1. PECVD كېمىسى دېگەن نېمە؟
1.1 ئېنىقلىما ۋە يادرولۇق ئىقتىدارلار
PECVD كېمىسى (پلازما كۈچەيتىلگەن خىمىيىلىك ھور چۆكمىسى) PECVD جەرياندا ۋافېر ياكى تارماق بالا توشۇشتا ئىشلىتىلىدىغان يادرولۇق قورال. ئۇ يۇقىرى تېمپېراتۇرا (300-600 سېلسىيە گرادۇس) ، پلازما ئاكتىپلاشتۇرۇلغان ۋە چىرىتكۈچى گاز (SiH₄ ، NH₃) مۇھىتىدا مۇقىم خىزمەت قىلىشى كېرەك. ئۇنىڭ ئاساسلىق ئىقتىدارلىرى:
● ئېنىق ئورۇن بەلگىلەش: بىر تۇتاش ۋافېر ئارىلىقىغا كاپالەتلىك قىلىڭ ھەمدە سىرنىڭ ئارىلىشىشىدىن ساقلىنىڭ.
R ئىسسىقلىق مەيدانىنى كونترول قىلىش: تېمپېراتۇرىنىڭ تارقىلىشىنى ئەلالاشتۇرۇپ ، كىنونىڭ بىردەكلىكىنى ئۆستۈرىدۇ.
Pollution بۇلغىنىشقا قارشى توساق: پلازماسنى ئۈسكۈنە بوشلۇقىدىن ئايرىپ ، مېتالنىڭ بۇلغىنىش خەۋپىنى تۆۋەنلىتىدۇ.
1.2 تىپىك قۇرۇلما ۋە ماتېرىياللار
ماتېرىيال تاللاش:
● گرافت كېمىسى (ئاساسىي ئېقىندىكى تاللاش): يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ، يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا چىداملىق ، تەننەرخى تۆۋەن ، ئەمما گازنىڭ چىرىشىنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن سىرلاشنى تەلەپ قىلىدۇ.
●كۋارتس كېمىسى: دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى ساپلىق ، خىمىيىلىك چىداملىق ، ئەمما بەك چۈرۈك ۋە قىممەت.
●ساپال بۇيۇملار (مەسىلەن Al₂O₃): ئۇپراشقا چىداملىق ، يۇقىرى چاستوتىلىق ئىشلەپچىقىرىشقا ماس كېلىدۇ ، ئەمما ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ناچار.
ئاساسلىق لايىھىلەش ئىقتىدارلىرى:
● بوشلۇق ئارىلىقى: ماس كېلىدىغان ۋافېر قېلىنلىقى (0.3-1 مىللىمېتىرغا بەرداشلىق بېرىش دېگەندەك).
●ھاۋا ئېقىمى تۆشۈكى لايىھىسى: رېئاكسىيە گازىنىڭ تارقىلىشىنى ئەلالاشتۇرۇپ ، قىر ئۈنۈمىنى تۆۋەنلىتىدۇ.
●يەر يۈزى سىر: ئادەتتىكى SiC ، TaC ياكى DLC (ئالماسقا ئوخشاش كاربون) سىر بىلەن مۇلازىمەت ئۆمرىنى ئۇزارتىدۇ.
2. نېمە ئۈچۈن PECVD كېمىلىرىنىڭ ئىقتىدارىغا دىققەت قىلىشىمىز كېرەك؟
2.1 جەرياننىڭ مەھسۇلات مىقدارىغا بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدىغان تۆت چوڭ ئامىل
بۇلغىنىشنى كونترول قىلىش:
كېمە گەۋدىسىدىكى نىجاسەتلەر (مەسىلەن Fe ۋە Na) يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا تەۋرىنىپ ، فىلىمدە پىنخول ياكى ئېقىپ كېتىشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
سىرنىڭ پوستى قېپى زەررىچىلەرنى تونۇشتۇرىدۇ ۋە سىرلاش كەمتۈكلىكىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ (مەسىلەن ، زەررىچىلەر> 0.3 مىللىمېتىر باتارېيە ئۈنۈمىنىڭ% 0.5 تۆۋەنلىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ).
Field ئىسسىقلىق مەيدانىنىڭ بىردەكلىكى:
PECVD گرافت كېمىسىنىڭ تەكشى بولمىغان ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشى كىنو قېلىنلىقىنىڭ ئوخشىماسلىقىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ (مەسىلەن ،% 5 لىك بىردەكلىك تەلىپىگە ئاساسەن ، تېمپېراتۇرا پەرقى ° C10 تىن تۆۋەن بولۇشى كېرەك).
✔ پلازما ماسلىشىشچانلىقى:
نامۇۋاپىق ماتېرىياللار نورمالسىز قويۇپ بېرىشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ ، ۋافېر ياكى ئۈسكۈنىنىڭ ئېلېكترودىغا زىيان يەتكۈزۈشى مۇمكىن.
✔ مۇلازىمەت ھاياتى ۋە خىراجىتى:
تۆۋەن سۈپەتلىك كېمە پاراخوتلىرىنى دائىم ئالماشتۇرۇش كېرەك (مەسىلەن ئايدا بىر قېتىم) ، يىللىق ئاسراش ھەققى قىممەت.
3. PECVD كېمىسىنى قانداق تاللاش ، ئىشلىتىش ۋە ئاسراش كېرەك؟
3.1 ئۈچ باسقۇچلۇق تاللاش ئۇسۇلى
1-قەدەم: جەريان پارامېتىرلىرىنى ئايدىڭلاشتۇرۇڭ
● تېمپېراتۇرا دائىرىسى: گرافت + SiC سىرنى ° C 450 تىن تۆۋەن تاللاشقا بولىدۇ ، 600 سېلسىيە گرادۇستىن يۇقىرى كۋارتس ياكى ساپال بۇيۇملار تەلەپ قىلىنىدۇ.
●گاز تىپى: Cl2and F- قاتارلىق چىرىتكۈچى گازلارنى ئۆز ئىچىگە ئالغاندا ، چوقۇم يۇقىرى زىچلىقتىكى سىر ئىشلىتىش كېرەك.
●Wafer نىڭ چوڭلۇقى: 8 دىيۇم / 12 دىيۇملۇق كېمە قۇرۇلمىسىنىڭ كۈچلۈكلۈكى كۆرۈنەرلىك پەرقلىنىدۇ ھەمدە نىشانلىق لايىھىلەشنى تەلەپ قىلىدۇ.
ئىككىنچى قەدەم: ئىقتىدار كۆرسەتكۈچىگە باھا بېرىڭ
ئاچقۇچلۇق ئۆلچەم:
●يەر يۈزىنىڭ يىرىكلىكى (Ra): ≤0.8 mm (ئالاقىلىشىش يۈزى ≤0.4μm بولۇشى كېرەك)
●سىرلىق زايومنىڭ كۈچى: ≥15MPa （ASTM C633 ئۆلچىمى)
●يۇقىرى تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشى (600 ℃): ≤0.1mm / m (24 سائەت سىناق)
3-قەدەم: ماسلىشىشچانلىقىنى تەكشۈرۈپ بېقىڭ
Equipment ئۈسكۈنىلەرنى ماسلاشتۇرۇش: AMAT Centura ، centrotherm PECVD قاتارلىق ئاساسىي ئېقىمدىكى مودېللار بىلەن كۆرۈنمە يۈزىنىڭ چوڭ-كىچىكلىكىنى جەزملەشتۈرۈڭ.
Ial سىناق ئىشلەپچىقىرىش سىنىقى: سىرنىڭ بىردەكلىكىنى دەلىللەش ئۈچۈن كىچىك تىپتىكى 50-100 پارچە كىچىك سىناق ئېلىپ بېرىش تەۋسىيە قىلىنىدۇ (كىنو قېلىنلىقىنىڭ ئۆلچەملىك ئايلىنىشى <3%).
3.2 ئىشلىتىش ۋە ئاسراشتىكى ئەڭ ياخشى ئۇسۇل
مەشغۇلات ئۆلچىمى:
✔تازىلاشتىن بۇرۇنقى جەريان:
● تۇنجى قېتىم ئىشلىتىشتىن بۇرۇن ، شىنجوۋنى ئار پلازمىسى بىلەن 30 مىنۇت بومبا پارتىلاپ ، يەر يۈزىگە چاپلانغان بۇلغانمىلارنى چىقىرىۋېتىش كېرەك.
●ھەر بىر تۈركۈم جەرياندىن كېيىن ، SC1 (NH₄OH: H₂O₂: H₂O = 1: 1: 5) تازىلاشقا ئىشلىتىلىدۇ ، ئورگانىك قالدۇقلارنى چىقىرىۋېتىدۇ.
✔ يۈك ساندۇقى:
●نورمىدىن ئاشۇرۇپ يۈك بېسىش مەنئى قىلىنىدۇ (مەسىلەن ، ئەڭ چوڭ سىغىمى 50 پارچە قىلىپ لايىھەلەنگەن ، ئەمما كېڭەيتىش بوشلۇقىنى زاپاسلاش ئۈچۈن ئەمەلىي يۈك 45 فوندستېرلىڭ بولۇشى كېرەك).
●پلازما گىرۋىكىنىڭ تەسىرىدىن ساقلىنىش ئۈچۈن ، ۋافېرنىڭ گىرۋىكى چوقۇم كېمە باكىنىڭ ئۇچىدىن mm2mm يىراقلىقتا بولۇشى كېرەك.
Life ئۆمرىنى ئۇزارتىشنىڭ ئۇسۇللىرى
● سىرنى رېمونت قىلىش: يەر يۈزىنىڭ يىرىكلىكى Ra ＞ 1.2μm بولغاندا ، SiC سىرنى CVD ئارقىلىق قايتا ئامانەت قويغىلى بولىدۇ (خىراجەت ئالماشتۇرۇشتىن% 40 تۆۋەن).
✔ قەرەللىك سىناق:
. ئايلىق: ئاق نۇر ئارىلىقى ئارقىلىق سىرنىڭ مۇكەممەللىكىنى تەكشۈرۈڭ.
●پەسىللىك: XRD ئارقىلىق كېمىنىڭ كىرىستاللىشىش دەرىجىسىنى تەھلىل قىلىڭ (كرۇستال ۋافېر كېمىسى خرۇستال فازا>% 5 نى ئالماشتۇرۇش كېرەك).
4. كۆپ ئۇچرايدىغان مەسىلىلەر قايسىلار؟
Q1: CanPECVD كېمىسىLPCVD جەرياندا ئىشلىتىلەمدۇ؟
جاۋاب: تەۋسىيە قىلىنمايدۇ! LPCVD نىڭ تېمپېراتۇرىسى تېخىمۇ يۇقىرى (ئادەتتە 800-1100 ° C) بولۇپ ، تېخىمۇ يۇقىرى گاز بېسىمىغا بەرداشلىق بېرىشى كېرەك. ئۇ تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشىگە تېخىمۇ چىداملىق ماتېرىياللارنى ئىشلىتىشنى تەلەپ قىلىدۇ (مەسىلەن ، ئىزوتاتىك گرافت دېگەندەك) ، ئوق لايىھىسى ئىسسىقلىق كېڭەيتىش تولۇقلىمىسىنى ئويلىشىشى كېرەك.
2-سوئال: كېمە گەۋدىسىنىڭ مەغلۇپ بولغان-بولمىغانلىقىنى قانداق ئېنىقلاش كېرەك؟
جاۋاب: تۆۋەندىكى ئالامەتلەر كۆرۈلسە دەرھال ئىشلىتىشنى توختىتىڭ:
كۆزگە يېرىلغان ياكى سىرلانغان پوستى كۆرۈنۈپ تۇرىدۇ.
ئۇدا ئۈچ تۈركۈمدە ۋافېر سىرنىڭ بىردەكلىكىنىڭ ئۆلچەملىك ئايلىنىشى% 5 بولدى.
جەريان ئۆيىنىڭ ۋاكۇئۇم دەرىجىسى% 10 تىن كۆپرەك تۆۋەنلىدى.
3-سوئال: گرافىك كېمىسى بىلەن كۋارتس كېمىسى ، قانداق تاللاش？
خۇلاسە: گرافىك كېمىلىرى تۈركۈملەپ ئىشلەپچىقىرىش سىنارىيەلىرىگە بەكرەك ئامراق ، كۋارتس كېمىلىرى ئىلمىي تەتقىقات / ئالاھىدە جەريانلار ئۈچۈن ھېسابلىنىدۇ.
خۇلاسە:
گەرچەPECVD كېمىسىئاساسلىق ئۈسكۈنىلەر ئەمەس ، ئۇ جەريان مۇقىملىقىنىڭ «جىمجىت قوغدىغۇچىسى». تاللاشتىن ئاسراشقىچە ، ھەر بىر ئىنچىكە ھالقىلار مەھسۇلاتنى ياخشىلاشتىكى مۇھىم بۆسۈش نۇقتىسىغا ئايلىنىشى مۇمكىن. بۇ قوللانمىنىڭ تېخنىكىلىق تۇمانغا سىڭىپ كىرىپ ، تەننەرخنى تۆۋەنلىتىش ۋە ئۈنۈمنى ئاشۇرۇشنىڭ ئەڭ ياخشى ھەل قىلىش چارىسىنى تېپىشىڭىزغا ياردەم قىلىشىنى ئۈمىد قىلىمەن!
يوللانغان ۋاقتى: Mar-06-2025