Szilícium-karbid SiC diffúziós folyamatcső

Szilícium-karbid SiC diffúziós folyamatcső

Szilícium-karbid diffúziós kemencecsövekkulcsfontosságú alkatrészek a félvezetőgyártásban, a magas hőmérsékletű hőkezelésben és az anyagelőkészítési folyamatokban. Elsősorban diffúziós vagy oxidációs kemencék hordozó- és reakciókamrájaként használják őket, olyan folyamatokat hajtva végre, mint az atmoszférikus reakció, oxidáció, diffúzió és hőkezelés magas hőmérsékletű, erősen korrozív környezetben.
A VET Energy szilícium-karbid (SiC) csövek tervezésére és gyártására specializálódott magas hőmérsékletű és korrozív félvezető alkalmazásokhoz. Korszerű gyártóberendezéseinkkel és saját fejlesztésű CVD és szinterezési technológiáinkkal olyan csöveket szállítunk, amelyek kiváló hőstabilitással, oxidációs ellenállással és hosszú élettartammal rendelkeznek.

A VET Energy SiC csöveinek előnyei:

Ultra nagy tisztaságú:Egy speciális szinterelési eljárással előállítva a káros fémszennyeződéseket (például Na, K, Fe és Al) a ppb szintre csökkentik.
Rendkívül alacsony gázkibocsátás:Magas hőmérsékletű, nagyvákuumú környezetben a gázkibocsátás jóval alacsonyabb, mint a kvarc esetében, ami hatékonyan megakadályozza a folyamatkamra szennyeződését, biztosítja a lerakódott vékonyrétegek vagy kristálynövekedés belső minőségét, és jelentősen javítja a termékhozamot (különösen fontos a SiC epitaxia, a GaN növekedés és a csúcskategóriás egykristályos szilíciumgyártás szempontjából).
Magas hőmérsékletű stabilitás:Hosszú távon 1600°C-ot meghaladó üzemi hőmérséklet (jóval a kvarc lágyuláspontja, körülbelül 1200°C felett) is lehetséges, rövid távon pedig még magasabb hőmérsékleteket (például 1800°C-ot) is elbír, megfelelve a harmadik generációs félvezetők és kristálynövekedési folyamatok ultramagas hőmérsékleti követelményeinek.
Kémiai korrózióállóság:Rendkívül ellenálló az erősen korrozív gázokkal, például HCl-lel, Cl₂-vel és HF-fel, valamint az olvadt szilíciummal és fémgőzzel szemben, megőrzi szerkezeti integritását és felületi minőségét összetett atmoszférákban, például CVD, diffúzió, oxidáció és maratás esetén, élettartama pedig messze meghaladja a kvarc kemencecsövek élettartamát.
Kiváló hővezető képesség:Hővezető képessége több tucatszor nagyobb, mint a kvarcé, ami lehetővé teszi a gyorsabb és egyenletesebb kemencehőmérséklet-eloszlást, valamint javítja a folyamat egyenletességét és megismételhetőségét. Ez különösen fontos a nagy felületű, több szeletet tartalmazó feldolgozásnál (pl. fotovoltaikus diffúziós kemencék és MOCVD reaktorok).
Méretstabilitás:Rendkívül alacsony hőtágulási együtthatója biztosítja, hogy a kemencecső ismétlődő és drasztikus hőmérséklet-ingadozások esetén is rendkívül stabil geometriát tart fenn, megakadályozva a tömítés meghibásodását vagy a hőtágulás és -összehúzódás okozta feszültségkoncentrációt.
Tartósság:Nagy keménysége és szilárdsága kiváló mechanikai tulajdonságokat kölcsönöz a kemencecsőnek, így ellenáll a deformációnak és a sérüléseknek.

Tipikus alkalmazás:

Félvezető gyártás:SiC/GaN epitaxiális növekedés (MOCVD, HTCCVD), szilícium alapú epitaxia, magas hőmérsékletű diffúzió/oxidáció/lágyítás (RTP) és LPCVD.

Fotovoltaikus ipar:Kristályos szilícium napelemek magas hőmérsékletű diffúziója (foszfor/bór diffúzió) és hőkezelése.