Porózus szilícium-karbid SiC kerámia
Porózus SiC kerámiaegy nagy teljesítményű kerámia anyag, szabályozható pórusszerkezettel, amely ultramagas tisztasággal, magas hőmérséklettel szembeni ellenállással, hősokk-állósággal és kémiai inertséggel rendelkezik. Széles körben használják olyan fejlett területeken, mint a félvezetőgyártás, a fotovoltaikus szilícium ostyák gyártása és a harmadik generációs félvezető (SiC/GaN) epitaxiális eljárások.
A VET Energy nagy tisztaságú SiC port és fejlett szinterezési technológiát használ a pórusméret pontos szabályozásához (0,05–100 μm), így megfelel a szűrés, diffúzió, katalízis és hőkezelés iránti változatos alkalmazási követelményeknek. Ideális választás a félvezető és fotovoltaikus iparágak számára a hozamok növeléséhez, a szennyeződés csökkentéséhez és a folyamatok optimalizálásához.
Fő előnyeink
✅ Ultramagas tisztaságú:
fémszennyeződések <0,5 ppm, megfelel a SEMI szabványoknak, megakadályozva a lapka szennyeződését;
✅ Magas hőmérséklet-állóság (folyamatos használat 1600℃-on):
alkalmas magas hőmérsékletű környezetekhez, például CVD-hez, diffúziós kemencékhez és szilíciumolvasztáshoz;
✅ Erős hősokk-állóság:
alkalmazkodik a gyors hőmérséklet-változásokhoz, csökkentve a berendezések állásidejét
✅ Kémiai inertség (ellenáll savaknak, lúgoknak és olvadt fémeknek):
ellenáll a korrozív gázoknak, például a HF-nek és a Cl₂-nek, az élettartama messze meghaladja a fémszűrőkéit;
✅ Szabályozott pórusszerkezet (0,05-100 µm):
támogatja a fokozatos szűrést, javítva a folyadékáramlás hatékonyságát;
Tipikus alkalmazás
1. Félvezetőgyártás: CVD/ALD gázszűrés, diffúziós kemence áramláselosztó lemezek, maratásos kipufogógáz-kezelés stb.
2. Fotovoltaikus ipar: Szilícium anyagolvasztó szűrés, PERC sejtbevonó maszkok stb.
3. Harmadik generációs félvezetők (SiC/GaN): Szeletek epitaxiális előkezelése.
| A SiC porózus kerámia tulajdonságai | ||
| Tétel | Egység | SiC porózus kerámia |
| Pórusátmérő | um | 10~30 |
| Sűrűség | g/cm³ | 1,2~1,3 |
| Felületi érdesség | um | 2,5~3 |
| Levegő adszorpciós érték | KPA | -45 |
| Hajlító szilárdság | MPa | 30 |
| Dielektromos állandó | 1 MHz | 33 |
| Hővezető képesség | W/(m·K) | 60~70 |
A VET Energy egy professzionális gyártó, amely a csúcskategóriás, fejlett anyagok, például grafit, szilícium-karbid, kvarc kutatás-fejlesztésére és gyártására, valamint az olyan anyagkezelésekre összpontosít, mint a SiC bevonat, TaC bevonat, üvegkarbon bevonat, pirolitikus szénbevonat stb. A termékeket széles körben használják fotovoltaikus, félvezető, új energia, kohászat stb. területeken.
Műszaki csapatunk a legjobb hazai kutatóintézetekből származik, és professzionálisabb anyagmegoldásokat tud nyújtani Önnek.
A VET Energy előnyei a következők:
• Saját gyár és professzionális laboratórium;
• Iparágvezető tisztasági szintek és minőség;
• Versenyképes ár és gyors szállítási idő;
• Több iparági partnerség világszerte;
Szeretettel várjuk gyárunkat és laboratóriumunkat bármikor!
