Epitaksiale Epi Graphite Barrel Susceptor

Epitaksiale Epi Graphite Barrel Susceptor

Epitaksiale Epi Graphite Barrel Susceptoris in spesjaal ûntworpen stipe- en ferwaarmingsapparaat dat brûkt wurdt om healgeleidersubstraten te hâlden en te ferwaarmjen tidens produksjeprosessen lykas ôfsettings- of epitaksyprosessen.

De struktuer omfettet typysk silindrysk of wat tonfoarmich, it oerflak hat meardere bûsen of platfoarms foar it pleatsen fan 'e wafers, en kin in massief of hol ûntwerp hawwe, ôfhinklik fan 'e ferwaarmingsmetoade.

De wichtichste funksjes fan epitaksiale barrel susceptor:

1. Waferdrager en temperatuerkontrôle
It oerflak fan 'e susceptor is ûntworpen mei meardere waferpockets (lykas in hexagonale of achthoekige opset), dy't tagelyk 6-15 wafers stypje kinne. De hege termyske geliedingsfermogen fan grafyt mei hege suverens (120-150W/mK) soarget foar in rappe waarmte-oerdracht, kombineare mei de rotaasjefunksje (5-20 RPM), wat resulteart yn in ôfwiking fan 'e waferoerflaktemperatuer fan <± 1 ℃ en in uniformiteit fan 'e epitaksiale laachdikte fan <1%.

2. Optimalisaasje fan 'e streamrjochting fan reaktantgas
De mikrostruktuer fan it susceptor-oerflak kin it grinslaacheffekt brekke, wêrtroch't in unifoarme ferdieling fan reaksjegassen (lykas SiH4, NH3) mooglik is en de konsistinsje fan 'e ôfsettingssnelheid ferbetteret.

3. Beskerming tsjin fersmoarging en korrosje
Grafytsubstraten binne gefoelich foar ûntbining en litte metaalûnreinheden (lykas Fe, Ni) frij by hege temperatueren, wylst in 100 μm dikke CVD SiC-coating in tichte barriêre kin foarmje om grafytferdamping te ûnderdrukken, wat resulteart yn in waferdefektrate fan <0.1 defekten/cm².

Applikaasjes:
-Benammen brûkt foar silisium epitaksiale groei
-Ek fan tapassing foar epitaksy fan oare healgeleidermaterialen lykas GaAs, InP, ensfh.

VET Energy brûkt grafyt fan hege suverens mei in CVD-SiC-coating om de gemyske stabiliteit te ferbetterjen:

1. Grafytmateriaal mei hege suverens
Hege termyske geliedingsfermogen: de termyske geliedingsfermogen fan grafyt is trije kear dy fan silisium, wat waarmte fluch fan 'e ferwaarmingsboarne nei de wafer kin oerdrage en de ferwaarmingstiid kin koarter meitsje.
Mechanyske sterkte: Isostatyske drukgrafytdichtheid ≥ 1,85 g/cm³, by steat om hege temperatueren boppe 1200 ℃ te wjerstean sûnder deformaasje.

2. CVD SiC-coating
In β-SiC-laach wurdt foarme op it oerflak fan grafyt troch gemyske dampôfsetting (CVD), mei in suverens fan ≥ 99.99995%, de uniformiteitsflater fan 'e coatingdikte is minder dan ± 5%, en de oerflakteruwheid is minder dan Ra0.5um.

3. Ferbettering fan prestaasjes:
Korrosjebestriding: kin hege korrosive gassen lykas Cl2, HCl, ensfh. wjerstean, kin de libbensdoer fan GaN-epitaxy mei trije kear ferlingje yn 'e NH3-omjouwing.
Termyske stabiliteit: De koëffisjint fan termyske útwreiding (4.5 × 10-6/℃) komt oerien mei grafyt om te foarkommen dat de coating barst troch temperatuerfluktuaasjes.
Hurdens en wearbestindigens: De Vickers-hurdens berikt 28 GPa, wat 10 kear heger is as grafyt en it risiko op waferkrassen kin ferminderje.