Me pehea te whiriwhiri, te whakamahi me te pupuri i te poti PECVD?

1. He aha te poti PECVD?

1.1 Whakamaramatanga me nga mahi matua

Ko te poti PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) he taputapu matua hei kawe i nga angiangi, i nga taputapu ranei i roto i te tukanga PECVD. Me kaha te mahi i roto i te pāmahana teitei (300-600°C), te plasma-whakahohe me te hau pirau (penei i te SiH₄, NH₃) taiao. Ko ona mahi matua ko:

● Te tuunga tika: whakarite mokowāwaera riterite me te karo pokanoa paninga.
● Mana ngaaariki: arotau te tohatoha pāmahana me te whakapai ake i te rite o te kiriata.
● Arai parepare: Ka wehea te plasma mai i te kohao taputapu hei whakaiti i te tupono o te poke whakarewa.

1.2 Ko nga hanganga me nga rawa

Kōwhiringa rauemi:

● Poti graphite (kowhiringa auraki): teitei te kawe waiariki, te teitei o te pāmahana, te iti o te utu, engari me whakakikoruatia kia kore ai e waikura hau.
●Poti Quartz: He tino parakore, he aukati matū, engari he pakarukaru me te utu nui.
●He karamu (pērā i te Al₂O₃): he ātete ki te kākahu, he pai mo te hanga auau teitei, engari he ngoikore te kawe wera.

Nga waahanga hoahoa matua:

● Mokowā mokowā: Whakaōritehia te mātotoru angiangi (pērā i te 0.3-1mm te kātaki).
●Hoahoa poka rere rangi: arotau i te tohatoha hau tauhohenga me te whakaiti i te paanga o te taha.
●Te paninga mata: SiC noa, TaC, DLC ranei (taimana-rite waro) paninga hei whakaroa i te ora o te ratonga.

2. He aha tatou me aro ki nga mahi a nga poti PECVD?

2.1 E wha nga mea nui e pa ana ki nga hua o te tukanga

✔ Whakahaere Parahanga:
Ko nga poke i roto i te tinana o te poti (pēnei i te Fe me te Na) ka rewa i te wera nui, ka puta he kohao titi, he turuturu ranei i te kiriata.
Ko te whakakikorua i te tihorenga ka whakauru i nga matūriki ka puta he koha o te paninga (hei tauira, ko nga matūriki > 0.3μm ka heke te pai o te pākahiko ma te 0.5%).

✔ Te tauritenga o te mara wera:
Ko te rere o te wera o te poti graphite PECVD ka puta he rereketanga o te matotoru kiriata (hei tauira, i raro i te whakaritenga o te ± 5%, me iti ake te rereketanga o te pāmahana i te 10°C).

✔ Hototahi plasma:
Ko nga rauemi hee ka puta he rere rerekee ka pakaru te angiangi, i nga hiko taputapu ranei.

✔ Te ora ratonga me te utu:
Me whakakapi nga takere poti iti-kounga (hei tauira, kotahi i te marama), a he utu nui nga utu tiaki-a-tau.

3. Me pehea te whiriwhiri, te whakamahi me te pupuri i te poti PECVD?

3.1 Tikanga whiriwhiri e toru-taahiraa

Hipanga 1: Whakamaramahia nga tawhā tukanga

● Awhe pāmahana: Ka taea te kowhiri i te paninga Graphite + SiC i raro iho i te 450°C, me te quartz me te ceramic e hiahiatia ana i runga ake i te 600°C.
●Momo hau: I te wa e mau ana nga hau pirau penei i te Cl2 me te F-, me whakamahi te paninga teitei.
●Rahi angiangi: 8-inihi/12-inihi te kaha o te hanganga poti he tino rerekee me te hiahia hoahoa.

Hipanga 2: Aromātaihia inenga mahi

Inenga Matua:

●Te taratara o te mata (Ra): ≤0.8μm (me ≤0.4μm te mata whakapā)
●Te kaha here whakakikorua: ≥15MPa（ASTM C633 paerewa)
●Te rereke o te pāmahana teitei (600 ℃): ≤0.1mm/m (24 haora te whakamatautau)

Hipanga 3: Manatoko hototahi

● Tauritenga taputapu: Whakauhia te rahi atanga me nga tauira auraki penei i te AMAT Centura, centrotherm PECVD, etc.
● Whakamatau whakangao whakamatautau: E taunaki ana kia whakahaerehia he whakamatautau puranga iti o nga waahanga 50-100 hei manatoko i te rite o te paninga (te rerekee o te matotoru kiriata <3%).

3.2 Nga Tikanga Pai mo te Whakamahi me te Tiaki

Whakaritenga Mahi:

✔Te mahi i mua i te horoi:

● I mua i te whakamahinga tuatahi, me pupuhihia te Xinzhou ki te Ar plasma mo te 30 meneti hei tango i nga poke i whakauruhia ki runga i te mata.

●Whai muri i ia puranga o te tukanga, ka whakamahia te SC1 (NH₄OH:H₂O₂:H₂O=1:1:5) hei horoi hei tango i nga toenga waro.

✔ Te uta taboos:

●Ka whakakorehia te utaina nui (hei tauira, ko te kaha morahi i hangaia kia 50 nga pihi, engari me ≤ 45 nga waahanga te kawenga tika hei rahui i te waahi mo te roha).

●Ko te taha o te angiangi me ≥2mm te tawhiti atu i te pito o te taika poti hei aukati i nga paanga mata o te plasma.

✔ Tohutohu mo te Whakaroa i te Ora

● Whakapaipai paninga: I te wa o te taratara o te mata Ra＞1.2μm, ka taea te penapena SiC paninga e CVD (he 40% iti iho te utu i te whakakapinga).

✔ Whakamatau auau:

● Ia Marama: Tirohia te tika o te paninga ma te whakamahi i te interferometry marama ma.
●Ia hauwhā: Tātarihia te tohu whātioatanga o te poti na roto i te XRD (he poti angiangi kiripaka me te wahanga karaihe > 5% me whakakapi).

4. He aha nga raruraru noa?

Q1: Ka taea tePoti PECVDwhakamahia i roto i te tukanga LPCVD?

A: Kaore i te tūtohutia! He teitei ake te pāmahana o te LPCVD (te nuinga o te 800-1100°C) me te kaha ake te pehanga hau. Me whakamahi i nga rauemi e kaha ake ana te atete ki nga huringa pāmahana (pērā i te kauwhata isostatic), me whai whakaaro te hoahoa mokamoka ki te utu whakawhanaunga waiariki.
Q2: Me pehea te whakatau mehemea kua rahua te tinana o te poti?

A: Kati tonu te whakamahi mena ka puta nga tohu e whai ake nei:
Ka kitea e te kanohi tahanga nga kapiti, te paninga tihorea ranei.
Ko te inenga paerewa o te riterite o te paninga angiangi kua >5% mo nga roopu karapīpiti e toru.
Ko te tohu korehau o te ruuma tukanga i heke neke atu i te 10%.

Q3: Poti graphite vs. poti kiripaka, me pehea te whiriwhiri?

Whakamutunga : Ko nga poti graphite he pai ake mo nga ahuatanga whakaputa papatipu, ko nga poti kiripaka e whakaarohia ana mo te rangahau putaiao/whakatikanga motuhake.

Whakamutunga:

Ahakoa tePoti PECVDehara i te taputapu matua, ko te "kaitiaki wahangu" mo te pumau o te tukanga. Mai i te kowhiringa ki te tiaki, ko nga korero katoa ka waiho hei waahi nui mo te whakapai ake i nga hua. Te ti'aturi nei au ka awhina tenei aratohu ki a koe ki te whakauru i te kohu hangarau me te kimi i te otinga tino pai mo te whakaheke utu me te whakapai ake i te pai!