Kedu otu esi ahọrọ, jiri ma jikwaa ụgbọ mmiri PECVD?

1. Gịnị bụ ụgbọ mmiri PECVD?

1.1 Nkọwa na isi ọrụ

Ụgbọ mmiri PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) bụ ngwa ọrụ bụ isi a na-eji ebu wafer ma ọ bụ ihe n'ime usoro PECVD. Ọ kwesịrị ịrụ ọrụ nke ọma na nnukwu okpomọkụ (300-600 Celsius C), na-arụ ọrụ plasma na gas na-emebi emebi (dị ka SiH₄, NH₃) gburugburu. Isi ọrụ ya gụnyere:

● Ndokwa nke ọma: hụ na oghere wafer dị otu ma zere nnyonye anya mkpuchi.
● Njikwa mpaghara okpomọkụ: kwalite nkesa okpomọkụ ma melite otu ihe nkiri.
● Ihe mgbochi na-egbochi mmetọ: Na-ewepụ plasma n'oghere akụrụngwa iji belata ihe ize ndụ nke mmetọ ígwè.

1.2 Ọdịdị na ihe ndị a na-ahụkarị

Nhọrọ ihe:

● Ụgbọ mmiri graphite (nhọrọ bụ isi): nnukwu ikuku okpomọkụ, oke okpomọkụ na-eguzogide, ọnụ ala, ma na-achọ mkpuchi iji gbochie ikuku gas.
●Ụgbọ mmiri Quartz: Ịdị ọcha dị oke elu, na-eguzogide ọgwụ, mana nke ukwuu na-agbaji ma dị oke ọnụ.
●Ceramics (dị ka Al₂O₃): eyi na-eguzogide, adabara maka mmepụta ugboro ugboro, mana adịghị mma thermal conductivity.

Atụmatụ imewe isi:

● oghere oghere: Dakọtara ọkpụrụkpụ wafer (dị ka nnabata 0.3-1mm).
●Ikuku oghere oghere imewe: ebuli mmeghachi omume nkesa gas na ibelata ihu mmetụta.
●Mkpuchi elu: mkpuchi SiC nkịtị, TaC ma ọ bụ DLC (kabon diamond dị ka carbon) ịgbatị ndụ ọrụ.

2. Gịnị mere anyị ji kwesị ịṅa ntị na arụmọrụ nke ụgbọ mmiri PECVD?

2.1 Isi ihe anọ na-emetụta mkpụrụ usoro ozugbo

✔ Njikwa mmetọ:
Ihe adịghị ọcha dị n'ime ahụ ụgbọ mmiri (dị ka Fe na Na) na-agbanwe na okpomọkụ dị elu, na-eme ka ọnyà ma ọ bụ nkwụsị na fim ahụ.
Mkpuchi mkpuchi ga-ewebata ụmụ irighiri ihe ma mee ka ntụpọ mkpuchi (dịka ọmụmaatụ, akụkụ> 0.3μm nwere ike ime ka arụmọrụ batrị daa site na 0.5%).

✔ Ịdị n'otu ebe okpomọkụ:
Igwe ọkụ na-enweghị isi nke ụgbọ mmiri PECVD graphite ga-eduga n'iche dị na nha ihe nkiri (dịka ọmụmaatụ, n'okpuru otu ihe achọrọ nke ± 5%, ọdịiche okpomọkụ kwesịrị ịbụ ihe na-erughị 10 Celsius).

✔ Nkwekọrịta Plasma:
Ihe na-ezighi ezi nwere ike ime ka ọpụpụ na-adịghị mma ma mebie wafer ma ọ bụ electrodes ngwaọrụ.

✔ Ndụ ọrụ na ọnụ ahịa:
Ọ dị mkpa ka edochie akwa ụgbọ mmiri na-adịchaghị mma (dịka ọmụmaatụ otu ugboro n'ọnwa), ọnụ ahịa mmezi kwa afọ na-efu.

3. Kedu otu esi ahọrọ, jiri ma jikwaa ụgbọ mmiri PECVD?

3.1 Usoro nhọrọ nzọụkwụ atọ

Nzọụkwụ 1: Kọwaa usoro parameters

● Ọnọdụ okpomọkụ: Enwere ike ịhọrọ mkpuchi Graphite + SiC n'okpuru 450 ° C, na quartz ma ọ bụ seramiiki chọrọ karịa 600 ° C.
●Ụdị gas: Mgbe enwere gas na-emebi emebi dị ka Cl2and F-, a ga-eji mkpuchi dị elu mee ihe.
●Nha wafer: ike nhazi ụgbọ mmiri 8-inch/12 dị nnọọ iche ma chọọ nhazi ezubere iche.

Nzọụkwụ 2: Nyochaa metrik arụmọrụ

Usoro isi:

●Ịdị nro dị n'elu (Ra): ≤0.8μm (elu kọntaktị kwesịrị ịbụ ≤0.4μm)
●ike mkpuchi mkpuchi: ≥15MPa (ASTM C633 ọkọlọtọ)
●Nrụrụ okpomọkụ dị elu (600 ℃): ≤0.1mm/m (nnwale elekere 24)

Nzọụkwụ 3: Nyochaa ndakọrịta

● Ngwa dakọtara: Gosipụta nha interface ya na ụdị isi dị ka AMAT Centura, centrotherm PECVD, wdg.
● Nnwale mmepụta nke nnwale: A na-atụ aro ka ị na-eme obere ihe nlele nke 50-100 iji chọpụta ịdị n'otu nke mkpuchi (ọkọlọtọ nke nha ihe nkiri <3%).

3.2 kacha mma maka ojiji na mmezi

Nkọwapụta ọrụ:

✔Usoro ihicha tupu:

● Tupu ojiji nke mbụ, Xinzhou kwesịrị ka a na-atụba plasma Ar maka nkeji iri atọ iji wepụ ihe ndị na-adịghị ọcha na-agbasa n'elu.

●Mgbe usoro nke ọ bụla gasịrị, a na-eji SC1 (NH₄OH:H₂O₂:H₂O=1:1:5) ihicha iji wepụ ihe ndị fọdụrụnụ.

✔ Na-ebugo ihe mgbochi:

●Amachibidoro ibufe ibu (dịka ọmụmaatụ, ike kachasị ka emebere ka ọ bụrụ iberibe iri ise, mana ibu ya kwesịrị ịbụ ≤ 45 iberibe iji dobe oghere maka mgbasawanye).

●Ọnụ nke wafer ahụ ga-abụrịrị ≥2mm site na njedebe nke tankị ụgbọ mmiri iji gbochie mmetụta nke plasma.

✔ Ndụmọdụ maka ịgbatị ndụ

● Ndozi mkpuchi: Mgbe elu roughness Ra）1.2μm, SiC mkpuchi nwere ike re-deposited site CVD (ego bụ 40% ala karịa nnọchi).

✔ Nnwale oge niile:

● Kwa ọnwa: Lelee iguzosi ike n'ezi ihe mkpuchi site na iji interferometry ọcha.
●Nkeji nkeji anọ: Nyochaa ogo kristal nke ụgbọ mmiri site na XRD (ụgbọ mmiri wafer quartz nwere akụkụ kristal> 5% kwesịrị ka edochie ya).

4. Olee nsogbu ndị a na-enwekarị?

Q1: Enwere ikeỤgbọ mmiri PECVDa ga-eji na usoro LPCVD?

A: A naghị atụ aro ya! LPCVD nwere okpomọkụ dị elu (na-abụkarị 800-1100 Celsius) ma ọ dị mkpa ka ọ nagide nrụgide gas dị elu. Ọ na-achọ iji ihe ndị na-eguzogide mgbanwe okpomọkụ (dị ka graphite isostatic), na oghere oghere kwesịrị ịtụle nkwụghachi ụgwọ mgbasawanye ọkụ.
Q2: Kedu ka esi achọpụta ma ụgbọ mmiri ahụ adaala?

A: Kwụsị iji ozugbo ma ọ bụrụ na mgbaàmà ndị a emee:
Anya gba ọtọ na-ahụ mgbawa ma ọ bụ ikpo mkpuchi mkpuchi.
Ọkọlọtọ dị iche iche nke otu mkpuchi mkpuchi wafer bụ>5% maka batches atọ sochiri.
Ọkwa oghere nke ụlọ usoro ahụ dara karịa 10%.

Q3: Ụgbọ mmiri graphite vs. quartz ụgbọ mmiri, otu esi ahọrọ?

Mkpebi : A na-ahọrọ ụgbọ mmiri graphite maka ọnọdụ mmepụta oke, ebe a na-atụle ụgbọ mmiri quartz maka nyocha sayensị / usoro pụrụ iche.

Mmechi:

Agbanyeghị naỤgbọ mmiri PECVDọ bụghị ngwá ọrụ bụ isi, ọ bụ "onye nlekọta na-agbachi nkịtị" nke nkwụsi ike nke usoro. Site na nhọrọ ruo na mmezi, nkọwapụta ọ bụla nwere ike bụrụ isi ihe nrịba ama maka nkwalite mkpụrụ. Enwere m olileanya na ntuziaka a ga-enyere gị aka ịbanye n'ime foogu teknụzụ wee chọta ngwọta kachasị mma maka mbelata ọnụ ahịa na nkwalite arụmọrụ!