Placa y cubierta de bandeja de grafito con revestimiento de carburo de silicio

Descripción breve:

La placa y cubierta de grafito con recubrimiento de carburo de silicio de VET Energy es un producto de alto rendimiento diseñado para ofrecer un rendimiento constante y fiable durante un período prolongado. Ofrece una excelente resistencia al calor y uniformidad térmica, alta pureza y resistencia a la erosión, lo que lo convierte en la solución ideal para aplicaciones de procesamiento de obleas.

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VET EnergíaBandeja de grafito con revestimiento de carburo de silicioLa placa y la cubierta están diseñadas para ofrecer un rendimiento de primer nivel, proporcionando un funcionamiento confiable y constante durante un uso prolongado, lo que las convierte en una opción esencial para aplicaciones de procesamiento de obleas en la industria de semiconductores. Este alto rendimientoPlaca de grafito con revestimiento de carburo de silicioPresenta una excepcional resistencia al calor, una uniformidad térmica superior y una estabilidad química excepcional, especialmente en condiciones de alta temperatura. Su construcción de alta pureza, junto con su avanzada resistencia a la erosión, lo hace indispensable para entornos exigentes como...Susceptores de MOCVD.

Características principales de la bandeja, placa y cubierta de grafito con revestimiento de carburo de silicio

1. Resistencia a la oxidación a altas temperaturas:Soporta temperaturas de hasta 1700℃, lo que le permite funcionar de manera confiable en condiciones extremas.

2. Alta pureza y uniformidad térmica:Una pureza alta y constante y una distribución uniforme del calor son cruciales para las aplicaciones MOCVD.

3. Resistencia excepcional a la corrosión:Resistente a ácidos, álcalis, sales y diversos reactivos orgánicos, lo que garantiza una estabilidad a largo plazo en diversos entornos.

4. Alta dureza y superficie compacta:Presenta una superficie densa con partículas finas, lo que mejora la durabilidad general y la resistencia al desgaste.

5. Vida útil prolongada:Diseñado para una mayor longevidad, superando a los convencionalessusceptores de grafito recubiertos de carburo de silicioen entornos hostiles de procesamiento de semiconductores.

ECV SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas del SiC CVDrevestimiento
性质 / Propiedad	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estructura cristalina	Fase β de FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidad	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 libras (carga de 500 g)
晶粒大小 / Tamaño del grano	2~10 μm
纯度 / Pureza química	99.99995%
热容 / Capacidad calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimación	2700℃
抗弯强度 / Resistencia a la flexión	415 MPa RT 4 puntos
杨氏模量 / Módulo de Young	430 Gpa, curva de 4 puntos, 1300 ℃
导热系数 / TermayoConductividad	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 Expansión térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1

La experiencia de VET Energy en soluciones personalizadas de grafito y carburo de silicio

Como fabricante de confianza, VET Energy se especializa en susceptores de grafito y soluciones de recubrimiento de carburo de silicio diseñados a medida. Ofrecemos una gama de productos diseñados a medida para las industrias de semiconductores y fotovoltaica, incluyendoComponentes de grafito recubiertos de SiCcomo bandejas, platos y tapas. Nuestra línea de productos también incluye diversas opciones de recubrimiento, comoRecubrimiento de SiC para MOCVD, Recubrimiento de TaC, recubrimiento de carbono vítreoy recubrimiento de carbono pirolítico, lo que garantiza que cumplimos con las diversas demandas de las industrias de alta tecnología.

Nuestro experimentado equipo técnico, compuesto por expertos de las principales instituciones de investigación nacionales, ofrece soluciones integrales de materiales a nuestros clientes. Perfeccionamos continuamente nuestros procesos avanzados, incluyendo una tecnología exclusiva patentada que mejora la unión entre el recubrimiento de carburo de silicio y el sustrato de grafito, reduciendo el riesgo de desprendimiento y prolongando aún más la vida útil del producto.

Aplicaciones y beneficios en la fabricación de semiconductores

ElRecubrimiento de carburo de silicio para MOCVDEsto hace que estos susceptores de grafito sean altamente efectivos en entornos corrosivos de alta temperatura. Ya sea que se utilicen como portadores de obleas de grafito u otros componentes de MOCVD, estos susceptores recubiertos de carburo de silicio demuestran una durabilidad y un rendimiento superiores. Para quienes buscan soluciones confiables en...Susceptor de grafito recubierto de SiCEn el mercado, la bandeja, la placa y la cubierta de grafito revestidas de carburo de silicio de VET Energy ofrecen una opción robusta y versátil que cumple con las rigurosas demandas de la industria de los semiconductores.

Al centrarse en la ciencia de materiales avanzados, VET Energy se compromete a ofrecer soluciones de grafito recubierto de SiC de alto rendimiento que impulsan la innovación en el procesamiento de semiconductores y garantizan un rendimiento confiable en todas las aplicaciones relacionadas con MOCVD.

VET Energy es un verdadero fabricante de productos de carburo de silicio y grafito personalizados con diferentes recubrimientos como recubrimiento de SiC, recubrimiento de TaC, recubrimiento de carbono vítreo, recubrimiento de carbono pirolítico, etc., puede suministrar varias piezas personalizadas para la industria de semiconductores y fotovoltaica.

Nuestro equipo técnico proviene de las principales instituciones de investigación nacionales y puede brindarle soluciones de materiales más profesionales.

Desarrollamos continuamente procesos avanzados para ofrecer materiales más avanzados y hemos elaborado una tecnología patentada exclusiva que puede hacer que la unión entre el revestimiento y el sustrato sea más estrecha y menos propensa al desprendimiento.

Le damos una cálida bienvenida para visitar nuestra fábrica, ¡tengamos más discusión!