Mokhoa oa ho khetha, ho sebelisa le ho boloka sekepe sa PECVD joang?

1. Seketsoana sa PECVD ke eng?

1.1 Tlhaloso le mesebetsi ea mantlha

Sekepe sa PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) ke sesebelisoa sa mantlha se sebelisetsoang ho jara li-wafers kapa substrates ts'ebetsong ea PECVD. E hloka ho sebetsa ka mokhoa o tsitsitseng mocheso o phahameng (300-600 ° C), plasma-activated le khase e senyang (e kang SiH₄, NH₃) tikoloho. Mesebetsi ea eona ea mantlha e kenyelletsa:

● Ho beha sebaka ka mokhoa o nepahetseng: etsa bonnete ba hore ho na le sebaka se tšoanang sa liphaphatha 'me u qobe ho kena-kenana le liphahlo.
● Taolo ea tšimo ea mocheso: ntlafatsa kabo ea mocheso le ho ntlafatsa ho tšoana ha filimi.
● Tšitiso e thibelang tšilafalo: E arola plasma le lesoba la thepa ho fokotsa kotsi ea ho silafala ha tšepe.

1.2 Mehaho le lisebelisoa tse tloaelehileng

Khetho ea thepa:

● Seketsoana sa graphite (khetho e tloaelehileng): conductivity e phahameng ea mocheso, ho hanyetsa mocheso o phahameng, theko e tlaase, empa ho hloka ho roala ho thibela ho bola ha khase.
●Sekepe sa Quartz: Bohloeki bo phahameng ka ho fetesisa, ha bo na lik'hemik'hale, empa bo bobebe ebile bo turu haholo.
●Li-ceramics (tse kang Al₂O₃): ha li khone ho apara, tse loketseng tlhahiso ea maqhubu a phahameng, empa ho se sebetse hantle ha mocheso.

Lintlha tsa bohlokoa tsa moralo:

● Karohano ea sekotjana: Botenya ba sekhechana (joalo ka 0.3-1mm mamello).
●Moralo oa lesoba la phallo ea moea: ntlafatsa phepelo ea khase e arabelang le ho fokotsa phello e mpe.
●Ho roala ka holim'a metsi: Ho roala ka SiC e tloaelehileng, TaC kapa DLC (carbon-like carbon) ho lelefatsa bophelo ba tšebeletso.

2. Hobaneng re tlameha ho ela hloko tšebetso ea likepe tsa PECVD?

2.1 Lintlha tse 'nè tse kholo tse amang ka ho toba tlhahiso ea ts'ebetso

✔ Taolo ea Tšilafalo:
Litšila tse ka har'a 'mele oa sekepe (joalo ka Fe le Na) lia senyeha ha li le mocheso o phahameng, li baka likoti kapa ho lutla filiming.
Ho peeling ho tla hlahisa likaroloana le ho baka mathata a ho roala (mohlala, likaroloana> 0.3μm li ka etsa hore matla a betri a theohe ka 0.5%).

✔ Thermal field uniformity:
Ho tsamaisa mocheso o sa lekaneng oa sekepe sa graphite sa PECVD ho tla lebisa ho phapang pakeng tsa botenya ba filimi (mohlala, tlas'a tlhokahalo e ts'oanang ea ± 5%, phapang ea mocheso e lokela ho ba ka tlase ho 10 ° C).

✔ Tšebelisano ea plasma:
Lisebelisoa tse sa nepahalang li ka baka ho tsoa ka mokhoa o sa tloaelehang 'me tsa senya sephaphatha kapa li-electrode tsa sesebelisoa.

✔ Bophelo ba tšebeletso le litšenyehelo:
Likarolo tsa likepe tsa boleng bo tlase li hloka ho nkeloa sebaka khafetsa (mohlala, hang ka khoeli), 'me litšenyehelo tsa selemo le selemo tsa tlhokomelo li bitsa chelete e ngata.

3. Mokhoa oa ho khetha, ho sebelisa le ho boloka sekepe sa PECVD joang?

3.1 Mokhoa oa ho khetha mehato e meraro

Mohato oa 1: Hlakisa li-parameter tsa ts'ebetso

● Mocheso oa mocheso: Ho roala ha Graphite + SiC ho ka khethoa ka tlase ho 450 ° C, 'me quartz kapa ceramic e hlokahalang ka holimo ho 600 ° C.
●Mofuta oa khase: Ha o e-na le likhase tse senyang tse kang Cl2 le F-, ho tlameha ho sebelisoa litlolo tse phahameng haholo.
●Boholo ba Wafer: Matla a sebopeho sa sekepe sa 8-inch/12-inch a fapane haholo mme a hloka moralo o lebisitsoeng.

Mohato oa 2: Hlahloba metrics ea ts'ebetso

Lintlha tsa bohlokoa :

●Ho ba mahoashe ka holim'a metsi (Ra) : ≤0.8μm (ka holim'a sefahleho se lokela ho ba ≤0.4μm)
●Matla a bond ea ho roala: ≥15MPa (standard ASTM C633 standard)
●Phetoho e phahameng ea mocheso (600 ℃) : ≤0.1mm/m (teko ea lihora tse 24)

Mohato oa 3: Netefatsa hore lia lumellana

● Tšebeliso ea lisebelisoa: Netefatsa boholo ba li-interface ka mefuta e tloaelehileng e kang AMAT Centura, centrotherm PECVD, joalo-joalo.
● Teko ea tlhahiso ea teko: Ho kgothaletswa ho etsa tlhahlobo e nyenyane ea batch ea likotoana tsa 50-100 ho netefatsa ho tšoana ha seaparo (ho kheloha ho tloaelehileng ha botenya ba filimi <3%).

3.2 Mekhoa e Molemohali ea Tšebeliso le Tlhokomelo

Litlhaloso tsa ts'ebetso:

✔Mokhoa oa ho hloekisa pele:

● Pele Xinzhou e sebelisoa ka lekhetlo la pele, e hloka ho hlasetsoa ka Ar plasma ka metsotso e 30 ho tlosa litšila tse ka holimo.

●Ka mor'a sehlopha se seng le se seng sa ts'ebetso, SC1 (NH₄OH:H₂O₂:H₂O=1:1:5) e sebelisetsoa ho hloekisa ho tlosa mesaletsa ea lintho tse phelang.

✔ Ho kenya li-taboos:

●Ho haneloa ka bongata ho thibetsoe (mohlala, boholo ba bokhoni bo etselitsoe ho ba likotoana tse 50, empa mojaro oa 'nete o lokela ho ba likotoana tsa ≤ 45 ho boloka sebaka bakeng sa katoloso).

●Moeli oa sephaphatha o tlameha ho ba ≥2mm ho tloha pheletsong ea tanka ea sekepe ho thibela litlamorao tsa plasma.

✔ Malebela a ho Ekeletsa Bophelo

● Ho lokisoa ha ho roala: Ha bokaholimo ba Ra＞1.2μm, seaparo sa SiC se ka kenngoa hape ke CVD (litšenyehelo ke 40% e tlase ho feta ho nkela sebaka).

✔ Teko ea kamehla:

● Khoeli le Khoeli: Hlahloba botšepehi ba ho roala ka ho sebelisa khanya e tšoeu ea interferometry.
●Nako le nako: Hlahloba tekanyo ea crystallization ea sekepe ka XRD (seketsoana sa quartz safer se nang le kristale phase> 5% se hloka ho nkeloa sebaka).

4. Mathata a tloaelehileng ke afe?

Q1: Na u kaPECVD sekepee ka sebelisoa ts'ebetsong ea LPCVD?

A: Ha e khothalletsoe! LPCVD e na le mocheso o phahameng (hangata 800-1100 ° C) 'me e hloka ho mamella khatello e phahameng ea khase. E hloka tšebeliso ea lisebelisoa tse hanyetsanang le liphetoho tsa mocheso (joalo ka isostatic graphite), 'me moralo oa slot o hloka ho nahana ka matšeliso a ho atolosa mocheso.
Q2: U ka tseba joang hore na setopo sa sekepe se hlōlehile?

A: Khaotsa ho sebelisa hang-hang haeba matšoao a latelang a hlaha:
Mapetso kapa ho ebola ha letlalo ho bonahala ka mahlo.
Phapang e tloaelehileng ea ho koaheloa ha liphaphatha e bile > 5% bakeng sa lihlopha tse tharo tse latellanang.
Sekhahla sa vacuum sa kamore ea ts'ebetso se theohile ka ho feta 10%.

Q3: Seketsoana sa graphite vs sekepe sa quartz, u ka khetha joang?

Qetello : Likepe tsa graphite li ratoa bakeng sa maemo a tlhahiso ea bongata, ha likepe tsa quartz li nkoa e le lipatlisiso tsa mahlale/mekhoa e khethehileng.

Qetello:

Le hoja ePECVD sekepehase thepa e ka sehloohong, ke "mohlokomeli ea khutsitseng" oa botsitso ba ts'ebetso. Ho tloha ho khetho ho isa tlhokomelong, ntlha e 'ngoe le e' ngoe e ka ba ntlha ea bohlokoa ea ntlafatso ea chai. Ke tšepa hore tataiso ena e tla u thusa ho phunyeletsa moholi oa tekheniki le ho fumana tharollo e nepahetseng bakeng sa ho fokotsa litšenyehelo le ho ntlafatsa bokhoni!