SiC-kate/kattega grafiidist aluspind/alus pooljuhtidele

Lühike kirjeldus:

VET Energy SiC-kattega grafiidist susseptor epitaksiaalseks kasvuks on suure jõudlusega toode, mis on loodud pakkuma järjepidevat ja usaldusväärset jõudlust pikema aja jooksul. Sellel on ülihea kuumakindlus ja termiline ühtlus, kõrge puhtusaste ja erosioonikindlus, mis teeb sellest ideaalse lahenduse kiipide töötlemise rakenduste jaoks.


Toote üksikasjad

Tootesildid

SiC-kate/grafiidist sustseptori kate pooljuhtidele
 
SeeSiC-kattega grafiidist aluspindon ülimalt vastupidav ja tõhus lahendus, mis on loodud vastama pooljuhtide töötleva tööstuse rangetele nõudmistele. Sisaldab ülipuhta kihtiränikarbiidist (SiC) kate, see substraat pakub erakordset termilist stabiilsust, oksüdatsioonikindlust ja pikka kasutusiga, mistõttu sobib see ideaalselt MOCVD protsesside, grafiidist vahvlikandjate ja muude kõrge temperatuuriga keskkondade rakenduste jaoks.

 Omadused: 
· Suurepärane termiline löögikindlus
· Suurepärane füüsiline löögikindlus
· Suurepärane keemiline vastupidavus
· Ülikõrge puhtusastmega
· Saadavus keerulise kujuga
· Kasutatav oksüdeerivas atmosfääris

Rakendus:

3

Toote omadused ja eelised:

1. Suurepärane kuumakindlus:Kõrge puhtusastmegaSiC-kate, substraat talub äärmuslikke temperatuure, tagades järjepideva jõudluse nõudlikes keskkondades, nagu epitaksia ja pooljuhtide tootmine.

2. Suurem vastupidavus:SiC-kattega grafiitkomponendid on loodud keemilise korrosiooni ja oksüdeerumise vastu pidama, pikendades aluspinna eluiga võrreldes tavaliste grafiitaluspindadega.

3. Klaaskattega grafiit:Klaaskeha ainulaadne struktuurSiC-katetagab suurepärase pinna kõvaduse, minimeerides kulumist kõrgel temperatuuril töötlemise ajal.

4. Kõrge puhtusastmega SiC-kate:Meie aluspind tagab tundlikes pooljuhtprotsessides minimaalse saastumise, pakkudes usaldusväärsust tööstusharudele, mis nõuavad ranget materjali puhtust.

5. Laialdane turukasutus:SeeSiC-kattega grafiidist sustseptorTurg kasvab jätkuvalt, kuna pooljuhtide tootmises suureneb nõudlus täiustatud ränikarbiidiga kaetud toodete järele, mis positsioneerib selle aluspinna võtmeisikuks nii grafiitplaatide kandjate kui ka ränikarbiidiga kaetud grafiidist aluste turul.

Alusgrafiidimaterjali tüüpilised omadused:

Näiv tihedus: 1,85 g/cm3
Elektriline takistus: 11 μΩm
Paindetugevus: 49 MPa (500 kgf/cm2)
Shore'i kõvadus: 58
Tuhk: <5 ppm
Soojusjuhtivus: 116 W/mK (100 kcal/mh-℃)

 

Südame-veresoonkonna haigus SiC薄膜基本物理性能

CVD-siikarbiidi põhilised füüsikalised omadusedkate

性质 / Kinnisvara

典型数值 / Tüüpiline väärtus

晶体结构 / Kristallstruktuur

FCC β faas 多晶,主要为(111)取向

密度 / Tihedus

3,21 g/cm³

硬度 / kõvadus

2500 维氏硬度 (500 g koorem)

晶粒大小 / Grain Size

2–10 μm

纯度 / Keemiline puhtus

99,99995%

热容 / Soojusvõimsus

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimatsioonitemperatuur

2700 ℃

抗弯强度 / Paindetugevus

415 MPa RT 4-punktiline

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt painutus, 1300 ℃

导热系数 / Soojusjuhtivus

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / soojuspaisumine (CTE)

4,5 × 10-6K-1

1

2

 

 

VET Energy on kohandatud grafiidist ja ränikarbiidist toodete tootja, millel on erinevad kateained, nagu SiC-kate, TaC-kate, klaasjas süsinikkate, pürolüütiline süsinikkate jne, ning pakub mitmesuguseid kohandatud osi pooljuhtide ja fotogalvaanika tööstusele.

Meie tehniline meeskond pärineb tipptasemel kodumaistest teadusasutustest ja saab pakkuda teile professionaalsemaid materjalilahendusi.

Arendame pidevalt täiustatud protsesse, et pakkuda veelgi täiustatumaid materjale, ning oleme välja töötanud eksklusiivse patenteeritud tehnoloogia, mis muudab katte ja aluspinna vahelise sideme tihedamaks ja vähem altid eraldumisele.

Tere tulemast meie tehasesse külla, arutame lähemalt!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Eelmine:
  • Järgmine:

  • WhatsAppi veebivestlus!