SiC-coating/coated grafytsubstraat/tray foar healgeleiders

Koarte beskriuwing:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor foar epitaksiale groei is in heechweardige produkt ûntworpen om konsekwinte en betroubere prestaasjes te leverjen oer in langere perioade. It hat super goede waarmtebestriding en termyske uniformiteit, hege suverens, eroazjebestriding, wêrtroch it de perfekte oplossing is foar waferferwurkingsapplikaasjes.


Produktdetail

Produktlabels

SiC-coating/coating fan grafyt-susceptor foar healgeleiders
 
DeSiC-coated grafytsubstraatis in tige duorsume en effisjinte oplossing ûntworpen om te foldwaan oan de strange easken fan 'e healgeleiderferwurkingsyndustry. Mei in laach fan hege suverenssilisiumkarbid (SiC) coating, dit substraat leveret útsûnderlike termyske stabiliteit, oksidaasjebestriding en in langere libbensdoer, wêrtroch it ideaal is foar tapassingen yn MOCVD-prosessen, grafytwaferdragers en oare hege-temperatueromjouwings.

 Eigenskippen: 
· Uitstekende termyske skokbestindigens
· Uitstekende fysike skokbestindigens
· Uitstekende gemyske wjerstân
· Super hege suverens
· Beskikberens yn komplekse foarm
· Gebrûkber ûnder oksidearjende atmosfear

Oanfraach:

3

Produktfunksjes en foardielen:

1. Superieure termyske wjerstân:Mei in hege suverensSiC-coating, it substraat is bestand tsjin ekstreme temperatueren, wêrtroch konsekwinte prestaasjes wurde garandearre yn easken omjouwings lykas epitaksy en healgeleiderfabrikaasje.

2. Ferbettere duorsumens:De SiC-coated grafytkomponinten binne ûntworpen om gemyske korrosje en oksidaasje te wjerstean, wêrtroch't de libbensdoer fan it substraat ferlingd wurdt yn ferliking mei standert grafytsubstraten.

3. Glêskleurige omhulde grafyt:De unike glêstriedstruktuer fan 'eSiC-coatingbiedt poerbêste oerflakhurdens, wêrtroch slijtage minimalisearre wurdt by ferwurking op hege temperatuer.

4. SiC-coating mei hege suverens:Us substraat soarget foar minimale fersmoarging yn gefoelige healgeleiderprosessen, en biedt betrouberens foar yndustryen dy't strange materiaalsuverens fereaskje.

5. Brede merkapplikaasje:DeSiC-coated grafytsusceptorDe merk bliuwt groeie, om't de fraach nei avansearre SiC-coated produkten yn 'e produksje fan healgeleiders tanimt, wêrtroch dit substraat in wichtige spiler is yn sawol de merk foar grafytwaferdragers as de merk foar silisiumkarbid-coated grafyttrays.

Typyske eigenskippen fan basisgrafytmateriaal:

Skynbere tichtheid: 1,85 g/cm3
Elektryske wjerstân: 11 μΩm
Bûgingssterkte: 49 MPa (500 kgf/cm²)
Shore hurdens: 58
Jiske: <5ppm
Termyske geliedingsfermogen: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Basis fysike eigenskippen fan CVD SiCbedekking

性质 / Eigenskip

典型数值 / Typyske wearde

晶体结构 / Crystal Structure

FCC β phase 多晶,主要为(111)取向

密度 / Tichtheid

3,21 g/cm³

硬度 / hurdens

2500 维氏硬度(500g lading)

晶粒大小 / Grain SiZe

2~10μm

纯度 / Chemical Purity

99.99995%

热容 / Heat Kapasiteit

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimaasjetemperatuer

2700 ℃

抗弯强度 / Flexural Strength

415 MPa RT 4-punt

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt bûging, 1300 ℃

导热系数 / Thermyske konduktiviteit

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Thermal Expansion (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

 

 

VET Energy is de echte fabrikant fan oanpaste grafyt- en silisiumkarbidprodukten mei ferskate coatings lykas SiC-coating, TaC-coating, glêzen koalstofcoating, pyrolytyske koalstofcoating, ensfh., en kin ferskate oanpaste ûnderdielen leverje foar de healgeleider- en fotovoltaïske yndustry.

Us technysk team komt fan top ynlânske ûndersyksynstellingen, kin mear profesjonele materiaaloplossingen foar jo leverje.

Wy ûntwikkelje kontinu avansearre prosessen om mear avansearre materialen te leverjen, en hawwe in eksklusive patintearre technology útwurke, dy't de ferbining tusken de coating en it substraat strakker en minder gefoelich foar loslitting meitsje kin.

Wolkom jo graach om ús fabryk te besykjen, lit ús fierder prate!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Foarige:
  • Folgjende:

  • WhatsApp Online Chat!