Placa e tampa da bandeja de grafite com revestimento de carboneto de silício

Descrição curta:

A placa e a tampa de grafite com revestimento de carboneto de silício VET Energy são produtos de alto desempenho projetados para proporcionar desempenho consistente e confiável por um longo período. Apresenta excelente resistência ao calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistência à erosão, tornando-se a solução perfeita para aplicações de processamento de wafers.

Envie um e-mail para nós Baixar como PDF

Detalhes do produto

Etiquetas de produtos

Energia VETBandeja de grafite com revestimento de carboneto de silício, Plate, and Cover foi projetado para oferecer desempenho de alto nível, proporcionando operação confiável e consistente por longos períodos, tornando-se uma escolha essencial para aplicações de processamento de wafers na indústria de semicondutores. Este alto desempenhoPlaca de grafite com revestimento de carboneto de silícioApresenta excepcional resistência ao calor, uniformidade térmica superior e excelente estabilidade química, especialmente em condições de alta temperatura. Sua construção de alta pureza, aliada à avançada resistência à erosão, o torna indispensável para ambientes exigentes, comoSusceptores de MOCVD.

Principais características da bandeja, placa e tampa de grafite com revestimento de carboneto de silício

1. Resistência à oxidação em alta temperatura:Suporta temperaturas de até 1700℃, permitindo um desempenho confiável em condições extremas.

2. Alta Pureza e Uniformidade Térmica:Alta pureza consistente e distribuição uniforme de calor são cruciais para aplicações MOCVD.

3. Resistência excepcional à corrosão:Resistente a ácidos, álcalis, sais e vários reagentes orgânicos, garantindo estabilidade a longo prazo em diversos ambientes.

4. Alta dureza e superfície compacta:Apresenta uma superfície densa com partículas finas, melhorando a durabilidade geral e a resistência ao desgaste.

5. Vida útil prolongada:Projetado para longevidade, superando os convencionaissusceptores de grafite revestidos de carboneto de silícioem ambientes hostis de processamento de semicondutores.

DCV SiC薄膜基本物理性能 Propriedades físicas básicas do SiC CVDrevestimento
性质 / Propriedade	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estrutura Cristalina	Fase β da FCC多晶, 主要为（111）取向
密度 / Densidade	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 unidades (carga de 500g)
晶粒大小 / Tamanho do grão	2~10μm
纯度 / Pureza Química	99,99995%
热容 / Capacidade de Calor	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de Sublimação	2700℃
抗弯强度 / Resistência à flexão	415 MPa RT 4 pontos
杨氏模量 / Módulo de Young	430 Gpa 4pt curva, 1300℃
导热系数 / TermaeuCondutividade	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansão Térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Experiência da VET Energy em soluções personalizadas de grafite e carboneto de silício

Como fabricante confiável, a VET Energy é especializada em susceptores de grafite personalizados e soluções de revestimento de carboneto de silício. Oferecemos uma gama de produtos personalizados para as indústrias de semicondutores e fotovoltaica, incluindoComponentes de grafite revestidos de SiCcomo bandejas, pratos e tampas. Nossa linha de produtos também inclui diversas opções de revestimento, comoRevestimento de SiC para MOCVD, Revestimento TaC, revestimento de carbono vítreo, e revestimento de carbono pirolítico, garantindo que atendemos às diversas demandas das indústrias de alta tecnologia.

Nossa experiente equipe técnica, composta por especialistas das principais instituições de pesquisa nacionais, fornece soluções completas em materiais para os clientes. Refinamos continuamente nossos processos avançados, incluindo uma tecnologia patenteada exclusiva que aprimora a ligação entre o revestimento de carboneto de silício e o substrato de grafite, reduzindo o risco de descolamento e prolongando ainda mais a vida útil do produto.

Aplicações e benefícios na fabricação de semicondutores

ORevestimento de carboneto de silício para MOCVDtorna esses susceptores de grafite altamente eficazes em ambientes corrosivos e de alta temperatura. Sejam usados como portadores de wafers de grafite ou outros componentes MOCVD, esses susceptores revestidos de carboneto de silício demonstram durabilidade e desempenho superiores. Para aqueles que buscam soluções confiáveis emSusceptor de grafite revestido de SiCmercado, a bandeja, placa e tampa de grafite revestidas de carboneto de silício da VET Energy oferecem uma opção robusta e versátil que atende às rigorosas demandas da indústria de semicondutores.

Ao se concentrar na ciência avançada de materiais, a VET Energy está comprometida em fornecer soluções de grafite revestidas de SiC de alto desempenho que impulsionam a inovação no processamento de semicondutores e garantem desempenho confiável em todas as aplicações relacionadas a MOCVD.

A VET Energy é a verdadeira fabricante de produtos personalizados de grafite e carboneto de silício com diferentes revestimentos, como revestimento de SiC, revestimento de TaC, revestimento de carbono vítreo, revestimento de carbono pirolítico, etc., podendo fornecer diversas peças personalizadas para a indústria de semicondutores e fotovoltaica.

Nossa equipe técnica é formada por importantes instituições de pesquisa nacionais e pode fornecer soluções de materiais mais profissionais para você.

Desenvolvemos continuamente processos avançados para fornecer materiais mais avançados e desenvolvemos uma tecnologia patenteada exclusiva, que pode tornar a ligação entre o revestimento e o substrato mais firme e menos propensa ao descolamento.

Sejam bem-vindos para visitar nossa fábrica e vamos conversar mais!