Plošča in pokrov pladnja iz grafita s premazom iz silicijevega karbida

Kratek opis:

Grafitna plošča in pokrov iz silicijevega karbida podjetja VET Energy je visokozmogljiv izdelek, zasnovan za zagotavljanje doslednega in zanesljivega delovanja v daljšem časovnem obdobju. Ima izjemno dobro toplotno odpornost in toplotno enakomernost, visoko čistost in odpornost proti eroziji, zaradi česar je idealna rešitev za obdelavo rezin.

Pošljite nam e-pošto Prenesi kot PDF

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Energija poklicnega izobraževanja in usposabljanjaGrafitni pladenj s premazom iz silicijevega karbida, Plate, and Cover je zasnovan za vrhunsko zmogljivost ter zagotavlja zanesljivo in dosledno delovanje tudi pri daljši uporabi, zaradi česar je bistvena izbira za aplikacije obdelave rezin v polprevodniški industriji. Ta visokozmogljivaGrafitna plošča s premazom iz silicijevega karbidase ponaša z izjemno toplotno odpornostjo, vrhunsko toplotno enakomernostjo in izjemno kemijsko stabilnostjo, zlasti pri visokih temperaturah. Zaradi visoke čistosti konstrukcije in napredne odpornosti proti eroziji je nepogrešljiv v zahtevnih okoljih, kot soMOCVD susceptorji.

Ključne značilnosti pladnja, plošče in pokrova iz grafita s prevleko iz silicijevega karbida

1. Odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah:Prenese temperature do 1700 ℃, kar omogoča zanesljivo delovanje v ekstremnih pogojih.

2. Visoka čistost in toplotna enakomernost:Dosledna visoka čistost in enakomerna porazdelitev toplote sta ključnega pomena za uporabo v MOCVD.

3. Izjemna odpornost proti koroziji:Odporno na kisline, alkalije, soli in različne organske reagente, kar zagotavlja dolgoročno stabilnost v različnih okoljih.

4. Visoka trdota in kompaktna površina:Ima gosto površino z drobnimi delci, kar izboljša splošno vzdržljivost in odpornost proti obrabi.

5. Podaljšana življenjska doba:Zasnovan za dolgo življenjsko dobo, ki prekaša običajneGrafitni susceptorji, prevlečeni s silicijevim karbidomv zahtevnih okoljih obdelave polprevodnikov.

KVB SiC薄膜基本物理性能 Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiCpremaz
性质 / Nepremičnina	典型数值 / Tipična vrednost
晶体结构 / Kristalna struktura	FCC β faza多晶，主要为（111) 取向
密度 / Gostota	3,21 g/cm³
硬度 / Trdota	2500 维氏硬度（500g obremenitev）
晶粒大小 / VELIKOST ZRNA	2~10 μm
纯度 / Kemijska čistost	99,99995 %
热容 / Toplotna kapaciteta	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacije	2700 ℃
抗弯强度 / Upogibna trdnost	415 MPa RT 4-točkovni
杨氏模量 / Youngov modul	430 Gpa, 4pt upogib, 1300℃
导热系数 / TermalPrevodnost	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Toplotni raztezek (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Strokovno znanje podjetja VET Energy na področju prilagojenih rešitev iz grafita in silicijevega karbida

Kot zaupanja vreden proizvajalec se VET Energy specializira za grafitne susceptorje po meri in rešitve za prevleke iz silicijevega karbida. Ponujamo vrsto izdelkov, prilagojenih polprevodniški in fotovoltaični industriji, vključno zGrafitne komponente s prevleko SiCkot so pladnji, krožniki in pokrovi. Naša ponudba izdelkov vključuje tudi različne možnosti premazov, kot soSiC prevleka za MOCVD, TaC premaz, stekleno-ogljikov premazin pirolitično ogljikovo prevleko, s čimer zagotavljamo, da izpolnjujemo različne zahteve visokotehnoloških industrij.

Naša izkušena tehnična ekipa, ki jo sestavljajo strokovnjaki iz najboljših domačih raziskovalnih ustanov, strankam zagotavlja celovite materialne rešitve. Nenehno izpopolnjujemo naše napredne postopke, vključno z ekskluzivno patentirano tehnologijo, ki izboljša vez med silicijevim karbidnim premazom in grafitnim substratom, s čimer zmanjšamo tveganje odtrganja in dodatno podaljšamo življenjsko dobo izdelka.

Uporaba in prednosti v proizvodnji polprevodnikov

ThePremaz iz silicijevega karbida za MOCVDZaradi tega so ti grafitni susceptorji zelo učinkoviti v okoljih z visokimi temperaturami in korozivnostjo. Ne glede na to, ali se uporabljajo kot nosilci grafitnih rezin ali druge komponente MOCVD, ti susceptorji s prevleko iz silicijevega karbida kažejo vrhunsko vzdržljivost in zmogljivost. Za tiste, ki iščejo zanesljive rešitve vGrafitni susceptor s prevleko SiCNa trgu ponujajo pladenj, plošča in pokrov iz grafita s prevleko iz silicijevega karbida podjetja VET Energy robustno in vsestransko možnost, ki izpolnjuje stroge zahteve polprevodniške industrije.

Z osredotočanjem na napredno znanost o materialih se je VET Energy zavezal k zagotavljanju visokozmogljivih grafitnih rešitev s prevleko SiC, ki spodbujajo inovacije pri obdelavi polprevodnikov in zagotavljajo zanesljivo delovanje v vseh aplikacijah, povezanih z MOCVD.

VET Energy je pravi proizvajalec izdelkov iz grafita in silicijevega karbida po meri z različnimi prevlekami, kot so SiC prevleka, TaC prevleka, prevleka iz steklenega ogljika, pirolizna ogljikova prevleka itd., in lahko dobavlja različne dele po meri za polprevodniško in fotovoltaično industrijo.

Naša tehnična ekipa prihaja iz vrhunskih domačih raziskovalnih ustanov in vam lahko zagotovi bolj profesionalne materialne rešitve.

Nenehno razvijamo napredne postopke za zagotavljanje naprednejših materialov in smo razvili ekskluzivno patentirano tehnologijo, ki omogoča tesnejšo vez med premazom in podlago ter manjšo nagnjenost k odstopanju.

Vljudno vas vabimo, da obiščete našo tovarno, da se pogovorimo še naprej!