Recubrimiento de carburo de silicio, bandeja de grafito, placa y tapa

Breve descripción:

La placa y cubierta de grafito con recubrimiento de carburo de silicio de VET Energy es un producto de alto rendimiento diseñado para brindar un desempeño constante y confiable durante un período prolongado. Posee una excelente resistencia al calor y uniformidad térmica, alta pureza y resistencia a la erosión, lo que la convierte en la solución perfecta para aplicaciones de procesamiento de obleas.

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Detalles del producto

Etiquetas de producto

Energía VETERINARIABandeja de grafito con recubrimiento de carburo de silicioLa placa y la cubierta están diseñadas para ofrecer un rendimiento de primera categoría, proporcionando un funcionamiento fiable y constante durante un uso prolongado, lo que las convierte en una opción esencial para las aplicaciones de procesamiento de obleas en la industria de semiconductores. Este producto de alto rendimientoPlaca de grafito con recubrimiento de carburo de silicioCuenta con una excepcional resistencia al calor, una uniformidad térmica superior y una excelente estabilidad química, especialmente en condiciones de alta temperatura. Su construcción de alta pureza, junto con una avanzada resistencia a la erosión, lo hace indispensable para entornos exigentes comoSusceptores MOCVD.

Características principales de la bandeja, placa y tapa de grafito con recubrimiento de carburo de silicio

1. Resistencia a la oxidación a altas temperaturas:Resiste temperaturas de hasta 1700 ℃, lo que le permite funcionar de forma fiable en condiciones extremas.

2. Alta pureza y uniformidad térmica:La alta pureza constante y la distribución uniforme del calor son cruciales para las aplicaciones de MOCVD.

3. Excepcional resistencia a la corrosión:Resistente a ácidos, álcalis, sales y diversos reactivos orgánicos, lo que garantiza una estabilidad a largo plazo en diversos entornos.

4. Alta dureza y superficie compacta:Presenta una superficie densa con partículas finas, lo que mejora la durabilidad general y la resistencia al desgaste.

5. Mayor vida útil:Diseñado para una mayor durabilidad, superando a los convencionales.susceptores de grafito recubiertos de carburo de silicioen entornos de procesamiento de semiconductores exigentes.

Enfermedad cardiovascular SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas del SiC CVDrevestimiento
性质 / Propiedad	典型数值 / Valor típico
晶体结构 Estructura cristalina	Fase β de la FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidad	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 libras (carga de 500 g)
晶粒大小 / Tamaño del grano	2~10 μm
纯度 Pureza química	99,99995%
热容 Capacidad calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 Temperatura de sublimación	2700℃
抗弯强度 / Resistencia a la flexión	415 MPa RT 4 puntos
杨氏模量 Módulo de Young	430 GPa, codo de 4 puntos, 1300 ℃
导热系数 / ThermalConductividad	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansión térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1

La experiencia de VET Energy en soluciones personalizadas de grafito y carburo de silicio.

Como fabricante de confianza, VET Energy se especializa en susceptores de grafito diseñados a medida y soluciones de recubrimiento de carburo de silicio. Ofrecemos una gama de productos adaptados a las industrias de semiconductores y fotovoltaica, incluyendo:Componentes de grafito recubiertos de SiCcomo bandejas, platos y tapas. Nuestra gama de productos también incluye diversas opciones de recubrimiento, comoRecubrimiento de SiC para MOCVD, Recubrimiento de TaC, recubrimiento de carbono vítreoy recubrimiento de carbono pirolítico, lo que garantiza que satisfacemos las diversas demandas de las industrias de alta tecnología.

Nuestro experimentado equipo técnico, integrado por expertos de las principales instituciones de investigación nacionales, ofrece soluciones integrales de materiales a nuestros clientes. Perfeccionamos continuamente nuestros procesos avanzados, incluyendo una tecnología patentada exclusiva que mejora la adherencia entre el recubrimiento de carburo de silicio y el sustrato de grafito, reduciendo el riesgo de desprendimiento y prolongando aún más la vida útil del producto.

Aplicaciones y beneficios en la fabricación de semiconductores

ElRecubrimiento de carburo de silicio para MOCVDEsto hace que estos susceptores de grafito sean altamente efectivos en entornos corrosivos y de alta temperatura. Ya sea que se utilicen como portadores de obleas de grafito u otros componentes MOCVD, estos susceptores recubiertos de carburo de silicio demuestran una durabilidad y un rendimiento superiores. Para aquellos que buscan soluciones confiables en elSusceptor de grafito recubierto de SiCEn el mercado, la bandeja, la placa y la cubierta de grafito recubierto de carburo de silicio de VET Energy ofrecen una opción robusta y versátil que satisface las rigurosas exigencias de la industria de los semiconductores.

Al centrarse en la ciencia de los materiales avanzados, VET Energy se compromete a ofrecer soluciones de grafito recubierto de SiC de alto rendimiento que impulsen la innovación en el procesamiento de semiconductores y garanticen un rendimiento fiable en todas las aplicaciones relacionadas con MOCVD.

VET Energy es un fabricante de productos personalizados de grafito y carburo de silicio con diferentes recubrimientos, como recubrimiento de SiC, recubrimiento de TaC, recubrimiento de carbono vítreo, recubrimiento de carbono pirolítico, etc., y puede suministrar diversas piezas personalizadas para la industria de semiconductores y fotovoltaica.

Nuestro equipo técnico proviene de las mejores instituciones de investigación nacionales y puede brindarle soluciones de materiales más profesionales.

Desarrollamos continuamente procesos avanzados para ofrecer materiales más sofisticados y hemos desarrollado una tecnología patentada exclusiva que permite una unión más firme entre el recubrimiento y el sustrato, reduciendo la probabilidad de desprendimiento.

¡Les invitamos cordialmente a visitar nuestra fábrica! ¡Conversemos pronto!