Tấm lót và nắp bằng than chì phủ cacbua silic.

Hình ảnh nổi bật: Khay, tấm và nắp bằng than chì phủ cacbua silic.

Mô tả ngắn gọn:

Tấm và vỏ graphite phủ silicon carbide của VET Energy là sản phẩm hiệu suất cao được thiết kế để cung cấp hiệu suất ổn định và đáng tin cậy trong thời gian dài. Sản phẩm có khả năng chịu nhiệt và độ đồng đều nhiệt tuyệt vời, độ tinh khiết cao, khả năng chống ăn mòn, trở thành giải pháp hoàn hảo cho các ứng dụng xử lý wafer.

Gửi email cho chúng tôi Tải xuống dưới dạng PDF

Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Năng lượng VETKhay than chì phủ cacbua silicTấm đế và nắp đậy được thiết kế để mang lại hiệu suất hàng đầu, cung cấp hoạt động đáng tin cậy và ổn định trong thời gian sử dụng kéo dài, trở thành lựa chọn thiết yếu cho các ứng dụng xử lý wafer trong ngành công nghiệp bán dẫn. Hiệu suất cao nàyTấm than chì phủ cacbua silicSản phẩm này sở hữu khả năng chịu nhiệt vượt trội, độ đồng nhất nhiệt cao và độ ổn định hóa học xuất sắc, đặc biệt trong điều kiện nhiệt độ cao. Cấu tạo có độ tinh khiết cao, kết hợp với khả năng chống ăn mòn tiên tiến, khiến nó trở nên không thể thiếu trong các môi trường khắc nghiệt như...các yếu tố nhạy cảm MOCVD.

Các tính năng chính của khay, tấm và nắp phủ than chì phủ silicon carbide

1. Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao:Có khả năng chịu được nhiệt độ lên đến 1700℃, cho phép thiết bị hoạt động đáng tin cậy trong điều kiện khắc nghiệt.

2. Độ tinh khiết cao và tính đồng nhất nhiệt:Độ tinh khiết cao ổn định và phân bố nhiệt đồng đều là yếu tố then chốt đối với các ứng dụng MOCVD.

3. Khả năng chống ăn mòn vượt trội:Có khả năng chống lại axit, kiềm, muối và nhiều chất phản ứng hữu cơ khác nhau, đảm bảo độ ổn định lâu dài trong nhiều môi trường khác nhau.

4. Độ cứng cao và bề mặt đặc chắc:Sản phẩm có bề mặt dày đặc với các hạt mịn, giúp cải thiện độ bền tổng thể và khả năng chống mài mòn.

5. Tuổi thọ sử dụng kéo dài:Được thiết kế để có tuổi thọ cao, vượt trội so với các sản phẩm thông thường.chất hấp thụ than chì phủ cacbua silictrong môi trường xử lý bán dẫn khắc nghiệt.

Bệnh tim mạch SiC薄膜基本物理性能 Các tính chất vật lý cơ bản của SiC CVDlớp phủ
性质 / Tài sản	典型数值 Giá trị điển hình
晶体结构 Cấu trúc tinh thể	Pha β của FCC多晶, 主要为（111)取向
密度 / Tỉ trọng	3,21 g/cm³
硬度 Độ cứng	2500 维氏硬度(tải 500g)
晶粒大小 / Kích thước hạt	2~10μm
纯度 Độ tinh khiết hóa học	99,99995%
热容 / Dung lượng nhiệt	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 Nhiệt độ thăng hoa	2700℃
抗弯强度 Sức mạnh uốn cong	415 MPa RT 4 điểm
杨氏模量 Mô đun Young	Uốn cong 4 điểm, 430 GPa, 1300℃
导热系数 / ThermalĐộ dẫn điện	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 Hệ số giãn nở nhiệt (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Chuyên môn của VET Energy trong các giải pháp than chì và cacbua silic tùy chỉnh.

Là một nhà sản xuất đáng tin cậy, VET Energy chuyên về các giải pháp thiết kế riêng cho chất hấp thụ than chì và lớp phủ silicon carbide. Chúng tôi cung cấp một loạt các sản phẩm được thiết kế riêng cho ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện, bao gồm:Các thành phần than chì phủ SiCnhư khay, đĩa và nắp đậy. Dòng sản phẩm của chúng tôi cũng bao gồm nhiều lựa chọn lớp phủ khác nhau, chẳng hạn nhưLớp phủ SiC cho MOCVD, Lớp phủ TaC, lớp phủ carbon thủy tinhvà lớp phủ carbon nhiệt phân, đảm bảo đáp ứng được các yêu cầu đa dạng của các ngành công nghệ cao.

Đội ngũ kỹ thuật giàu kinh nghiệm của chúng tôi, bao gồm các chuyên gia từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, cung cấp các giải pháp vật liệu toàn diện cho khách hàng. Chúng tôi liên tục hoàn thiện các quy trình tiên tiến của mình, bao gồm cả công nghệ độc quyền được cấp bằng sáng chế giúp tăng cường độ bám dính giữa lớp phủ silicon carbide và chất nền graphite, giảm nguy cơ bong tróc và kéo dài tuổi thọ sản phẩm.

Ứng dụng và lợi ích trong sản xuất chất bán dẫn

CáiLớp phủ Silicon Carbide cho MOCVDĐiều này làm cho các chất hấp thụ than chì này cực kỳ hiệu quả trong môi trường nhiệt độ cao và ăn mòn. Cho dù được sử dụng làm giá đỡ tấm bán dẫn than chì hay các thành phần MOCVD khác, các chất hấp thụ được phủ silicon carbide này đều thể hiện độ bền và hiệu suất vượt trội. Đối với những người đang tìm kiếm các giải pháp đáng tin cậy trong lĩnh vực này...Bộ cảm biến than chì phủ SiCTrên thị trường, khay, tấm và nắp bằng than chì phủ silicon carbide của VET Energy cung cấp một lựa chọn mạnh mẽ và linh hoạt, đáp ứng các yêu cầu khắt khe của ngành công nghiệp bán dẫn.

Bằng cách tập trung vào khoa học vật liệu tiên tiến, VET Energy cam kết cung cấp các giải pháp than chì phủ SiC hiệu suất cao, thúc đẩy sự đổi mới trong quy trình chế tạo bán dẫn và đảm bảo hiệu suất đáng tin cậy trong tất cả các ứng dụng liên quan đến MOCVD.

VET Energy là nhà sản xuất thực sự các sản phẩm than chì và cacbua silic tùy chỉnh với các lớp phủ khác nhau như lớp phủ SiC, lớp phủ TaC, lớp phủ cacbon thủy tinh, lớp phủ cacbon nhiệt phân, v.v., có thể cung cấp nhiều linh kiện tùy chỉnh cho ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện.

Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp cho bạn các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn.

Chúng tôi liên tục phát triển các quy trình tiên tiến để cung cấp các vật liệu chất lượng cao hơn, và đã phát triển một công nghệ độc quyền được cấp bằng sáng chế, giúp tăng cường độ bám dính giữa lớp phủ và chất nền, đồng thời giảm nguy cơ bong tróc.

Rất hân hạnh được đón tiếp quý khách đến thăm nhà máy của chúng tôi, hãy cùng trao đổi thêm nhé!