Placă și capac cu tavă din grafit acoperit cu carbură de siliciu

Scurtă descriere:

Placa și capacul de grafit cu acoperire din carbură de siliciu VET Energy sunt produse de înaltă performanță, concepute pentru a oferi performanțe constante și fiabile pe o perioadă lungă de timp. Are o rezistență la căldură și o uniformitate termică foarte bune, puritate ridicată și rezistență la eroziune, ceea ce le face soluția perfectă pentru aplicațiile de procesare a napolitanelor.

 


Detalii produs

Etichete de produs

Energie VETTavă de grafit cu acoperire cu carbură de siliciu, Placa și Capacul sunt proiectate pentru a oferi performanțe de top, asigurând o funcționare fiabilă și consistentă pe o utilizare extinsă, ceea ce le face o alegere esențială pentru aplicațiile de procesare a napolitanelor din industria semiconductorilor. Această performanță ridicatăPlacă de grafit cu acoperire cu carbură de siliciuse mândrește cu o rezistență excepțională la căldură, uniformitate termică superioară și stabilitate chimică remarcabilă, în special în condiții de temperatură ridicată. Construcția sa de înaltă puritate, împreună cu rezistența avansată la eroziune, îl fac indispensabil pentru medii solicitante, cum ar fiSusceptori MOCVD.

7

Caracteristici cheie ale tăvii, plăcii și capacului cu acoperire din grafit și carbură de siliciu

1. Rezistență la oxidare la temperaturi ridicate:Rezistă la temperaturi de până la 1700 ℃, permițându-i să funcționeze fiabil în condiții extreme.

2. Puritate ridicată și uniformitate termică:Puritatea ridicată constantă și distribuția uniformă a căldurii sunt cruciale pentru aplicațiile MOCVD.

3. Rezistență excepțională la coroziune:Rezistent la acizi, alcali, săruri și diverși reactivi organici, asigurând stabilitate pe termen lung în diverse medii.

4. Duritate ridicată și suprafață compactă:Prezintă o suprafață densă cu particule fine, îmbunătățind durabilitatea generală și rezistența la uzură.

5. Durată de viață extinsă:Proiectat pentru longevitate, depășind performanțele convenționalesusceptori de grafit acoperiți cu carbură de siliciuîn medii dure de procesare a semiconductorilor.

 

boli cardiovasculare (BCV) SiC薄膜基本物理性能

Proprietățile fizice de bază ale SiC CVDacoperire

性质 / Proprietăți

典型数值 / Valoare tipică

晶体结构 / Structura cristalină

Faza β a FCC多晶,主要为(111)取向

密度 Densitate

3,21 g/cm³

硬度 Duritate

2500 维氏硬度(încărcare 500g)

晶粒大小 Dimensiunea granulelor

2~10 μm

纯度 Puritate chimică

99,99995%

热容 Capacitate termică

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura de sublimare

2700℃

抗弯强度 / Rezistență la încovoiere

415 MPa RT în 4 puncte

杨氏模量 Modulul lui Young

Îndoire 4pt 430 Gpa, 1300℃

导热系数 / ThermalConductivitate

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 Dilatare termică (CTE)

4,5×10-6K-1

Expertiza VET Energy în soluții personalizate de grafit și carbură de siliciu

În calitate de producător de încredere, VET Energy este specializată în susceptori de grafit proiectați la comandă și soluții de acoperire cu carbură de siliciu. Oferim o gamă de produse adaptate pentru industria semiconductorilor și fotovoltaică, inclusivComponente din grafit acoperite cu SiCcum ar fi tăvi, farfurii și capace. Gama noastră de produse include, de asemenea, diverse opțiuni de acoperire, cum ar fiAcoperire SiC pentru MOCVD, Acoperire TaC, acoperire cu carbon vitrosși acoperire pirolitică cu carbon, asigurându-ne că îndeplinim cerințele variate ale industriilor de înaltă tehnologie.

Echipa noastră tehnică experimentată, formată din experți din instituții de cercetare de top din țară, oferă soluții complete de materiale pentru clienți. Ne perfecționăm continuu procesele avansate, inclusiv o tehnologie exclusivă brevetată care îmbunătățește legătura dintre stratul de carbură de siliciu și substratul de grafit, reducând riscul de desprindere și prelungind durata de viață a produsului.

Aplicații și beneficii în fabricarea semiconductorilor

Cel/Cea/Cei/CeleAcoperire cu carbură de siliciu pentru MOCVDface ca acești susceptori din grafit să fie extrem de eficienți în medii corozive cu temperaturi ridicate. Indiferent dacă sunt utilizați ca purtători de napolitane din grafit sau ca alte componente MOCVD, acești susceptori acoperiți cu carbură de siliciu demonstrează o durabilitate și o performanță superioare. Pentru cei care caută soluții fiabile înSusceptor de grafit acoperit cu SiCPe piață, tava, placa și capacul din grafit acoperite cu carbură de siliciu de la VET Energy oferă o opțiune robustă și versatilă care îndeplinește cerințele riguroase ale industriei semiconductorilor.

Concentrându-se pe știința avansată a materialelor, VET Energy se angajează să ofere soluții de grafit acoperit cu SiC de înaltă performanță, care stimulează inovația în procesarea semiconductorilor și asigură performanțe fiabile în toate aplicațiile legate de MOCVD.

1

2

VET Energy este producătorul real de produse personalizate din grafit și carbură de siliciu cu diferite acoperiri, cum ar fi acoperire SiC, acoperire TaC, acoperire carbon vitros, acoperire carbon pirolitic etc., putând furniza diverse piese personalizate pentru industria semiconductorilor și fotovoltaică.

Echipa noastră tehnică provine din instituții de cercetare autohtone de top și vă poate oferi soluții materiale mai profesionale.

Dezvoltăm continuu procese avansate pentru a oferi materiale tot mai avansate și am elaborat o tehnologie exclusivă brevetată, care poate face ca legătura dintre acoperire și substrat să fie mai strânsă și mai puțin predispusă la desprindere.

Vă invităm călduros să vizitați fabrica noastră, haideți să discutăm mai departe!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 

 

 


  • Anterior:
  • Următorul:

  • Chat online pe WhatsApp!