Silisiumkarbidbelegg grafittbrettplate og deksel

Kort beskrivelse:

VET Energy silisiumkarbidbelegg grafittplate og -deksel er et høytytende produkt som er utviklet for å gi konsistent og pålitelig ytelse over lengre tid. Det har supergod varmebestandighet og termisk ensartethet, høy renhet og erosjonsmotstand, noe som gjør det til den perfekte løsningen for waferbehandlingsapplikasjoner.

 


Produktdetaljer

Produktetiketter

VET EnergiSilisiumkarbidbelegg grafittbrett, Plate, and Cover er konstruert for å levere ytelse på toppnivå, og gir pålitelig og jevn drift over lengre bruk, noe som gjør den til et viktig valg for waferprosesseringsapplikasjoner i halvlederindustrien. Denne høyytelsesSilisiumkarbidbelegg grafittplatekan skryte av eksepsjonell varmebestandighet, overlegen termisk ensartethet og enestående kjemisk stabilitet, spesielt under høye temperaturforhold. Dens renhetskonstruksjon, kombinert med avansert erosjonsmotstand, gjør den uunnværlig for krevende miljøer somMOCVD-mottakere.

7

Viktige funksjoner ved silisiumkarbidbelegg grafittbrett, -plate og -deksel

1. Motstand mot høy temperaturoksidasjon:Tåler temperaturer opptil 1700 ℃, noe som gjør at den fungerer pålitelig under ekstreme forhold.

2. Høy renhet og termisk ensartethet:Konsekvent høy renhet og jevn varmefordeling er avgjørende for MOCVD-applikasjoner.

3. Eksepsjonell korrosjonsbestandighet:Bestandig mot syrer, alkalier, salter og diverse organiske reagenser, noe som sikrer langsiktig stabilitet i ulike miljøer.

4. Høy hardhet og kompakt overflate:Har en tett overflate med fine partikler, noe som forbedrer den generelle holdbarheten og slitestyrken.

5. Forlenget levetid:Konstruert for lang levetid, og overgår konvensjonellesilisiumkarbidbelagte grafittmottakerei tøffe miljøer for halvlederbehandling.

 

Hjerte- og kardiovaskulær sykdom SiC薄膜基本物理性能

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiCbelegg

性质 / Eiendom

典型数值 / Typisk verdi

晶体结构 / Krystallstruktur

FCC β-fase多晶,主要为(111)取向

密度 / Tetthet

3,21 g/cm³

硬度 / Hardhet

2500 维氏硬度(500g belastning)

晶粒大小 / Kornstørrelse

2~10 μm

纯度 / Kjemisk renhet

99,99995 %

热容 / Varmekapasitet

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimeringstemperatur

2700 ℃

抗弯强度 / Bøyestyrke

415 MPa RT 4-punkts

杨氏模量 / Youngs modul

430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃

导热系数 / TermalKonduktivitet

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Termisk ekspansjon (CTE)

4,5×10-6K-1

VET Energys ekspertise innen tilpassede grafitt- og silisiumkarbidløsninger

Som en pålitelig produsent spesialiserer VET Energy seg på spesialdesignede grafittmotstandere og silisiumkarbidbeleggløsninger. Vi tilbyr en rekke produkter skreddersydd for halvleder- og solcelleindustrien, inkludertSiC-belagte grafittkomponentersom brett, tallerkener og lokk. Produktsortimentet vårt inkluderer også diverse beleggalternativer, som for eksempelSiC-belegg for MOCVD, TaC-belegg, glassaktig karbonbelegg, og pyrolytisk karbonbelegg, noe som sikrer at vi møter de varierende kravene fra høyteknologiske industrier.

Vårt erfarne tekniske team, bestående av eksperter fra ledende nasjonale forskningsinstitusjoner, tilbyr omfattende materialløsninger for kunder. Vi forbedrer kontinuerlig våre avanserte prosesser, inkludert en eksklusiv patentert teknologi som forbedrer bindingen mellom silisiumkarbidbelegget og grafittsubstratet, noe som reduserer risikoen for løsning og ytterligere forlenger produktets levetid.

Bruksområder og fordeler i halvlederproduksjon

DeSilisiumkarbidbelegg for MOCVDgjør disse grafittsusceptorene svært effektive i høytemperatur, korrosive miljøer. Enten de brukes som grafittwaferbærere eller andre MOCVD-komponenter, viser disse silisiumkarbidbelagte susceptorene overlegen holdbarhet og ytelse. For de som søker pålitelige løsninger innenSiC-belagt grafittmottakerVET Energys silisiumkarbidbelagte grafittbrett, -plate og -deksel tilbyr et robust og allsidig alternativ som oppfyller de strenge kravene fra halvlederindustrien.

Ved å fokusere på avansert materialvitenskap er VET Energy forpliktet til å levere høytytende SiC-belagte grafittløsninger som driver innovasjon innen halvlederprosessering og sikrer pålitelig ytelse i alle MOCVD-relaterte applikasjoner.

1

2

VET Energy er den ekte produsenten av tilpassede grafitt- og silisiumkarbidprodukter med forskjellige belegg som SiC-belegg, TaC-belegg, glassaktig karbonbelegg, pyrolytisk karbonbelegg, etc., og kan levere en rekke tilpassede deler til halvleder- og solcelleindustrien.

Vårt tekniske team kommer fra ledende innenlandske forskningsinstitusjoner, og kan tilby deg mer profesjonelle materialløsninger.

Vi utvikler kontinuerlig avanserte prosesser for å tilby mer avanserte materialer, og har utviklet en eksklusiv patentert teknologi som kan gjøre bindingen mellom belegget og underlaget tettere og mindre utsatt for løsning.

Hjertelig velkommen til å besøke fabrikken vår, la oss snakke videre!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 

 

 


  • Tidligere:
  • Neste:

  • WhatsApp online chat!