1. O le a le va'a PECVD?
1.1 Fa'amatalaga ma galuega autu
Va'a PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) ose meafaigaluega autu e fa'aaoga e ave ai fa'a'a'ai po'o mea'ai i le fa'agasologa o le PECVD. E manaʻomia le galue malosi i le maualuga o le vevela (300-600 ° C), plasma-faʻagaoioia ma kesi faʻaleagaina (e pei o le SiH₄, NH₃) siosiomaga. O ana galuega tauave autu e aofia ai:
● Fa'atonu sa'o: fa'amautinoa le vafe toniga ma 'alofia le fa'alavelave fa'apipi'i.
● Pulea fanua vevela: optimize tufatufaina vevela ma faʻaleleia le tutusa ata tifaga.
● Pa puipui faʻafefe: Faʻaesea plasma mai le pu o meafaigaluega e faʻaitiitia ai le lamatiaga o le faʻaleagaina o uʻamea.
1.2 Fauga masani ma meafaitino
Filifiliga meafaitino:
● Vaa graphite (filifiliga autu): maualuga le vevela conductivity, maualuga le vevela tetee, tau maualalo, ae manaomia le ufiufi e puipuia le corrosion kasa.
●Vaa Quartz: E sili atu le mama atoatoa, faʻamaʻi faʻamaʻi, ae sili ona vaivai ma taugata.
●Ceramic (pei o le Al₂O₃): e tete'e i ofu, talafeagai mo le gaosiga maualuga, ae le lelei le fa'aogaina o le vevela.
Fa'ailoga autu o le mamanu:
● Avanoa avanoa: Faafetaui mafiafia wafer (pei o le 0.3-1mm faapalepale).
●Fuafuaga pu o le ea: sili ona lelei le tufatufaina atu o kesi tali ma faʻaitiitia le aafiaga pito.
●Faʻapipiʻi luga: SiC masani, TaC poʻo le DLC (diamond-like carbon) faʻapipiʻi e faʻalautele ai le ola tautua.
2. Aisea e tatau ai ona tatou gauai atu i le faatinoga o vaa PECVD?
2.1 Fa'ailoga tetele e fa'aa'afia tonu ai le fa'agasologa o galuega
✔ Pulea Filogia:
O mea leaga i totonu o le tino o le va'a (e pei o Fe ma Na) e fa'afefe i le maualuga o le vevela, e mafua ai pupuni po'o le tafe i le ata.
O le pa'u ufiina o le a fa'ailoa mai ai vaega ma mafua ai le fa'aletonu o le ufiufi (mo se fa'ata'ita'iga, fasimea > 0.3μm e mafai ona fa'aitiitia ai le malosi o le maa i le 0.5%).
✔ Tulaga tutusa o le vevela:
O le faʻafefe o le vevela o le vaʻa graphite PECVD o le a taʻitaʻia ai le eseesega i le mafiafia o ata tifaga (mo se faʻataʻitaʻiga, i lalo o le tulaga tutusa o le ± 5%, o le eseesega o le vevela e tatau ona itiiti ifo i le 10 ° C).
✔ Fegalegaleaiga Plasma:
O mea le talafeagai e ono mafua ai ona alu ese ma fa'aleagaina ai le fa'aeletise po'o le masini.
✔ Le soifua tautua ma le tau:
E mana'omia ona sui soo fa'auva'a e maualalo le lelei (fa'ata'ita'iga fa'atasi i le masina), ma e taugata le tau o le tausiga fa'aletausaga.
3. Fa'afefea ona filifili, fa'aoga ma tausia se va'a PECVD?
3.1 Laasaga tolu auala filifilia
Laasaga 1: Fa'amanino ta'iala fa'agasologa
● Lava vevela: E mafai ona filifilia le faʻapipiʻi graphite + SiC i lalo ifo o le 450 ° C, ma le quartz poʻo le ceramic e manaʻomia i luga ole 600 ° C.
●Ituaiga kesi: A iai kasa pala e pei ole Cl2ma F-, e tatau ona fa'aogaina le ufiufi maualuga.
●Lapopo'a: 8-inisi/12-inisi le malosi o le fausaga o va'a e matua'i ese lava ma e mana'omia le fa'atulagaina o mamanu.
Laasaga 2: Iloilo fua fa'atinoga
Fuafuaga Autu:
●Lau'ele'ele (Ra): ≤0.8μm (fa'afeso'ota'i luga e tatau ona ≤0.4μm)
●Ufiufi malosi sootaga: ≥15MPa (ASTM C633 tulaga)
●Deformation maualuga vevela (600 ℃): ≤0.1mm/m (24 itula suʻega)
Laasaga 3: Fa'amaonia le fetaui
● Fa'afetauiga meafaigaluega: Fa'amautu le lapo'a fa'atasi ma fa'ata'ita'iga masani e pei ole AMAT Centura, centrotherm PECVD, ma isi.
● Suʻega faʻataʻitaʻiga faʻataʻitaʻiga: E fautuaina le faia o se suʻega laʻititi laʻititi o 50-100 fasi pepa e faʻamaonia ai le tutusa o le faʻapipiʻiina (tulaga masani o le mafiafia ata tifaga <3%).
3.2 Fa'ata'ita'iga Sili mo le Fa'aaogaina ma le Tausia
Fa'amatalaga Fa'atino:
✔Fa'amama le faiga:
● Aʻo leʻi faʻaaogaina muamua, e manaʻomia le osofaʻia o le Xinzhou i Ar plasma mo le 30 minute e aveese ai mea leaga o loʻo faʻapipiʻiina i luga.
●A maeʻa vaega taʻitasi o faʻagasologa, e faʻaaoga le SC1 (NH₄OH:H₂O₂:H₂O=1:1:5) mo le faʻamamaina e aveese ai toega oona.
✔ uta tapu:
●E fa'asaina le fa'asili o uta (fa'ata'ita'iga o le maualuga o le gafatia e fuafua e 50 fasi pepa, ae o le uta moni e tatau ona ≤ 45 fasi pepa e fa'aagaga avanoa mo le fa'alauteleina).
●E tatau ona ≥2mm le mamao o le pito o le va'a mai le pito o le tane va'a e puipuia ai a'afiaga pito o le plasma.
✔ Fautuaga mo le Fa'ateleina o le Ola
● Fa'alelei fa'alava: A o'o le fa'amata'u o luga Ra＞1.2μm, e mafai ona toe fa'aputuina le SiC coating e CVD (o le tau e 40% maualalo nai lo le sui).
✔ Su'ega masani:
● Fa'alemasina: Siaki le sa'o o le fa'alavalava e fa'aaoga ai le interferometry malamalama pa'epa'e.
●Kuata: Iloilo le tikeri tioata o le vaʻa e ala i le XRD (quartz wafer vaʻa ma le vaega tioata> 5% e manaʻomia ona sui).
4. O ā faafitauli masani?
Q1: E mafai e leva'a PECVDfa'aaoga ile faiga LPCVD?
A: E le fautuaina! LPCVD e maualuga le vevela (e masani lava 800-1100°C) ma e manaʻomia ona tatalia le maualuga o le kasa. E manaʻomia le faʻaogaina o mea e sili atu ona tetee i suiga o le vevela (e pei o le isostatic graphite), ma o le mamanu slot e manaʻomia le mafaufau i le faʻalauteleina o le vevela.
Q2: Faʻafefea ona iloa pe ua le manuia le tino vaʻa?
A: Taofi le fa'aaogaina vave pe a tula'i mai fa'ailoga nei:
O ta'eta'ei po'o le pa'u o le pa'u e va'aia e mata le lava.
O le eseesega masani o le tutusa o le faʻapipiʻiina o wafer ua> 5% mo le tolu vaega sosoo.
O le tikeri gaogao o le potu faagasologa na pa'ū e sili atu i le 10%.
Q3: Vaa graphite vs. va'a quartz, fa'afefea ona filifili?
Fa'ai'uga : O va'a graphite e sili ona lelei mo fa'ata'ita'iga o le tele o gaosiga, a'o va'a quartz e manatu mo su'esu'ega fa'asaienisi/fa'apitoa.
Fa'ai'uga:
E ui o leva'a PECVDe le o le meafaigaluega autu, o le "leoleo leoleo" o le mautu faagasologa. Mai le filifiliga i le tausiga, o fa'amatalaga uma e mafai ona avea ma mea taua mo le fa'aleleia atili o fua. Ou te faʻamoemoe o lenei taʻiala o le a fesoasoani ia te oe e ulu atu i le puao faʻapitoa ma suʻe le fofo sili ona lelei mo le faʻaitiitia o tau ma le faʻaleleia lelei!
Taimi meli: Mati-06-2025