Poleiti le Sekoahelo sa Graphite Tray ea Silicon Carbide

Tlhaloso e Khutšoanyane:

Poleiti le sekoahelo sa graphite se koahelang silicon carbide ea VET Energy ke sehlahisoa se sebetsang hantle se etselitsoeng ho fana ka ts'ebetso e tsitsitseng le e tšepahalang ka nako e telele. E na le khanyetso e ntle haholo ea mocheso le ho tšoana ha mocheso, bohloeki bo phahameng, khanyetso ea khoholeho ea mobu, e leng se etsang hore e be tharollo e phethahetseng bakeng sa lits'ebetso tsa ts'ebetso ea wafer.

Romella imeile ho rona Khoasolla e le PDF

Qaqiso ea Sehlahisoa

Li-tag tsa Sehlahisoa

Matla a VETTerei ea Graphite ea Silicon Carbide e apesoang, Poleiti, le Sekoahelo di entswe ho fana ka tshebetso e maemong a hodimo, di fana ka tshebetso e tshepahalang le e tsitsitseng nakong ya tshebediso e telele, e leng se etsang hore e be kgetho ya bohlokwa bakeng sa ditshebediso tsa ho sebetsana le wafer indastering ya semiconductor. Tshebetso ena e phahameng e sebetsang.Poleiti ea Graphite ea Silicon CarbideE na le ho hanyetsa mocheso ka tsela e ikhethang, ho tšoana ho phahameng ha mocheso, le botsitso bo ikhethang ba lik'hemik'hale, haholo-holo maemong a mocheso o phahameng. Kaho ea eona e hloekileng haholo, hammoho le ho hanyetsa khoholeho e tsoetseng pele, e etsa hore e be ea bohlokoa bakeng sa libaka tse thata tse kangLi-susceptor tsa MOCVD.

Likarolo tsa Bohlokoa tsa Silicon Carbide Coating Graphite Tray, Plate, le Cover

1. Khanyetso ea ho Kena ha Oxidation ka Mocheso o Phahameng:E mamella mocheso o fihlang ho 1700℃, e e nolofalletsang ho sebetsa ka mokhoa o tšepahalang maemong a feteletseng.

2. Ho Hloeka ho Hoholo le ho Tšoana ha Thermal:Bohloeki bo phahameng bo tsitsitseng le kabo e lekanang ea mocheso li bohlokoa bakeng sa lits'ebetso tsa MOCVD.

3. Khanyetso e Ikhethang ea Ts'enyeho:E hanela li-acid, li-alkali, letsoai le li-reagent tse fapaneng tsa tlhaho, e netefatsa botsitso ba nako e telele libakeng tse fapaneng.

4. Bothata bo Holimo le Bokaholimo bo Kopanehileng:E na le bokaholimo bo teteaneng bo nang le dikarolwana tse nyane, bo ntlafatsang ho tshwarella ka kakaretso le ho hanyetsa ho tsofala.

5. Bophelo bo Atolositsoeng ba Tšebeletso:E entsoe bakeng sa nako e telele, e sebetsa hantle ho feta tse tloaelehilengli-susceptor tsa graphite tse koahetsoeng ka silicon carbidelibakeng tse thata tsa ts'ebetso ea semiconductor.

CVD SiC薄膜基本物理性能 Thepa ea motheo ea 'mele ea CVD SiCsekoahelo
性质 / Thepa	典型数值 / Boleng bo Tloaelehileng
晶体结构 / Sebopeho sa kristale	Mokhahlelo oa FCC β多晶，主要為（111）取向
密度 / Botenya	3.21 g/cm³
硬度 / Bothata	2500 维氏硬度 (moroalo oa 500g)
晶粒大小 / Sekala sa Lithollo	2 ~ 10μm
纯度 / Bohloeki ba Lik'hemik'hale	99.99995%
热容 / Bokgoni ba Mocheso	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Mocheso oa Sublimation	2700℃
抗弯强度 / Matla a ho Kobeha	415 MPa RT lintlha tse 4
杨氏模量 / Modulus ea Bacha	430 Gpa kobeho ea 4pt, 1300℃
导热系数 / ThermalHo khanna motlakase	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Katoloso ea Thermal (CTE)	4.5×10^-6K^-1

Botsebi ba VET Energy ho Litharollo tsa Graphite le Silicon Carbide tse Ikhethileng

Jwalo ka moetsi ya tshepahalang, VET Energy e ikgethile ka ditharollo tsa ho kwahela ka graphite tse entsweng ka tsela e ikgethang le ditharollo tsa ho kwahela ka silicon carbide. Re fana ka mefuta e fapaneng ya dihlahiswa tse etseditsweng diindasteri tsa semiconductor le photovoltaic, ho kenyeletswaLikarolo tsa graphite tse koahetsoeng ka SiCjoalo ka diterei, lipoleiti le likoahelo. Lethathamo la lihlahisoa tsa rona le boetse le kenyelletsa likhetho tse fapaneng tsa ho roala, joalo kaSekoahelo sa SiC bakeng sa MOCVD, Sekoahelo sa TaC, sekoahelo sa khabone se kang khalase, le sekoahelo sa carbon se nang le pyrolytic, ho netefatsa hore re fihlela litlhoko tse fapaneng tsa liindasteri tsa theknoloji e phahameng.

Sehlopha sa rona sa botekgeniki se nang le boiphihlelo, se nang le litsebi tse tsoang litsi tse phahameng tsa lipatlisiso tsa lehae, se fana ka litharollo tse felletseng tsa thepa bakeng sa bareki. Re tsoela pele ho ntlafatsa lits'ebetso tsa rona tse tsoetseng pele, ho kenyeletsoa theknoloji e ikhethileng e nang le patente e ntlafatsang kamano pakeng tsa sekoahelo sa silicon carbide le substrate ea graphite, e fokotsang kotsi ea ho arohana le ho atolosa bophelo ba sehlahisoa.

Likopo le Melemo Tlhahisong ea Semiconductor

TheSekoahelo sa Silicon Carbide bakeng sa MOCVDe etsa hore li-susceptor tsena tsa graphite li sebetse hantle haholo libakeng tse nang le mocheso o phahameng, tse senyang. Ebang li sebelisoa e le lijari tsa wafer tsa graphite kapa likarolo tse ling tsa MOCVD, li-susceptor tsena tse koahetsoeng ka silicon carbide li bontša ho tšoarella le ts'ebetso e phahameng. Bakeng sa ba batlang litharollo tse tšepahalang hoSesebelisi sa graphite se koahetsoeng ka SiC'Maraka, terei ea graphite e koahetsoeng ka silicon carbide, poleiti le sekoahelo sa VET Energy li fana ka khetho e matla le e feto-fetohang e fihlelang litlhoko tse matla tsa indasteri ea semiconductor.

Ka ho tsepamisa maikutlo ho saense e tsoetseng pele ea thepa, VET Energy e ikemiselitse ho fana ka litharollo tsa graphite tse koahetsoeng ka SiC tse sebetsang hantle tse susumetsang boqapi ts'ebetsong ea semiconductor le ho netefatsa ts'ebetso e tšepahalang lits'ebetsong tsohle tse amanang le MOCVD.

VET Energy ke moetsi oa 'nete oa lihlahisoa tsa graphite le silicon carbide tse ikhethileng tse nang le liphahlo tse fapaneng joalo ka ho koahela ka SiC, ho koahela ka TaC, ho koahela ka carbon e kang khalase, ho koahela ka carbon e nang le pyrolytic, jj., e ka fana ka likarolo tse fapaneng tse ikhethileng bakeng sa indasteri ea semiconductor le photovoltaic.

Sehlopha sa rona sa botekgeniki se tsoa litsing tse holimo tsa lipatlisiso tsa lehae, se ka u fa litharollo tse ling tsa lisebelisoa tsa profeshenale.

Re ntse re ntshetsa pele mekgwa e tswetseng pele ho fana ka thepa e tswetseng pele haholoanyane, mme re se re sebelitse theknoloji e ikgethang e nang le patente, e ka etsang hore kamano pakeng tsa ho roala le substrate e tiee mme e se ke ya kgaohana haholo.

Re u amohela ka mofuthu ho etela fektheri ea rona, ha re buisaneng ka ho eketsehileng!