VET 에너지실리콘 카바이드 코팅 흑연 트레이, Plate, and Cover는 최고 수준의 성능을 제공하도록 설계되어 장기간 사용에도 안정적이고 일관된 작동을 보장하므로 반도체 산업의 웨이퍼 처리 애플리케이션에 필수적인 선택입니다. 이 고성능실리콘 카바이드 코팅 흑연판탁월한 내열성, 우수한 열 균일성, 그리고 특히 고온 조건에서 뛰어난 화학적 안정성을 자랑합니다. 고순도 구조와 뛰어난 내식성 덕분에 다음과 같은 까다로운 환경에 필수적입니다.MOCVD 서셉터.
실리콘 카바이드 코팅 흑연 트레이, 플레이트 및 커버의 주요 특징
1. 고온 산화 저항성:최대 1700℃의 온도를 견뎌내므로 극한 상황에서도 안정적으로 성능을 발휘합니다.
2. 높은 순도 및 열 균일성:MOCVD 응용 분야에서는 일관된 높은 순도와 균일한 열 분포가 매우 중요합니다.
3. 뛰어난 내식성:산, 알칼리, 염 및 다양한 유기 시약에 대한 내성이 뛰어나 다양한 환경에서 장기 안정성을 보장합니다.
4. 높은 경도와 컴팩트한 표면:미세한 입자로 이루어진 조밀한 표면을 특징으로 하여 전반적인 내구성과 마모 저항성을 향상시킵니다.
5. 연장된 서비스 수명:장수명을 위해 설계되었으며 기존 제품보다 성능이 뛰어납니다.실리콘 카바이드 코팅 흑연 서셉터혹독한 반도체 처리 환경에서.
| CVD SiC薄膜基本식물리성能 CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅 | |
| 성별 / 재산 | 典型数值 / 일반적인 값 |
| 晶体结构 / 결정 구조 | FCC β상多晶,主要为(111) 取向 |
| 크기 / 밀도 | 3.21g/cm³ |
| 정도 / 경도 | 2500 维氏硬도(500g 부하) |
| 晶粒大小 / 입자 크기 | 2~10㎛ |
| 정도 / 화학적 순도 | 99.99995% |
| 발열 / 열용량 | 640 J·kg-1·케이-1 |
| 升华温도 / 승화 온도 | 2700℃ |
| 抗弯强島 / 굽힘 강도 | 415 MPa RT 4점 |
| 杨氏模량 / 영률 | 430 Gpa 4pt 굽힘, 1300℃ |
| 导熭系数 / 테르마엘전도도 | 300W·m-1·케이-1 |
| 热膨胀系数 / 열팽창(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
맞춤형 흑연 및 실리콘 카바이드 솔루션 분야의 VET Energy 전문성
신뢰할 수 있는 제조업체인 VET Energy는 맞춤형 흑연 서셉터 및 탄화규소 코팅 솔루션을 전문으로 합니다. 당사는 반도체 및 태양광 산업에 특화된 다양한 제품을 제공하며, 여기에는 다음이 포함됩니다.SiC 코팅 흑연 부품트레이, 접시, 커버 등 다양한 제품을 제공합니다. 또한, 당사 제품 라인업에는 다음과 같은 다양한 코팅 옵션도 포함되어 있습니다.MOCVD용 SiC 코팅, TaC 코팅, 유리질 탄소 코팅, 열분해 탄소 코팅을 통해 첨단 산업의 다양한 요구 사항을 충족합니다.
국내 유수 연구 기관 출신 전문가들로 구성된 숙련된 기술팀이 고객에게 포괄적인 소재 솔루션을 제공합니다. 당사는 실리콘 카바이드 코팅과 흑연 기판 간의 접합력을 강화하는 독점 특허 기술을 포함하여 첨단 공정을 지속적으로 개선하여 박리 위험을 줄이고 제품 수명을 더욱 연장합니다.
반도체 제조 분야의 응용 분야 및 이점
그만큼MOCVD용 실리콘 카바이드 코팅고온 부식성 환경에서 이 흑연 서셉터는 매우 효과적입니다. 흑연 웨이퍼 캐리어 또는 기타 MOCVD 부품으로 사용되든, 이 탄화규소 코팅 서셉터는 탁월한 내구성과 성능을 발휘합니다. 신뢰할 수 있는 솔루션을 찾는 분들에게SiC 코팅 흑연 서셉터VET Energy의 실리콘 카바이드 코팅 흑연 트레이, 플레이트 및 커버는 반도체 산업의 엄격한 요구 사항을 충족하는 견고하고 다재다능한 옵션을 제공합니다.
VET Energy는 첨단 소재 과학에 중점을 두고 반도체 공정의 혁신을 주도하고 모든 MOCVD 관련 애플리케이션에서 안정적인 성능을 보장하는 고성능 SiC 코팅 흑연 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.
VET Energy는 SiC 코팅, TaC 코팅, 유리 탄소 코팅, 열분해 탄소 코팅 등 다양한 코팅을 적용한 맞춤형 흑연 및 실리콘 카바이드 제품의 실제 제조업체로, 반도체 및 태양광 산업을 위한 다양한 맞춤형 부품을 공급할 수 있습니다.
당사의 기술팀은 국내 최고의 연구기관 출신으로, 귀하에게 보다 전문적인 소재 솔루션을 제공할 수 있습니다.
당사는 더욱 진보된 소재를 제공하기 위해 끊임없이 첨단 공정을 개발하고 있으며, 코팅과 기질 사이의 결합을 더욱 단단하게 하고 분리 가능성을 낮추는 독점적인 특허 기술을 개발했습니다.
우리 공장을 방문해 주셔서 진심으로 환영합니다. 더 자세한 이야기를 나눠보도록 하겠습니다!
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