PECVD ದೋಣಿಯನ್ನು ಹೇಗೆ ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡುವುದು, ಬಳಸುವುದು ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಿಸುವುದು?

1. PECVD ದೋಣಿ ಎಂದರೇನು?

೧.೧ ವ್ಯಾಖ್ಯಾನ ಮತ್ತು ಮೂಲ ಕಾರ್ಯಗಳು

PECVD ದೋಣಿ (ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ವರ್ಧಿತ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ) PECVD ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ವೇಫರ್‌ಗಳು ಅಥವಾ ತಲಾಧಾರಗಳನ್ನು ಸಾಗಿಸಲು ಬಳಸುವ ಒಂದು ಪ್ರಮುಖ ಸಾಧನವಾಗಿದೆ. ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ (300-600°C), ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ-ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸಿದ ಮತ್ತು ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲ (SiH₄, NH₃ ನಂತಹ) ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ. ಇದರ ಮುಖ್ಯ ಕಾರ್ಯಗಳು ಸೇರಿವೆ:

● ನಿಖರವಾದ ಸ್ಥಾನೀಕರಣ: ಏಕರೂಪದ ವೇಫರ್ ಅಂತರವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಿ ಮತ್ತು ಲೇಪನ ಹಸ್ತಕ್ಷೇಪವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಿ.
● ಉಷ್ಣ ಕ್ಷೇತ್ರ ನಿಯಂತ್ರಣ: ತಾಪಮಾನ ವಿತರಣೆಯನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸುವುದು ಮತ್ತು ಪದರದ ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುವುದು.
● ಮಾಲಿನ್ಯ-ವಿರೋಧಿ ತಡೆಗೋಡೆ: ಲೋಹದ ಮಾಲಿನ್ಯದ ಅಪಾಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಉಪಕರಣದ ಕುಹರದಿಂದ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾವನ್ನು ಪ್ರತ್ಯೇಕಿಸುತ್ತದೆ.

೧.೨ ವಿಶಿಷ್ಟ ರಚನೆಗಳು ಮತ್ತು ವಸ್ತುಗಳು

ವಸ್ತು ಆಯ್ಕೆ:

● ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ದೋಣಿ (ಮುಖ್ಯವಾಹಿನಿಯ ಆಯ್ಕೆ): ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಪ್ರತಿರೋಧ, ಕಡಿಮೆ ವೆಚ್ಚ, ಆದರೆ ಅನಿಲ ಸವೆತವನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು ಲೇಪನದ ಅಗತ್ಯವಿದೆ.
● ● ದೃಷ್ಟಾಂತಗಳುಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆ ದೋಣಿ: ಅತ್ಯಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ, ರಾಸಾಯನಿಕವಾಗಿ ನಿರೋಧಕ, ಆದರೆ ಹೆಚ್ಚು ಸುಲಭವಾಗಿ ಮತ್ತು ದುಬಾರಿ.
● ● ದೃಷ್ಟಾಂತಗಳುಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ (ಉದಾಹರಣೆಗೆ Al₂O₃): ಸವೆತ ನಿರೋಧಕ, ಅಧಿಕ ಆವರ್ತನ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ, ಆದರೆ ಕಡಿಮೆ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ.

ಪ್ರಮುಖ ವಿನ್ಯಾಸ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು:

● ಸ್ಲಾಟ್ ಅಂತರ: ವೇಫರ್ ದಪ್ಪವನ್ನು ಹೊಂದಿಸಿ (ಉದಾಹರಣೆಗೆ 0.3-1 ಮಿಮೀ ಸಹಿಷ್ಣುತೆ).
● ● ದೃಷ್ಟಾಂತಗಳುಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ರಂಧ್ರ ವಿನ್ಯಾಸ: ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾ ಅನಿಲ ವಿತರಣೆಯನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮಗೊಳಿಸಿ ಮತ್ತು ಅಂಚಿನ ಪರಿಣಾಮವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಿ.
● ● ದೃಷ್ಟಾಂತಗಳುಮೇಲ್ಮೈ ಲೇಪನ: ಸೇವಾ ಅವಧಿಯನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸಲು ಸಾಮಾನ್ಯ SiC, TaC ಅಥವಾ DLC (ವಜ್ರದಂತಹ ಇಂಗಾಲ) ಲೇಪನ.

2. PECVD ದೋಣಿಗಳ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಗೆ ನಾವು ಏಕೆ ಗಮನ ಕೊಡಬೇಕು?

2.1 ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಇಳುವರಿಯನ್ನು ನೇರವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುವ ನಾಲ್ಕು ಪ್ರಮುಖ ಅಂಶಗಳು

✔ ಮಾಲಿನ್ಯ ನಿಯಂತ್ರಣ:
ದೋಣಿಯ ಬಾಡಿಯಲ್ಲಿರುವ ಕಲ್ಮಶಗಳು (Fe ಮತ್ತು Na ನಂತಹವು) ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಆವಿಯಾಗುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಫಿಲ್ಮ್‌ನಲ್ಲಿ ಪಿನ್‌ಹೋಲ್‌ಗಳು ಅಥವಾ ಸೋರಿಕೆ ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ.
ಲೇಪನ ಸಿಪ್ಪೆ ತೆಗೆಯುವುದರಿಂದ ಕಣಗಳು ಸೇರ್ಪಡೆಯಾಗಿ ಲೇಪನ ದೋಷಗಳು ಉಂಟಾಗುತ್ತವೆ (ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಕಣಗಳು > 0.3μm ಬ್ಯಾಟರಿ ದಕ್ಷತೆಯು 0.5% ರಷ್ಟು ಕಡಿಮೆಯಾಗಲು ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು).

✔ ಉಷ್ಣ ಕ್ಷೇತ್ರ ಏಕರೂಪತೆ:
PECVD ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ದೋಣಿಯ ಅಸಮ ಶಾಖ ವಹನವು ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪದಲ್ಲಿ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ (ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ±5% ಏಕರೂಪತೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಯ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ, ತಾಪಮಾನ ವ್ಯತ್ಯಾಸವು 10°C ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆಯಿರಬೇಕು).

✔ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ:
ಅಸಮರ್ಪಕ ವಸ್ತುಗಳು ಅಸಹಜ ವಿಸರ್ಜನೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು ಮತ್ತು ವೇಫರ್ ಅಥವಾ ಸಾಧನ ವಿದ್ಯುದ್ವಾರಗಳಿಗೆ ಹಾನಿ ಮಾಡಬಹುದು.

✔ ಸೇವಾ ಜೀವನ ಮತ್ತು ವೆಚ್ಚ:
ಕಡಿಮೆ ಗುಣಮಟ್ಟದ ದೋಣಿ ಹಲ್‌ಗಳನ್ನು ಆಗಾಗ್ಗೆ ಬದಲಾಯಿಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ (ಉದಾಹರಣೆಗೆ ತಿಂಗಳಿಗೊಮ್ಮೆ), ಮತ್ತು ವಾರ್ಷಿಕ ನಿರ್ವಹಣಾ ವೆಚ್ಚಗಳು ದುಬಾರಿಯಾಗಿರುತ್ತವೆ.

3. PECVD ದೋಣಿಯನ್ನು ಹೇಗೆ ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡುವುದು, ಬಳಸುವುದು ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಿಸುವುದು?

೩.೧ ಮೂರು-ಹಂತದ ಆಯ್ಕೆ ವಿಧಾನ

ಹಂತ 1: ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ಸ್ಪಷ್ಟಪಡಿಸಿ

● ತಾಪಮಾನದ ಶ್ರೇಣಿ: ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ + SiC ಲೇಪನವನ್ನು 450°C ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡಬಹುದು, ಮತ್ತು 600°C ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆ ಅಥವಾ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಅಗತ್ಯವಿದೆ.
● ● ದೃಷ್ಟಾಂತಗಳುಅನಿಲ ಪ್ರಕಾರ: Cl2 ಮತ್ತು F- ನಂತಹ ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವಾಗ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಲೇಪನವನ್ನು ಬಳಸಬೇಕು.
● ● ದೃಷ್ಟಾಂತಗಳುವೇಫರ್ ಗಾತ್ರ: 8-ಇಂಚಿನ/12-ಇಂಚಿನ ದೋಣಿ ರಚನೆಯ ಬಲವು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ವಿಭಿನ್ನವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಉದ್ದೇಶಿತ ವಿನ್ಯಾಸದ ಅಗತ್ಯವಿದೆ.

ಹಂತ 2: ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಮಾಪನಗಳನ್ನು ಮೌಲ್ಯಮಾಪನ ಮಾಡಿ

ಪ್ರಮುಖ ಮಾಪನಗಳು:

● ● ದೃಷ್ಟಾಂತಗಳುಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನ (Ra) : ≤0.8μm (ಸಂಪರ್ಕ ಮೇಲ್ಮೈ ≤0.4μm ಆಗಿರಬೇಕು)
● ● ದೃಷ್ಟಾಂತಗಳುಲೇಪನ ಬಂಧದ ಬಲ: ≥15MPa (ASTM C633 ಮಾನದಂಡ)
● ● ದೃಷ್ಟಾಂತಗಳುಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ವಿರೂಪ (600℃) : ≤0.1mm/m (24 ಗಂಟೆಗಳ ಪರೀಕ್ಷೆ)

ಹಂತ 3: ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯನ್ನು ಪರಿಶೀಲಿಸಿ

● ಸಲಕರಣೆ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ: AMAT Centura, centrotherm PECVD, ಇತ್ಯಾದಿಗಳಂತಹ ಮುಖ್ಯವಾಹಿನಿಯ ಮಾದರಿಗಳೊಂದಿಗೆ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ ಗಾತ್ರವನ್ನು ದೃಢೀಕರಿಸಿ.
● ಪ್ರಾಯೋಗಿಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪರೀಕ್ಷೆ: ಲೇಪನದ ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು ಪರಿಶೀಲಿಸಲು 50-100 ತುಣುಕುಗಳ ಸಣ್ಣ ಬ್ಯಾಚ್ ಪರೀಕ್ಷೆಯನ್ನು ನಡೆಸಲು ಶಿಫಾರಸು ಮಾಡಲಾಗಿದೆ (ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪದ ಪ್ರಮಾಣಿತ ವಿಚಲನ <3%).

3.2 ಬಳಕೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆಗೆ ಉತ್ತಮ ಅಭ್ಯಾಸಗಳು

ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ವಿಶೇಷಣಗಳು:

✔ समानिक के ले�ಪೂರ್ವ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ:

● ಮೊದಲ ಬಳಕೆಗೆ ಮೊದಲು, ಕ್ಸಿನ್‌ಝೌವನ್ನು ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳಲ್ಪಟ್ಟ ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು 30 ನಿಮಿಷಗಳ ಕಾಲ ಆರ್ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾದಿಂದ ಬಾಂಬ್ ಮಾಡಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ.

● ● ದೃಷ್ಟಾಂತಗಳುಪ್ರತಿ ಬ್ಯಾಚ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನಂತರ, ಸಾವಯವ ಅವಶೇಷಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು SC1 (NH₄OH:H₂O₂:H₂O=1:1:5) ಅನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

✔ ನಿಷೇಧಗಳನ್ನು ಲೋಡ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತಿದೆ:

● ● ದೃಷ್ಟಾಂತಗಳುಓವರ್‌ಲೋಡ್ ಮಾಡುವುದನ್ನು ನಿಷೇಧಿಸಲಾಗಿದೆ (ಉದಾ. ಗರಿಷ್ಠ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು 50 ತುಣುಕುಗಳಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ, ಆದರೆ ವಿಸ್ತರಣೆಗಾಗಿ ಜಾಗವನ್ನು ಕಾಯ್ದಿರಿಸಲು ನಿಜವಾದ ಲೋಡ್ ≤ 45 ತುಣುಕುಗಳಾಗಿರಬೇಕು).

● ● ದೃಷ್ಟಾಂತಗಳುಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಅಂಚಿನ ಪರಿಣಾಮಗಳನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು ವೇಫರ್‌ನ ಅಂಚು ದೋಣಿ ತೊಟ್ಟಿಯ ತುದಿಯಿಂದ ≥2 ಮಿಮೀ ದೂರದಲ್ಲಿರಬೇಕು.

✔ ಜೀವಿತಾವಧಿಯನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸುವ ಸಲಹೆಗಳು

● ಲೇಪನ ದುರಸ್ತಿ: ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನ Ra＞1.2μm, SiC ಲೇಪನವನ್ನು CVD ಮೂಲಕ ಮರು-ಠೇವಣಿ ಮಾಡಬಹುದು (ಬದಲಿಗಿಂತ ವೆಚ್ಚವು 40% ಕಡಿಮೆ).

✔ ನಿಯಮಿತ ಪರೀಕ್ಷೆ:

● ಮಾಸಿಕ: ಬಿಳಿ ಬೆಳಕಿನ ಇಂಟರ್ಫೆರೋಮೆಟ್ರಿಯನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಲೇಪನದ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ಪರಿಶೀಲಿಸಿ.
● ● ದೃಷ್ಟಾಂತಗಳುತ್ರೈಮಾಸಿಕ: XRD ಮೂಲಕ ದೋಣಿಯ ಸ್ಫಟಿಕೀಕರಣದ ಮಟ್ಟವನ್ನು ವಿಶ್ಲೇಷಿಸಿ (5% ಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಸ್ಫಟಿಕ ಹಂತವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ವೇಫರ್ ದೋಣಿಯನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಬೇಕಾಗಿದೆ).

4. ಸಾಮಾನ್ಯ ಸಮಸ್ಯೆಗಳು ಯಾವುವು?

ಪ್ರಶ್ನೆ 1: ಸಾಧ್ಯವೇPECVD ದೋಣಿLPCVD ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸಬಹುದೇ?

A: ಶಿಫಾರಸು ಮಾಡಲಾಗಿಲ್ಲ! LPCVD ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ (ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 800-1100°C) ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಅನಿಲ ಒತ್ತಡವನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳುವ ಅಗತ್ಯವಿದೆ. ಇದಕ್ಕೆ ತಾಪಮಾನ ಬದಲಾವಣೆಗಳಿಗೆ (ಐಸೋಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್‌ನಂತಹ) ಹೆಚ್ಚು ನಿರೋಧಕವಾದ ವಸ್ತುಗಳ ಬಳಕೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸ್ಲಾಟ್ ವಿನ್ಯಾಸವು ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಪರಿಹಾರವನ್ನು ಪರಿಗಣಿಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ.
ಪ್ರಶ್ನೆ 2: ದೋಣಿಯ ಭಾಗ ವಿಫಲವಾಗಿದೆಯೇ ಎಂದು ಹೇಗೆ ನಿರ್ಧರಿಸುವುದು?

A: ಈ ಕೆಳಗಿನ ಲಕ್ಷಣಗಳು ಕಂಡುಬಂದರೆ ತಕ್ಷಣವೇ ಬಳಸುವುದನ್ನು ನಿಲ್ಲಿಸಿ:
ಬಿರುಕುಗಳು ಅಥವಾ ಲೇಪನ ಸಿಪ್ಪೆಸುಲಿಯುವಿಕೆಯು ಬರಿಗಣ್ಣಿಗೆ ಗೋಚರಿಸುತ್ತದೆ.
ಸತತ ಮೂರು ಬ್ಯಾಚ್‌ಗಳಿಗೆ ವೇಫರ್ ಲೇಪನ ಏಕರೂಪತೆಯ ಪ್ರಮಾಣಿತ ವಿಚಲನವು 5% ಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚು.
ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಕೊಠಡಿಯ ನಿರ್ವಾತ ಮಟ್ಟವು 10% ಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಕಡಿಮೆಯಾಗಿದೆ.

Q3: ಗ್ರಾಫೈಟ್ ದೋಣಿ vs. ಕ್ವಾರ್ಟ್ಜ್ ದೋಣಿ, ಹೇಗೆ ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡುವುದು?

ತೀರ್ಮಾನ: ಗ್ರಾಫೈಟ್ ದೋಣಿಗಳನ್ನು ಸಾಮೂಹಿಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಸನ್ನಿವೇಶಗಳಿಗೆ ಆದ್ಯತೆ ನೀಡಲಾಗುತ್ತದೆ, ಆದರೆ ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆ ದೋಣಿಗಳನ್ನು ವೈಜ್ಞಾನಿಕ ಸಂಶೋಧನೆ/ವಿಶೇಷ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ಪರಿಗಣಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ತೀರ್ಮಾನ:

ಆದರೂPECVD ದೋಣಿಮುಖ್ಯ ಸಲಕರಣೆಯಲ್ಲ, ಇದು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸ್ಥಿರತೆಯ "ಮೂಕ ರಕ್ಷಕ". ಆಯ್ಕೆಯಿಂದ ನಿರ್ವಹಣೆಯವರೆಗೆ, ಪ್ರತಿಯೊಂದು ವಿವರವು ಇಳುವರಿ ಸುಧಾರಣೆಗೆ ಪ್ರಮುಖ ಪ್ರಗತಿಯ ಹಂತವಾಗಬಹುದು. ತಾಂತ್ರಿಕ ಮಂಜನ್ನು ಭೇದಿಸಲು ಮತ್ತು ವೆಚ್ಚ ಕಡಿತ ಮತ್ತು ದಕ್ಷತೆಯ ಸುಧಾರಣೆಗೆ ಸೂಕ್ತ ಪರಿಹಾರವನ್ನು ಕಂಡುಹಿಡಿಯಲು ಈ ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿ ನಿಮಗೆ ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಎಂದು ನಾನು ಭಾವಿಸುತ್ತೇನೆ!