Plat dan Penutup Dulang Grafit Salutan Silikon Karbida

Penerangan Ringkas:

Plat dan penutup grafit salutan silikon karbida VET Energy ialah produk berprestasi tinggi yang direka untuk memberikan prestasi yang konsisten dan andal dalam tempoh yang panjang. Ia mempunyai rintangan haba dan keseragaman haba yang sangat baik, ketulenan tinggi, rintangan hakisan, menjadikannya penyelesaian yang sempurna untuk aplikasi pemprosesan wafer.

Hantar emel kepada kami Muat turun sebagai PDF

Butiran Produk

Tag Produk

Tenaga VETDulang Grafit Salutan Silikon Karbida, Plate dan Cover direka bentuk untuk memberikan prestasi peringkat tertinggi, menyediakan operasi yang andal dan konsisten sepanjang penggunaan yang berpanjangan, menjadikannya pilihan penting untuk aplikasi pemprosesan wafer dalam industri semikonduktor. Prestasi tinggi iniPlat Grafit Salutan Silikon Karbidamempunyai rintangan haba yang luar biasa, keseragaman haba yang unggul, dan kestabilan kimia yang luar biasa, terutamanya dalam keadaan suhu tinggi. Pembinaannya yang berketulenan tinggi, digandingkan dengan rintangan hakisan yang canggih, menjadikannya sangat diperlukan untuk persekitaran yang mencabar sepertiSuseptor MOCVD.

Ciri-ciri Utama Dulang, Plat dan Penutup Grafit Salutan Silikon Karbida

1. Rintangan Pengoksidaan Suhu Tinggi:Tahan suhu sehingga 1700℃, membolehkannya berfungsi dengan andal dalam keadaan yang ekstrem.

2. Ketulenan Tinggi dan Keseragaman Terma:Ketulenan tinggi yang konsisten dan pengagihan haba yang sekata adalah penting untuk aplikasi MOCVD.

3. Rintangan Kakisan yang Luar Biasa:Tahan terhadap asid, alkali, garam dan pelbagai reagen organik, memastikan kestabilan jangka panjang dalam persekitaran yang pelbagai.

4. Kekerasan Tinggi dan Permukaan Padat:Mempunyai permukaan yang padat dengan zarah halus, meningkatkan ketahanan keseluruhan dan rintangan haus.

5. Jangka Hayat Perkhidmatan Lanjutan:Direka untuk jangka hayat yang panjang, mengatasi prestasi konvensionalsuseptor grafit bersalut silikon karbidadalam persekitaran pemprosesan semikonduktor yang keras.

CVD SiC薄膜基本物理性能 Sifat fizikal asas CVD SiCsalutan
性质 / Hartanah	典型数值 / Nilai Lazim
晶体结构 / Struktur Kristal	Fasa β FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Ketumpatan	3.21 g/cm³
硬度 / Kekerasan	2500 维氏硬度（500g beban）
晶粒大小 / Saiz Bijirin	2~10μm
纯度 / Ketulenan Kimia	99.99995%
热容 / Kapasiti Haba	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Suhu Pemejalwapan	2700℃
抗弯强度 / Kekuatan Fleksibel	415 MPa RT 4-titik
杨氏模量 / Modulus Young	430 Gpa 4pt selekoh, 1300℃
导热系数 / TermalKekonduksian	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Pengembangan Terma (CTE)	4.5×10^-6K^-1

Kepakaran VET Energy dalam Penyelesaian Grafit dan Silikon Karbida Tersuai

Sebagai pengeluar yang dipercayai, VET Energy mengkhusus dalam suseptor grafit yang direka khas dan penyelesaian salutan silikon karbida. Kami menawarkan pelbagai produk yang disesuaikan untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik, termasukKomponen grafit bersalut SiCseperti dulang, pinggan dan penutup. Barisan produk kami juga merangkumi pelbagai pilihan salutan, sepertiSalutan SiC untuk MOCVD, Salutan TaC, salutan karbon berkaca, dan salutan karbon pirolitik, memastikan kami memenuhi pelbagai permintaan industri berteknologi tinggi.

Pasukan teknikal kami yang berpengalaman, yang terdiri daripada pakar dari institusi penyelidikan domestik terkemuka, menyediakan penyelesaian bahan yang komprehensif untuk pelanggan. Kami sentiasa memperhalusi proses canggih kami, termasuk teknologi berpaten eksklusif yang meningkatkan ikatan antara salutan silikon karbida dan substrat grafit, mengurangkan risiko terurai dan memanjangkan lagi jangka hayat produk.

Aplikasi dan Faedah dalam Pembuatan Semikonduktor

YangSalutan Silikon Karbida untuk MOCVDmenjadikan susceptor grafit ini sangat berkesan dalam persekitaran suhu tinggi dan menghakis. Sama ada digunakan sebagai pembawa wafer grafit atau komponen MOCVD lain, susceptor bersalut silikon karbida ini menunjukkan ketahanan dan prestasi yang unggul. Bagi mereka yang mencari penyelesaian yang boleh dipercayai dalamSusceptor grafit bersalut SiCDi pasaran, dulang, plat dan penutup grafit bersalut silikon karbida VET Energy menawarkan pilihan yang teguh dan serba boleh yang memenuhi permintaan ketat industri semikonduktor.

Dengan memberi tumpuan kepada sains bahan termaju, VET Energy komited untuk menyediakan penyelesaian grafit bersalut SiC berprestasi tinggi yang memacu inovasi dalam pemprosesan semikonduktor dan memastikan prestasi yang andal dalam semua aplikasi berkaitan MOCVD.

VET Energy ialah pengeluar sebenar produk grafit dan silikon karbida tersuai dengan pelbagai lapisan seperti lapisan SiC, lapisan TaC, lapisan karbon berkaca, lapisan karbon pirolitik, dan sebagainya, yang boleh membekalkan pelbagai bahagian tersuai untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik.

Pasukan teknikal kami datang dari institusi penyelidikan domestik terkemuka, boleh menyediakan penyelesaian bahan yang lebih profesional untuk anda.

Kami sentiasa membangunkan proses canggih untuk menyediakan bahan yang lebih canggih, dan telah menghasilkan teknologi berpaten eksklusif yang boleh menjadikan ikatan antara salutan dan substrat lebih ketat dan kurang terdedah kepada keterlepasan.

Mesra mengalu-alukan anda untuk melawat kilang kami, mari kita berbincang lebih lanjut!