탄화규소 코팅 흑연 트레이 플레이트 및 덮개

간략한 설명:

VET Energy의 탄화규소 코팅 흑연판 및 커버는 장기간에 걸쳐 일관되고 안정적인 성능을 제공하도록 설계된 고성능 제품입니다. 탁월한 내열성 및 열 균일성, 높은 순도, 내식성을 갖추고 있어 웨이퍼 가공 응용 분야에 최적의 솔루션입니다.

 

 


제품 상세 정보

제품 태그

VET 에너지탄화규소 코팅 흑연 트레이플레이트와 커버는 최고의 성능을 제공하도록 설계되어 장기간 사용에도 안정적이고 일관된 작동을 보장하므로 반도체 산업의 웨이퍼 처리 애플리케이션에 필수적인 선택입니다. 이 고성능 제품은탄화규소 코팅 흑연판이 제품은 특히 고온 조건에서 탁월한 내열성, 우수한 열 균일성 및 뛰어난 화학적 안정성을 자랑합니다. 고순도 구조와 우수한 내식성이 결합되어 다음과 같은 까다로운 환경에 필수적인 소재입니다.MOCVD 수용자.

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탄화규소 코팅 흑연 트레이, 플레이트 및 커버의 주요 특징

1. 고온 산화 저항성:최대 1700℃의 온도를 견딜 수 있어 극한 환경에서도 안정적으로 작동합니다.

2. 높은 순도 및 열적 균일성:MOCVD 응용 분야에서는 일관된 높은 순도와 균일한 열 분포가 매우 중요합니다.

3. 탁월한 내식성:산, 알칼리, 염 및 다양한 유기 시약에 대한 내성이 있어 다양한 환경에서 장기간 안정성을 보장합니다.

4. 높은 경도와 치밀한 표면:미세한 입자로 이루어진 조밀한 표면을 특징으로 하며, 전반적인 내구성과 마모 저항성을 향상시킵니다.

5. 연장된 서비스 수명:오랜 수명을 위해 설계되었으며 기존 제품보다 뛰어난 성능을 제공합니다.탄화규소 코팅 흑연 서셉터가혹한 반도체 공정 환경에서.

 

심혈관계 질환 SiC薄膜基本식물리성能

CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅

성별 / 재산

典型数值 / 일반적인 값

晶体结构 결정 구조

FCC β상多晶,主要为(111) 取向

크기 / 밀도

3.21 g/cm³

정도 경도

2500 维氏硬도(500g 부하)

晶粒大小 / 곡물 크기

2~10μm

정도 화학적 순도

99.99995%

발열 / 열용량

640 J·kg-1·케이-1

升华温도 승화 온도

2700℃

抗弯强島 굽힘 강도

415 MPa RT 4점

杨氏模량 / 영률

430 Gpa 4점 굽힘, 1300℃

导熭系数 / 써마전도도

300W·m-1·케이-1

热膨胀系数 열팽창(CTE)

4.5×10-6K-1

VET Energy는 맞춤형 흑연 및 탄화규소 솔루션 분야에서 전문성을 보유하고 있습니다.

신뢰할 수 있는 제조업체인 VET Energy는 맞춤형 흑연 서셉터 및 탄화규소 코팅 솔루션을 전문으로 제공합니다. 당사는 반도체 및 태양광 산업에 특화된 다양한 제품을 제공하며, 여기에는 다음이 포함됩니다.SiC 코팅 흑연 부품쟁반, 접시, 덮개와 같은 제품들이 있습니다. 저희 제품 라인업에는 다양한 코팅 옵션도 포함되어 있습니다.MOCVD용 SiC 코팅, TaC 코팅, 유리질 탄소 코팅또한 열분해 탄소 코팅을 통해 첨단 산업의 다양한 요구를 충족시키고 있습니다.

국내 최고 연구기관 출신의 전문가들로 구성된 당사의 숙련된 기술팀은 고객에게 포괄적인 소재 솔루션을 제공합니다. 당사는 탄화규소 코팅과 흑연 기판 간의 접착력을 강화하여 박리 위험을 줄이고 제품 수명을 더욱 연장하는 독자적인 특허 기술을 포함한 첨단 공정을 지속적으로 개선하고 있습니다.

반도체 제조 분야에서의 응용 및 이점

그만큼MOCVD용 탄화규소 코팅이러한 실리콘 카바이드 코팅 서셉터는 고온 및 부식성 환경에서 매우 효과적입니다. 흑연 웨이퍼 캐리어 또는 기타 MOCVD 구성 요소로 사용되는 경우, 이러한 실리콘 카바이드 코팅 서셉터는 탁월한 내구성과 성능을 보여줍니다. 신뢰할 수 있는 솔루션을 찾는 분들에게 적합합니다.SiC 코팅 흑연 서셉터시장에서 VET Energy의 탄화규소 코팅 흑연 트레이, 플레이트 및 커버는 반도체 산업의 엄격한 요구 사항을 충족하는 견고하고 다용도적인 옵션을 제공합니다.

VET Energy는 첨단 소재 과학에 집중하여 반도체 공정 혁신을 주도하고 모든 MOCVD 관련 응용 분야에서 안정적인 성능을 보장하는 고성능 SiC 코팅 흑연 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.

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VET Energy는 SiC 코팅, TaC 코팅, 유리질 탄소 코팅, 열분해 탄소 코팅 등 다양한 코팅이 적용된 맞춤형 흑연 및 탄화규소 제품의 실제 제조업체로서 반도체 및 태양광 산업에 다양한 맞춤형 부품을 공급할 수 있습니다.

저희 기술팀은 국내 최고 연구기관 출신으로 구성되어 있어 더욱 전문적인 소재 솔루션을 제공해 드릴 수 있습니다.

당사는 더욱 우수한 소재를 제공하기 위해 첨단 공정을 지속적으로 개발해 왔으며, 코팅과 기판 사이의 접착력을 강화하고 박리 가능성을 줄이는 독자적인 특허 기술을 개발했습니다.

저희 공장 방문을 진심으로 환영합니다! 더 자세한 이야기를 나눠보도록 하겠습니다.

 

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