Ahoana ny fisafidianana, fampiasana ary fikojakojana sambo PECVD?

1. Inona no atao hoe sambo PECVD?

1.1 Famaritana sy asa fototra

Ny sambo PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) dia fitaovana fototra ampiasaina hitondrana wafers na substrate amin'ny fizotran'ny PECVD. Mila miasa mafy amin'ny hafanana avo (300-600 ° C), entona mihetsiketsika plasma ary entona manimba (toy ny SiH₄, NH₃). Ny tena asany dia ahitana:

● Fametrahana mazava tsara: miantoka ny elanelan'ny wafer mitovy ary misoroka ny fitsabahana amin'ny coating.
● Fanaraha-maso ny saha mafana: manatsara ny fizarana mari-pana ary manatsara ny fitovian'ny sarimihetsika.
● Sakana miady amin'ny fandotoana: Manasaraka ny plasma amin'ny lavaky ny fitaovana mba hampihenana ny mety hisian'ny fandotoana metaly.

1.2 Rafitra sy fitaovana mahazatra

Fantina fitaovana:

● Sambo grafita (safidy mahazatra): avo lenta ny hafanana mafana, ny hafanana ambony, ny vidiny mora, saingy mila fametahana mba hisorohana ny harafesina entona.
●Sambo quartz: Fahadiovana faran'izay avo, mahatohitra simika, saingy mora vaky sy lafo.
●Ceramic (toa an'i Al₂O₃): mahatohitra, mety amin'ny famokarana avo lenta, fa ny conductivity mafana ratsy.

Lafin-javatra lehibe famolavolana:

● Ny elanelan'ny slot: Mifanaraka amin'ny hatevin'ny wafer (toy ny fandeferana 0.3-1mm).
●Famolavolana lavaka fikorianan'ny rivotra: manatsara ny fizarana entona fanehoan-kevitra ary mampihena ny fiantraikan'ny sisiny.
●Fametahana amin'ny endriny: SiC mahazatra, TaC na DLC (diamond toy ny karbaona) mba hanitarana ny fiainana.

2. Nahoana isika no tsy maintsy mandinika ny zava-bitan'ny sambo PECVD?

2.1 Antony efatra lehibe miantraika mivantana amin'ny vokatra

✔ Fanaraha-maso ny loto:
Ny loto ao amin'ny vatan'ny sambo (toy ny Fe sy Na) dia mivadibadika amin'ny mari-pana ambony, ka miteraka pinholes na leakage ao amin'ny sarimihetsika.
Ny peeling coating dia hampiditra poti ary miteraka lesoka amin'ny coating (ohatra, ny poti> 0.3μm dia mety hahatonga ny fahombiazan'ny bateria hidina 0.5%).

✔ Fanamafisana ny faritra mafana:
Ny tsy fitovian'ny hafanana amin'ny sambo graphite PECVD dia hitarika amin'ny fahasamihafana amin'ny hatevin'ny sarimihetsika (ohatra, eo ambanin'ny fepetra takiana amin'ny ± 5%, ny fahasamihafana amin'ny mari-pana dia mila latsaky ny 10 ° C).

✔ Plasma mifanentana:
Ny fitaovana tsy mety dia mety hiteraka fivoahana tsy ara-dalàna sy hanimba ny elektrôda wafer na fitaovana.

✔ Ny fiainana sy ny vidiny:
Mila soloina matetika (ohatra, indray mandeha isam-bolana) ny vatan-tsambo ambany kalitao, ary lafo ny vidin'ny fikojakojana isan-taona.

3. Ahoana ny fisafidianana, fampiasana ary fikojakojana sambo PECVD?

3.1 Fomba fifantenana dingana telo

Dingana 1: Hazavao ny masontsivana dingana

● Ny mari-pana: Ny graphite + SiC coating dia azo fidina eo ambanin'ny 450 ° C, ary ny quartz na seramika dia takiana mihoatra ny 600 ° C.
●Karazana entona: Rehefa misy entona manimba toy ny Cl2 sy F-, dia tsy maintsy ampiasaina ny coating avo lenta.
●Haben'ny Wafer: Ny tanjaky ny rafitry ny sambo 8-inch/12-inch dia hafa tanteraka ary mitaky famolavolana kendrena.

Dingana 2: Tombanana ny mari-pandrefesana

Famaritana fototra :

●Ny hamafin'ny ety ivelany (Ra): ≤0.8μm (tokony ho ≤0.4μm ny fifandraisana).
●Coating fatorana hery: ≥15MPa (ASTM C633 fenitra)
●Ny fiovan'ny mari-pana ambony (600 ℃): ≤0.1mm/m (fitsapana 24 ora)

Dingana 3: Hamarino ny fifanarahana

● Fampitaovana fitaovana: Hamafiso ny haben'ny interface tsara amin'ny maodely mahazatra toy ny AMAT Centura, centrotherm PECVD, sns.
● Fitsapana famokarana andrana: Atolotra ny fanaovana fitiliana batch kely amin'ny ampahany 50-100 mba hanamarinana ny fitovian'ny coating (fanamafisana ny hatevin'ny sarimihetsika <3%).

3.2 Fomba fanao tsara indrindra amin'ny fampiasana sy fikojakojana

Famaritana ny fandidiana:

✔Dingana fanadiovana mialoha:

● Alohan'ny fampiasana voalohany, ny Xinzhou dia mila baomba amin'ny Ar plasma mandritra ny 30 minitra mba hanesorana ireo loto mipetaka eo amin'ny tany.

●Aorian'ny dingana tsirairay, ny SC1 (NH₄OH:H₂O₂:H₂O=1:1:5) dia ampiasaina amin'ny fanadiovana mba hanesorana ny sisa tavela.

✔ Fady fady:

●Voarara ny manavesatra be loatra (ohatra, ny fahafaha-manao ambony indrindra dia natao ho 50 sekely, fa ny tena entana dia tokony ho ≤ 45 sekely mba hamandrihana toerana ho an'ny fanitarana).

●Ny sisin'ny wafer dia tsy maintsy ≥2mm miala amin'ny faran'ny tanky sambo mba hisorohana ny fiantraikan'ny sisin'ny plasma.

✔ Torohevitra hanitarana ny fiainana

● Coating fanamboarana: Rehefa ny ambonin'ny roughness Ra＞1.2μm, SiC coating azo averina amin'ny CVD (ny vidiny dia 40% ambany noho ny fanoloana).

✔ Fitsapana tsy tapaka:

● Isam-bolana: Hamarino ny fahamarinan'ny coating amin'ny fampiasana interferometry hazavana fotsy.
●Isan-telo volana: Famakafakana ny haavon'ny kristaly ny sambo amin'ny alàlan'ny XRD (sambo quartz wafer misy dingana kristaly> 5% mila soloina).

4. Inona no olana mahazatra?

Q1: Afaka nyPECVD samboampiasaina amin'ny fizotran'ny LPCVD?

A: Tsy soso-kevitra! Ny LPCVD dia manana mari-pana ambony kokoa (matetika 800-1100°C) ary mila mahatohitra ny fanerena entona avo kokoa. Mitaky ny fampiasana fitaovana izay mahatohitra kokoa ny fiovan'ny mari-pana (toy ny grafit isostatic), ary ny famolavolana slot dia mila mandinika ny fanonerana ny fanitarana mafana.
F2: Ahoana no hamaritana raha tsy nahomby ny vatan'ny sambo?

A: Atsaharo ny fampiasana avy hatrany raha miseho ireto soritr'aretina manaraka ireto:
Hita amin'ny maso mitanjaka ny triatra na ny peeling coating.
Ny fahadisoam-panantenana amin'ny fitovian'ny fanamiana wafer dia > 5% ho an'ny andiany telo misesy.
Nidina mihoatra ny 10% ny haavon'ny banga ao amin'ny efitrano fizotry.

Q3: sambo grafit vs. sambo quartz, ahoana no hisafidianana?

Fehiny: Ny sambo grafita dia aleony amin'ny sehatra famokarana faobe, raha ny sambo quartz kosa dia heverina ho fikarohana siantifika / dingana manokana.

Fehiny:

Na dia nyPECVD sambotsy ny fitaovana fototra, fa ny "mpiambina mangina" ny fahamarinan-toerana dingana. Manomboka amin'ny fifantenana ka hatramin'ny fikojakojana, ny antsipiriany rehetra dia mety ho lasa teboka manan-danja amin'ny fanatsarana ny vokatra. Manantena aho fa ity torolàlana ity dia hanampy anao hiditra amin'ny zavona ara-teknika ary hahita ny vahaolana tsara indrindra amin'ny fampihenana ny vidiny sy ny fanatsarana ny fahombiazany!