Silicio karbido danga dengta grafito padėklo plokštė ir dangtis

Trumpas aprašymas:

„VET Energy“ silicio karbido danga dengta grafito plokštė ir dangtis yra aukštos kokybės produktas, sukurtas užtikrinti pastovų ir patikimą veikimą ilgą laiką. Jis pasižymi itin geru atsparumu karščiui ir terminiu vienodumu, dideliu grynumu, atsparumu erozijai, todėl tai puikus sprendimas plokštelių apdorojimo reikmėms.

 


Produkto informacija

Produkto žymės

Profesinio mokymo energijaSilicio karbido danga padengtas grafito dėklas„Plate, and Cover“ sukurti taip, kad užtikrintų aukščiausio lygio našumą, patikimą ir nuoseklų veikimą ilgalaikio naudojimo metu, todėl tai yra esminis pasirinkimas puslaidininkių pramonės plokštelių apdorojimo reikmėms. Šis didelio našumoSilicio karbido danga grafito plokštėpasižymi išskirtiniu atsparumu karščiui, puikiu terminiu vienodumu ir puikiu cheminiu stabilumu, ypač esant aukštai temperatūrai. Dėl didelio grynumo konstrukcijos ir pažangaus atsparumo erozijai jis yra nepakeičiamas sudėtingose ​​aplinkose, tokiose kaipMOCVD susceptoriai.

7

Pagrindinės silicio karbido dangos grafito dėklo, plokštės ir dangčio savybės

1. Atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje:Atlaiko iki 1700 ℃ temperatūrą, todėl gali patikimai veikti ekstremaliomis sąlygomis.

2. Didelis grynumas ir terminis vienodumas:MOCVD taikymams labai svarbu nuoseklus didelis grynumas ir tolygus šilumos pasiskirstymas.

3. Išskirtinis atsparumas korozijai:Atsparus rūgštims, šarmams, druskoms ir įvairiems organiniams reagentams, užtikrinantis ilgalaikį stabilumą įvairiose aplinkose.

4. Didelis kietumas ir kompaktiškas paviršius:Pasižymi tankiu paviršiumi su smulkiomis dalelėmis, kurios pagerina bendrą patvarumą ir atsparumą dilimui.

5. Ilgesnis tarnavimo laikas:Sukurtas ilgaamžiškumui, pranokstantis įprastussilicio karbidu padengti grafito susceptoriaiatšiauriose puslaidininkių apdorojimo aplinkose.

 

ŠSD SiC薄膜基本物理性能

Pagrindinės CVD SiC fizinės savybėsdanga

性质 / Nekilnojamasis turtas

典型数值 / Tipinė vertė

晶体结构 / Kristalų struktūra

FCC β fazė多晶,主要为(111)取向

密度 Tankis

3,21 g/cm³

硬度 / Kietumas

2500 维氏硬度 (500 g apkrova)

晶粒大小 Grūdų dydis

2–10 μm

纯度 / Cheminis grynumas

99,99995%

热容 / Šilumos talpa

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimacijos temperatūra

2700 ℃

抗弯强度 / Lenkimo stipris

415 MPa RT 4 taškų

杨氏模量 / Youngo modulis

430 Gpa 4pt lenkimas, 1300 ℃

导热系数 / TermalLaidumas

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Šiluminis plėtimasis (CTE)

4,5 × 10-6K-1

„VET Energy“ patirtis individualiai pritaikytų grafito ir silicio karbido sprendimų srityje

Būdami patikimu gamintoju, „VET Energy“ specializuojasi pagal užsakymą suprojektuotų grafitinių susceptorių ir silicio karbido dangų sprendimų gamyboje. Siūlome platų gaminių asortimentą, pritaikytą puslaidininkių ir fotovoltinių įrenginių pramonei, įskaitantSiC dengti grafito komponentaipavyzdžiui, padėklus, lėkštes ir dangčius. Mūsų gaminių asortimente taip pat yra įvairių dangų variantų, tokių kaipSiC danga MOCVD sistemoms, TaC danga, stiklinė anglies dangair pirolizės anglies danga, užtikrinant, kad patenkintume įvairius aukštųjų technologijų pramonės poreikius.

Mūsų patyrusi techninė komanda, sudaryta iš ekspertų iš geriausių šalies mokslinių tyrimų institucijų, teikia klientams išsamius medžiagų sprendimus. Mes nuolat tobuliname savo pažangius procesus, įskaitant išskirtinę patentuotą technologiją, kuri pagerina silicio karbido dangos ir grafito pagrindo sukibimą, sumažindama atsiskyrimo riziką ir dar labiau pailgindama gaminio tarnavimo laiką.

Taikymas ir privalumai puslaidininkių gamyboje

TheSilicio karbido danga MOCVDDėl to šie grafitiniai susceptoriai yra labai veiksmingi aukštoje temperatūroje ir korozinėje aplinkoje. Nesvarbu, ar jie naudojami kaip grafito plokštelių laikikliai, ar kaip kiti MOCVD komponentai, šie silicio karbidu padengti susceptoriai pasižymi išskirtiniu patvarumu ir našumu. Tiems, kurie ieško patikimų sprendimųSiC dengtas grafito susceptorius„VET Energy“ silicio karbidu padengtas grafito padėklas, plokštė ir dangtis rinkoje siūlo tvirtą ir universalų variantą, atitinkantį griežtus puslaidininkių pramonės reikalavimus.

Koncentruodamasi į pažangų medžiagų mokslą, „VET Energy“ yra įsipareigojusi tiekti aukštos kokybės SiC dengtus grafito sprendimus, kurie skatina inovacijas puslaidininkių apdirbime ir užtikrina patikimą veikimą visose su MOCVD susijusiose srityse.

1

2

„VET Energy“ yra tikrasis individualiai pritaikytų grafito ir silicio karbido gaminių su įvairiomis dangomis, tokiomis kaip SiC, TaC, stiklinės anglies, pirolizės anglies ir kt., gamintojas, galintis tiekti įvairias individualiai pritaikytas dalis puslaidininkių ir fotovoltinių įrenginių pramonei.

Mūsų techninė komanda yra iš geriausių šalies mokslinių tyrimų institucijų, gali pasiūlyti jums profesionalesnių medžiagų sprendimų.

Nuolat tobuliname pažangius procesus, kad galėtume tiekti pažangesnes medžiagas, ir sukūrėme išskirtinę patentuotą technologiją, kuri gali sustiprinti dangos ir pagrindo sukibimą ir sumažinti jautrumą atsiskyrimui.

Nuoširdžiai kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje, aptarkime daugiau!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 

 

 


  • Ankstesnis:
  • Toliau:

  • „WhatsApp“ internetinis pokalbis!