Placa e tapa da bandexa de grafito con revestimento de carburo de silicio

Descrición curta:

A placa e cuberta de grafito con revestimento de carburo de silicio de VET Energy é un produto de alto rendemento deseñado para proporcionar un rendemento consistente e fiable durante un período prolongado. Ten unha resistencia á calor e uniformidade térmica moi boas, alta pureza e resistencia á erosión, o que a converte na solución perfecta para aplicacións de procesamento de obleas.

Envíanos un correo electrónico Descargar como PDF

Detalle do produto

Etiquetas do produto

Enerxía VETBandexa de grafito con revestimento de carburo de silicio, Placa e Cuberta están deseñadas para ofrecer un rendemento de primeiro nivel, proporcionando un funcionamento fiable e consistente durante un uso prolongado, o que as converte nunha opción esencial para aplicacións de procesamento de obleas na industria dos semicondutores. Este alto rendementoPlaca de grafito con revestimento de carburo de siliciopresume dunha excepcional resistencia á calor, unha uniformidade térmica superior e unha estabilidade química excepcional, especialmente en condicións de alta temperatura. A súa construción de alta pureza, xunto cunha avanzada resistencia á erosión, faino indispensable para entornos esixentes comoSusceptores de MOCVD.

Características principais da bandexa, placa e tapa de grafito con revestimento de carburo de silicio

1. Resistencia á oxidación a altas temperaturas:Resiste temperaturas de ata 1700 ℃, o que lle permite funcionar de forma fiable en condicións extremas.

2. Alta pureza e uniformidade térmica:Unha alta pureza consistente e unha distribución uniforme da calor son cruciais para as aplicacións de MOCVD.

3. Resistencia excepcional á corrosión:Resistente a ácidos, álcalis, sales e diversos reactivos orgánicos, o que garante a estabilidade a longo prazo en diversos ambientes.

4. Alta dureza e superficie compacta:Presenta unha superficie densa con partículas finas, o que mellora a durabilidade xeral e a resistencia ao desgaste.

5. Vida útil prolongada:Deseñado para a lonxevidade, superando o rendemento convencionalsusceptores de grafito revestidos de carburo de silicioen ambientes agresivos de procesamento de semicondutores.

ECV SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas do SiC por CVDrevestimento
性质 / Propiedade	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estrutura cristalina	Fase β da FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidade	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 维氏硬度（500g de carga）
晶粒大小 Tamaño do gran	2~10 μm
纯度 / Pureza química	99,99995%
热容 / Capacidade calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 Temperatura de sublimación	2700 ℃
抗弯强度 / Resistencia á flexión	415 MPa RT de 4 puntos
杨氏模量 / Módulo de Young	Curva de 4 puntos de 430 Gpa, 1300 ℃
导热系数 / TermalCondutividade	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 Expansión térmica (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

A experiencia de VET Energy en solucións personalizadas de grafito e carburo de silicio

Como fabricante de confianza, VET Energy especialízase en susceptores de grafito deseñados a medida e solucións de revestimento de carburo de silicio. Ofrecemos unha gama de produtos adaptados ás industrias de semicondutores e fotovoltaicas, incluíndoCompoñentes de grafito revestidos de SiCcomo bandexas, pratos e tapas. A nosa gama de produtos tamén inclúe diversas opcións de revestimento, comoRevestimento de SiC para MOCVD, Revestimento de TaC, revestimento de carbono vítreoe revestimento de carbono pirolítico, o que garante que satisfaimos as diversas demandas das industrias de alta tecnoloxía.

O noso experimentado equipo técnico, composto por expertos das principais institucións de investigación nacionais, ofrece solucións integrais de materiais para os clientes. Refinamos continuamente os nosos procesos avanzados, incluíndo unha tecnoloxía patentada exclusiva que mellora a unión entre o revestimento de carburo de silicio e o substrato de grafito, reducindo o risco de desprendemento e prolongando aínda máis a vida útil do produto.

Aplicacións e vantaxes na fabricación de semicondutores

O/ARevestimento de carburo de silicio para MOCVDfai que estes susceptores de grafito sexan moi eficaces en ambientes corrosivos de alta temperatura. Tanto se se usan como portadores de obleas de grafito como noutros compoñentes MOCVD, estes susceptores revestidos de carburo de silicio demostran unha durabilidade e un rendemento superiores. Para aqueles que buscan solucións fiables noSusceptor de grafito revestido de SiCmercado, a bandexa, a placa e a tapa de grafito revestidas de carburo de silicio de VET Energy ofrecen unha opción robusta e versátil que cumpre as rigorosas esixencias da industria dos semicondutores.

Ao centrarse na ciencia avanzada dos materiais, VET Energy comprométese a ofrecer solucións de grafito revestido de SiC de alto rendemento que impulsen a innovación no procesamento de semicondutores e garantan un rendemento fiable en todas as aplicacións relacionadas con MOCVD.

VET Energy é o fabricante real de produtos personalizados de grafito e carburo de silicio con diferentes revestimentos como revestimentos de SiC, revestimentos de TaC, revestimentos de carbono vítreo, revestimentos de carbono pirolítico, etc., e pode subministrar diversas pezas personalizadas para a industria de semicondutores e fotovoltaica.

O noso equipo técnico provén de institucións de investigación nacionais de primeira liña e pode proporcionarche solucións de materiais máis profesionais.

Desenvolvemos continuamente procesos avanzados para ofrecer materiais máis avanzados e elaboramos unha tecnoloxía patentada exclusiva que pode facer que a unión entre o revestimento e o substrato sexa máis axustada e menos propensa ao desprendemento.

Unha calorosa benvida para visitar a nosa fábrica, imos falar máis a fondo!