозните барања на полупроводничката индустрија.

Со фокусирање на напредна наука за материјали, VET Energy е посветена на испорака на високо-перформансни графитни решенија обложени со SiC кои ја поттикнуваат иновацијата во обработката на полупроводници и обезбедуваат сигурни перформанси во сите апликации поврзани со MOCVD.

VET Energy е вистински производител на производи од графит и силициум карбид по нарачка со различни премази како што се SiC премази, TaC премази, стаклен јаглерод, пиролитички јаглеродни премази итн., и може да испорача разни делови по нарачка за полупроводничка и фотоволтаична индустрија.

Нашиот технички тим доаѓа од врвни домашни истражувачки институции, може да ви обезбеди попрофесионални материјални решенија.

Постојано развиваме напредни процеси за да обезбедиме понапредни материјали и развивме ексклузивна патентирана технологија, која може да го направи поврзувањето помеѓу премазот и подлогата поцврсто и помалку подложно на одлепување.

Топло ве поздравуваме да ја посетите нашата фабрика, ајде да разговараме понатаму!