Szilícium-karbid bevonatú grafit tálcalemez és fedél

Rövid leírás:

A VET Energy szilícium-karbid bevonatú grafitlemeze és -burkolata egy nagy teljesítményű termék, amelyet úgy terveztek, hogy hosszú távon is konzisztens és megbízható teljesítményt nyújtson. Szuper jó hőállósággal és hőegyenletességgel, nagy tisztasággal és erózióállósággal rendelkezik, így tökéletes megoldást kínál wafer feldolgozási alkalmazásokhoz.

Küldjön nekünk e-mailt Letöltés PDF-ként

Termék részletei

Termékcímkék

VET EnergiaSzilícium-karbid bevonatú grafit tálcaA , Plate, and Cover technológiát úgy tervezték, hogy a legmagasabb szintű teljesítményt nyújtsa, megbízható és következetes működést biztosítva hosszabb használat során, így alapvető választás a félvezetőiparban a wafer-feldolgozási alkalmazásokhoz. Ez a nagy teljesítményűSzilícium-karbid bevonatú grafitlemezkivételes hőállósággal, kiváló hőegyenletességgel és kiemelkedő kémiai stabilitással büszkélkedhet, különösen magas hőmérsékleti körülmények között. Nagy tisztaságú konstrukciója, párosulva a fejlett erózióállósággal, nélkülözhetetlenné teszi az olyan igényes környezetekben, mint aMOCVD szuszceptorok.

A szilícium-karbid bevonatú grafittálca, -lemez és -fedél főbb jellemzői

1. Magas hőmérsékletű oxidációs ellenállás:Akár 1700 ℃-os hőmérsékletet is elvisel, így szélsőséges körülmények között is megbízhatóan működik.

2. Nagy tisztaság és termikus egyenletesség:Az MOCVD alkalmazásoknál elengedhetetlen az állandó nagy tisztaság és az egyenletes hőeloszlás.

3. Kivételes korrózióállóság:Ellenáll savaknak, lúgoknak, sóknak és különféle szerves reagenseknek, így hosszú távú stabilitást biztosít változatos környezetekben.

4. Nagy keménység és tömör felület:Sűrű, finom részecskékkel teli felülettel rendelkezik, ami javítja az általános tartósságot és a kopásállóságot.

5. Meghosszabbított élettartam:Hosszú élettartamra tervezve, a hagyományosakat felülmúlvaszilícium-karbid bevonatú grafit szuszceptorokzord félvezető-feldolgozási környezetben.

szív- és érrendszeri betegségek SiC薄膜基本物理性能 A CVD SiC alapvető fizikai tulajdonságaibevonat
性质 / Ingatlan	典型数值 / Tipikus érték
晶体结构 / Kristályszerkezet	FCC β fázis多晶，主要为（111）取向
密度 / Sűrűség	3,21 g/cm³
硬度 / Keménység	2500 维氏硬度 (500 g-os töltet)
晶粒大小 / Szemcseméret	2~10 μm
纯度 / Kémiai tisztaság	99,99995%
热容 / Hőkapacitás	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Szublimációs hőmérséklet	2700 ℃
抗弯强度 / Hajlítószilárdság	415 MPa RT 4-pontos
杨氏模量 / Young modulusa	430 Gpa 4pt hajlítás, 1300 ℃
导热系数 / ThermalVezetőképesség	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Hőtágulás (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

A VET Energy szakértelme a személyre szabott grafit- és szilícium-karbid megoldásokban

Megbízható gyártóként a VET Energy egyedi tervezésű grafit szuszceptorokra és szilícium-karbid bevonatmegoldásokra specializálódott. A félvezető és fotovoltaikus iparágak számára testreszabott termékeket kínálunk, beleértve a következőket:SiC-bevonatú grafit alkatrészekpéldául tálcák, tányérok és fedők. Termékkínálatunkban változatos bevonási lehetőségek is megtalálhatók, mint példáulSiC bevonat MOCVD-hez, TaC bevonat, üveges szénbevonat, és pirolitikus szénbevonattal, biztosítva, hogy megfeleljünk a high-tech iparágak változó igényeinek.

Tapasztalt műszaki csapatunk, amely a vezető hazai kutatóintézetek szakértőiből áll, átfogó anyagmegoldásokat kínál ügyfeleink számára. Folyamatosan finomítjuk fejlett folyamatainkat, beleértve egy exkluzív, szabadalmaztatott technológiát, amely fokozza a szilícium-karbid bevonat és a grafit hordozó közötti kötést, csökkentve a leválás kockázatát és tovább meghosszabbítva a termék élettartamát.

Alkalmazások és előnyök a félvezetőgyártásban

ASzilícium-karbid bevonat MOCVD-hezrendkívül hatékonnyá teszi ezeket a grafit szuszceptorokat magas hőmérsékletű, korrozív környezetben. Akár grafit ostyahordozóként, akár más MOCVD alkatrészként használják őket, ezek a szilícium-karbid bevonatú szuszceptorok kiváló tartósságot és teljesítményt mutatnak. Azok számára, akik megbízható megoldásokat keresnek a...SiC-bevonatú grafit szuszceptorA VET Energy szilícium-karbid bevonatú grafit tálcája, lemeze és fedele robusztus és sokoldalú megoldást kínál, amely megfelel a félvezető ipar szigorú követelményeinek.

A fejlett anyagtudományra összpontosítva a VET Energy elkötelezett amellett, hogy nagy teljesítményű, SiC-bevonatú grafitmegoldásokat szállítson, amelyek előmozdítják az innovációt a félvezető-feldolgozásban, és megbízható teljesítményt biztosítanak minden MOCVD-vel kapcsolatos alkalmazásban.

A VET Energy a testreszabott grafit és szilícium-karbid termékek valódi gyártója, különböző bevonatokkal, például SiC bevonattal, TaC bevonattal, üvegkarbon bevonattal, pirolitikus szénbevonattal stb., és különféle testreszabott alkatrészeket szállít a félvezető és fotovoltaikus ipar számára.

Műszaki csapatunk a legjobb hazai kutatóintézetekből származik, és professzionálisabb anyagmegoldásokat tud nyújtani Önnek.

Folyamatosan fejlesztjük a fejlettebb eljárásokat, hogy fejlettebb anyagokat biztosítsunk, és kidolgoztunk egy exkluzív, szabadalmaztatott technológiát, amely szorosabbá és kevésbé hajlamosabbá teszi a bevonat és az aljzat közötti kötést.

Szeretettel várjuk gyárunkban, hogy megbeszélhessük a részleteket!