Bandeja e tampa de grafite com revestimento de carboneto de silício

Descrição resumida:

A placa e a cobertura de grafite com revestimento de carbeto de silício da VET Energy são produtos de alto desempenho projetados para fornecer desempenho consistente e confiável por um longo período. Possuem excelente resistência ao calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistência à erosão, tornando-se a solução perfeita para aplicações de processamento de wafers.

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VET EnergiaBandeja de grafite com revestimento de carboneto de silícioA placa e a cobertura foram projetadas para oferecer desempenho de alto nível, proporcionando operação confiável e consistente por longos períodos de uso, tornando-as uma escolha essencial para aplicações de processamento de wafers na indústria de semicondutores. Este produto de alto desempenhoPlaca de grafite revestida com carbeto de silícioPossui excepcional resistência ao calor, uniformidade térmica superior e excelente estabilidade química, principalmente em condições de alta temperatura. Sua construção de alta pureza, aliada à avançada resistência à erosão, torna-o indispensável para ambientes exigentes, como...susceptores MOCVD.

Principais características da bandeja, placa e tampa de grafite com revestimento de carboneto de silício

1. Resistência à oxidação em altas temperaturas:Suporta temperaturas de até 1700°C, permitindo um desempenho confiável em condições extremas.

2. Alta pureza e uniformidade térmica:Pureza elevada e consistente, além de distribuição uniforme de calor, são cruciais para aplicações de MOCVD.

3. Resistência excepcional à corrosão:Resistente a ácidos, álcalis, sais e diversos reagentes orgânicos, garantindo estabilidade a longo prazo em diversos ambientes.

4. Alta dureza e superfície compacta:Apresenta uma superfície densa com partículas finas, melhorando a durabilidade geral e a resistência ao desgaste.

5. Vida útil prolongada:Projetado para durar muito tempo, com desempenho superior aos convencionais.susceptores de grafite revestidos com carbeto de silícioem ambientes severos de processamento de semicondutores.

DCV SiC薄膜基本物理性能 Propriedades físicas básicas do SiC CVDrevestimento
性质 / Propriedade	典型数值 Valor típico
晶体结构 / Estrutura Cristalina	Fase β do FCC多晶, 主要为（111）取向
密度 / Densidade	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 unidades (carga de 500g)
晶粒大小 / Tamanho do Grão	2~10μm
纯度 / Pureza Química	99,99995%
热容 Capacidade térmica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 Temperatura de sublimação	2700℃
抗弯强度 / Resistência à Flexão	415 MPa RT 4 pontos
杨氏模量 Módulo de Young	430 GPa, curvatura de 4 pontos, 1300 °C
导热系数 / TermalCondutividade	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansão Térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1

A experiência da VET Energy em soluções personalizadas de grafite e carboneto de silício.

Como fabricante de confiança, a VET Energy especializa-se em susceptores de grafite personalizados e soluções de revestimento de carboneto de silício. Oferecemos uma gama de produtos adaptados às indústrias de semicondutores e fotovoltaica, incluindoComponentes de grafite revestidos com SiCcomo bandejas, pratos e tampas. Nossa linha de produtos também inclui diversas opções de revestimento, comoRevestimento de SiC para MOCVD, Revestimento de TaC, revestimento de carbono vítreoe revestimento de carbono pirolítico, garantindo que atendemos às diversas demandas das indústrias de alta tecnologia.

Nossa experiente equipe técnica, composta por especialistas das principais instituições de pesquisa nacionais, oferece soluções completas em materiais para nossos clientes. Aprimoramos continuamente nossos processos avançados, incluindo uma tecnologia patenteada exclusiva que melhora a adesão entre o revestimento de carbeto de silício e o substrato de grafite, reduzindo o risco de desprendimento e prolongando ainda mais a vida útil do produto.

Aplicações e benefícios na fabricação de semicondutores

ORevestimento de carboneto de silício para MOCVDIsso torna esses susceptores de grafite altamente eficazes em ambientes corrosivos de alta temperatura. Sejam usados como suportes de wafers de grafite ou outros componentes MOCVD, esses susceptores revestidos com carbeto de silício demonstram durabilidade e desempenho superiores. Para aqueles que buscam soluções confiáveis emSusceptor de grafite revestido com SiCNo mercado de semicondutores, a bandeja, a placa e a tampa de grafite revestidas com carbeto de silício da VET Energy oferecem uma opção robusta e versátil que atende às rigorosas exigências da indústria.

Ao focar em ciência de materiais avançada, a VET Energy está comprometida em fornecer soluções de grafite revestidas com SiC de alto desempenho que impulsionam a inovação no processamento de semicondutores e garantem um desempenho confiável em todas as aplicações relacionadas a MOCVD.

A VET Energy é uma fabricante de produtos personalizados de grafite e carbeto de silício com diferentes revestimentos, como revestimento de SiC, revestimento de TaC, revestimento de carbono vítreo, revestimento de carbono pirolítico, etc., podendo fornecer diversas peças personalizadas para a indústria de semicondutores e fotovoltaica.

Nossa equipe técnica é formada por profissionais das principais instituições de pesquisa nacionais, podendo oferecer soluções de materiais mais especializadas.

Desenvolvemos continuamente processos avançados para fornecer materiais mais sofisticados e criamos uma tecnologia patenteada exclusiva que torna a adesão entre o revestimento e o substrato mais firme e menos propensa a desprendimento.

Será um prazer recebê-lo(a) em nossa fábrica. Vamos conversar mais sobre o assunto!