Pelat dan Penutup Baki Grafit dengan Lapisan Silikon Karbida

Deskripsi Singkat:

Pelat dan penutup grafit berlapis silikon karbida VET Energy adalah produk berkinerja tinggi yang dirancang untuk memberikan kinerja yang konsisten dan andal dalam jangka waktu yang lama. Produk ini memiliki ketahanan panas dan keseragaman termal yang sangat baik, kemurnian tinggi, serta ketahanan terhadap erosi, menjadikannya solusi sempurna untuk aplikasi pemrosesan wafer.

Kirim email kepada kami Unduh sebagai PDF

Detail Produk

Label Produk

Energi VETBaki Grafit dengan Lapisan Silikon Karbida, Plate, and Cover dirancang untuk memberikan kinerja terbaik, menyediakan pengoperasian yang andal dan konsisten dalam penggunaan jangka panjang, menjadikannya pilihan penting untuk aplikasi pemrosesan wafer di industri semikonduktor. Kinerja tinggi iniPelat Grafit dengan Lapisan Silikon KarbidaMemiliki ketahanan panas yang luar biasa, keseragaman termal yang unggul, dan stabilitas kimia yang luar biasa, terutama dalam kondisi suhu tinggi. Konstruksinya yang sangat murni, ditambah dengan ketahanan erosi yang canggih, menjadikannya sangat diperlukan untuk lingkungan yang menuntut seperti...Penerima MOCVD.

Fitur Utama Baki, Pelat, dan Penutup Grafit dengan Lapisan Silikon Karbida

1. Ketahanan Oksidasi Suhu Tinggi:Mampu menahan suhu hingga 1700℃, sehingga dapat berfungsi dengan andal dalam kondisi ekstrem.

2. Kemurnian Tinggi dan Keseragaman Termal:Kemurnian tinggi yang konsisten dan distribusi panas yang merata sangat penting untuk aplikasi MOCVD.

3. Ketahanan Korosi yang Luar Biasa:Tahan terhadap asam, basa, garam, dan berbagai reagen organik, sehingga menjamin stabilitas jangka panjang di berbagai lingkungan.

4. Kekerasan Tinggi dan Permukaan Padat:Memiliki permukaan padat dengan partikel halus, sehingga meningkatkan daya tahan dan ketahanan terhadap keausan secara keseluruhan.

5. Masa Pakai yang Lebih Panjang:Dirancang untuk ketahanan jangka panjang, mengungguli kinerja konvensional.susseptor grafit berlapis silikon karbidadalam lingkungan pemrosesan semikonduktor yang keras.

Penyakit kardiovaskular SiC薄膜基本物理性能 Sifat fisik dasar SiC CVDlapisan
性质 / Properti	典型数值 / Nilai Khas
晶体结构 / Struktur Kristal	Fase β FCC多晶,主要为（111）取向
密度 / Kepadatan	3,21 g/cm³
硬度 / Kekerasan	2500 维氏硬度（beban 500g）
晶粒大小 Ukuran Butir	2~10μm
纯度 Kemurnian Kimiawi	99,99995%
热容 / Kapasitas Panas	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 Suhu Sublimasi	2700℃
抗弯强度 Kekuatan Lentur	415 MPa RT 4-titik
杨氏模量 Modulus Young	430 Gpa 4pt bend, 1300℃
导热系数 / ThermalDaya konduksi	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Keahlian VET Energy dalam Solusi Grafit dan Silikon Karbida yang Disesuaikan

Sebagai produsen terpercaya, VET Energy mengkhususkan diri dalam susceptor grafit yang dirancang khusus dan solusi pelapisan silikon karbida. Kami menawarkan berbagai produk yang disesuaikan untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik, termasukKomponen grafit berlapis SiCseperti nampan, piring, dan penutup. Jajaran produk kami juga mencakup beragam pilihan pelapis, sepertiPelapisan SiC untuk MOCVD, Lapisan TaC, lapisan karbon kacadan pelapisan karbon pirolitik, memastikan kami memenuhi berbagai tuntutan industri teknologi tinggi.

Tim teknis kami yang berpengalaman, terdiri dari para ahli dari lembaga penelitian domestik terkemuka, menyediakan solusi material komprehensif untuk klien. Kami terus menyempurnakan proses canggih kami, termasuk teknologi eksklusif yang dipatenkan yang meningkatkan ikatan antara lapisan silikon karbida dan substrat grafit, mengurangi risiko terlepas dan memperpanjang umur produk.

Aplikasi dan Manfaat dalam Manufaktur Semikonduktor

ItuPelapisan Silikon Karbida untuk MOCVDHal ini membuat susceptor grafit ini sangat efektif di lingkungan bersuhu tinggi dan korosif. Baik digunakan sebagai pembawa wafer grafit atau komponen MOCVD lainnya, susceptor berlapis silikon karbida ini menunjukkan daya tahan dan kinerja yang unggul. Bagi mereka yang mencari solusi andal dalamSusceptor grafit berlapis SiCDi pasar ini, baki, pelat, dan penutup grafit berlapis silikon karbida dari VET Energy menawarkan pilihan yang kokoh dan serbaguna yang memenuhi tuntutan ketat industri semikonduktor.

Dengan berfokus pada ilmu material tingkat lanjut, VET Energy berkomitmen untuk menghadirkan solusi grafit berlapis SiC berkinerja tinggi yang mendorong inovasi dalam pemrosesan semikonduktor dan memastikan kinerja yang andal dalam semua aplikasi terkait MOCVD.

VET Energy adalah produsen sejati produk grafit dan silikon karbida yang disesuaikan dengan berbagai lapisan seperti lapisan SiC, lapisan TaC, lapisan karbon kaca, lapisan karbon pirolitik, dll., dan dapat memasok berbagai komponen yang disesuaikan untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik.

Tim teknis kami berasal dari lembaga penelitian terkemuka di dalam negeri, dan dapat memberikan solusi material yang lebih profesional untuk Anda.

Kami terus mengembangkan proses-proses canggih untuk menyediakan material yang lebih maju, dan telah mengembangkan teknologi eksklusif yang dipatenkan, yang dapat membuat ikatan antara lapisan dan substrat lebih erat dan kurang rentan terhadap pelepasan.

Kami dengan senang hati mengundang Anda untuk mengunjungi pabrik kami, mari kita berdiskusi lebih lanjut!