Mokhoa oa ho khetha, ho sebelisa le ho hlokomela sekepe sa PECVD?

1. Sekepe sa PECVD ke eng?

1.1 Tlhaloso le mesebetsi ea mantlha

Sekepe sa PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) ke sesebelisoa sa mantlha se sebelisetsoang ho jara li-wafer kapa li-substrate ts'ebetsong ea PECVD. Se hloka ho sebetsa ka botsitso tikolohong e nang le mocheso o phahameng (300-600°C), khase e sebetsang ka plasma le e senyang (joalo ka SiH₄, NH₃). Mesebetsi ea sona e meholo e kenyelletsa:

● Sebaka se nepahetseng: etsa bonnete ba hore sebaka sa wafer se lekana 'me u qobe tšitiso ea ho roala.
● Taolo ea tšimo ea mocheso: ntlafatsa kabo ea mocheso le ho ntlafatsa ho tšoana ha filimi.
● Thibelo ea tšilafalo: E arola plasma ho tloha ka har'a sekoti sa lisebelisoa ho fokotsa kotsi ea tšilafalo ea tšepe.

1.2 Meaho le thepa e tloaelehileng

Khetho ea thepa:

● Sekepe sa graphite (khetho e tloaelehileng): ho tsamaisa mocheso o phahameng, ho hanyetsa mocheso o phahameng, litšenyehelo tse tlase, empa ho hloka ho penta ho thibela ho bola ha khase.
●Sekepe sa Quartz: Se hloekile haholo, se hanela lik'hemik'hale, empa se tetebela habonolo ebile se theko e boima.
●Liseramike (tse kang Al₂O₃): ha li tsofale, li loketse tlhahiso ea maqhubu a phahameng, empa li na le conductivity e fokolang ea mocheso.

Likarolo tsa bohlokoa tsa moralo:

● Sebaka sa sebaka: Botenya ba wafer bo tsamaellanang (joalo ka mamello ea 0.3-1mm).
●Moralo oa lesoba la phallo ea moea: ntlafatsa kabo ea khase ea karabelo le ho fokotsa phello ea bohale.
●Ho koahela holim'a metsi: Ho koahela SiC e Tloaelehileng, TaC kapa DLC (khabone e kang daemane) ho eketsa bophelo ba tšebeletso.

2. Ke hobane'ng ha re lokela ho ela hloko tshebetso ya dikepe tsa PECVD?

2.1 Mabaka a mane a maholo a amang ka kotloloho tlhahiso ea ts'ebetso

✔ Taolo ea Tšilafalo:
Litšila tse ka har'a 'mele oa sekepe (joalo ka Fe le Na) lia fetoha mochesong o phahameng, li baka masoba a pin kapa ho lutla ha filimi.
Ho petsoha ha pente ho tla hlahisa dikarolwana mme ho bake diphoso tsa pente (mohlala, dikarolwana tse fetang 0.3μm di ka baka hore bokgoni ba betri bo theohe ka 0.5%).

✔ Ho tšoana ha tšimo ea mocheso:
Ho tsamaisa mocheso o sa lekanang oa sekepe sa graphite sa PECVD ho tla lebisa liphapang tsa botenya ba filimi (mohlala, tlas'a tlhoko ea ho tšoana ea ± 5%, phapang ea mocheso e hloka ho ba ka tlase ho 10°C).

✔ Ho lumellana ha plasma:
Thepa e sa lokelang e ka baka ho ntšoa ha metsi ka tsela e sa tloaelehang le ho senya li-electrode tsa wafer kapa tsa sesebelisoa.

✔ Bophelo ba tšebeletso le litšenyehelo:
Likepe tsa sekepe tsa boleng bo tlaase li hloka ho nkeloa sebaka khafetsa (mohlala, hang ka khoeli), 'me litšenyehelo tsa tlhokomelo ea selemo le selemo lia tura.

3. Mokhoa oa ho khetha, ho sebelisa le ho hlokomela sekepe sa PECVD?

3.1 Mokhoa oa ho khetha mehato e meraro

Mohato oa 1: Hlakisa liparamente tsa ts'ebetso

● Mefuta ea mocheso: Seaparo sa Graphite + SiC se ka khethoa ka tlase ho 450°C, 'me quartz kapa ceramic lia hlokahala ka holimo ho 600°C.
●Mofuta oa khase: Ha ho na le likhase tse senyang tse kang Cl2 le F-, ho lokela ho sebelisoa sekoahelo se nang le bongata bo boholo.
●Boholo ba wafer: Matla a sebopeho sa sekepe sa lisenthimithara tse 8/12 a fapane haholo mme a hloka moralo o reriloeng.

Mohato oa 2: Lekola litekanyo tsa ts'ebetso

Litekanyo tsa Bohlokoa:

●Ho se tsitse ha bokaholimo (Ra): ≤0.8μm (bokaholimo ba ho kopana bo hloka ho ba ≤0.4μm)
●Matla a tlamo ea ho roala: ≥15MPa (tekanyetso ea ASTM C633)
●Ho feto-fetoha ha mocheso o phahameng (600℃): ≤0.1mm/m (teko ea lihora tse 24)

Mohato oa 3: Netefatsa hore e lumellana

● Ho bapisa disebediswa: Netefatsa boholo ba sebopeho ka mehlala e meholo jwalo ka AMAT Centura, centrotherm PECVD, jj.
● Teko ea tlhahiso ea teko: Ho khothalletsoa ho etsa teko e nyane ea likotoana tse 50-100 ho netefatsa ho tšoana ha sekoahelo (ho kheloha ho tloaelehileng ha botenya ba filimi <3%).

3.2 Mekhoa e Metle ea Tšebeliso le Tlhokomelo

Litlhaloso tsa Ts'ebetso:

✔Mokhoa oa ho hloekisa pele ho nako:

● Pele ho tšebeliso ea pele, Xinzhou e hloka ho tšeloa ka plasma ea Ar metsotso e 30 ho tlosa litšila tse monyetsoeng holim'a metsi.

●Kamora sehlopha se seng le se seng sa ts'ebetso, SC1 (NH₄OH:H₂O₂:H₂O=1:1:5) e sebelisoa bakeng sa ho hloekisa ho tlosa masalla a tlhaho.

✔ Ho kenya lithibelo:

●Ho jara thepa e ngata ho thibetsoe (mohlala, bokgoni bo boholo bo etselitsoe ho ba dikotwana tse 50, empa mojaro wa nnete o lokela ho ba dikotwana tse ≤ tse 45 ho boloka sebaka bakeng sa katoloso).

●Moeli oa wafer o lokela ho ba ≥2mm ho tloha pheletsong ea tanka ea sekepe ho thibela litlamorao tsa moeli oa plasma.

✔ Malebela a ho Lelefatsa Bophelo

● Tokiso ea ho koahela: Ha bokaholimo bo le thata Ra ＞1.2μm, ho koahela SiC ho ka bolokoa hape ka CVD (litšenyehelo li tlase ka 40% ho feta tse ling).

✔ Tlhahlobo ea kamehla:

● Khoeli le khoeli: Hlahloba botšepehi ba ho koahela ka ho sebelisa interferometry ea leseli le lesoeu.
●Kotara: Sekaseka tekanyo ea kristale ea sekepe ho pholletsa le XRD (sekepe sa wafer sa quartz se nang le karolo ea kristale > 5% se hloka ho nkeloa sebaka).

4. Mathata a tloaelehileng ke afe?

P1: Na ho ka baSekepe sa PECVDe ka sebelisoa ts'ebetsong ea LPCVD?

K: Ha e kgothaletswe! LPCVD e na le mocheso o phahameng (hangata 800-1100°C) mme e hloka ho mamella kgatello e phahameng ya kgase. E hloka tshebediso ya thepa e hanelang diphetoho tsa mocheso (jwalo ka graphite ya isostatic), mme moralo wa slot o hloka ho nahana ka puseletso ya katoloso ya mocheso.
P2: Mokhoa oa ho fumana hore na 'mele oa sekepe o hlolehile joang?

A: Khaotsa ho e sebelisa hang-hang haeba matšoao a latelang a hlaha:
Mapetso kapa ho petsoha ha lesira ho bonahala mahlong.
Ho kheloha ho tloaelehileng ha ho tšoana ha sekoahelo sa wafer ho bile >5% bakeng sa lihlopha tse tharo tse latellanang.
Tekanyo ea vacuum ea kamore ea ts'ebetso e theohile ka ho feta 10%.

P3: Sekepe sa Graphite khahlanong le sekepe sa quartz, mokhoa oa ho khetha？

Qeto: Likepe tsa graphite li khethoa bakeng sa maemo a tlhahiso ea bongata, ha likepe tsa quartz li nahanoa bakeng sa lipatlisiso tsa saense/mekhoa e khethehileng.

Qetello:

LehaSekepe sa PECVDHase sesebelisoa se seholo, ke "mohlokomeli ea khutsitseng" oa botsitso ba ts'ebetso. Ho tloha khethong ho isa tlhokomelong, ntlha e 'ngoe le e 'ngoe e ka ba ntlha ea bohlokoa ea ntlafatso ea chai. Ke tšepa hore tataiso ena e tla u thusa ho phunyeletsa moholi oa tekheniki le ho fumana tharollo e nepahetseng bakeng sa phokotso ea litšenyehelo le ntlafatso ea bokhoni!