Conas bád PECVD a roghnú, a úsáid agus a chothabháil?

1. Cad is bád PECVD ann?

1.1 Sainmhíniú agus feidhmeanna lárnacha

Is uirlis lárnach í bád PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vape Deposition) a úsáidtear chun vaiféir nó foshraitheanna a iompar sa phróiseas PECVD. Caithfidh sí oibriú go cobhsaí i dtimpeallacht ardteochta (300-600°C), gáis atá gníomhachtaithe ag plasma agus gáis chreimneacha (amhail SiH₄, NH₃). Áirítear ar a príomhfheidhmeanna:

● Suíomh beacht: spásáil aonfhoirmeach na sceallóga a chinntiú agus cur isteach sciath a sheachaint.
● Rialú réimse teirmeach: dáileadh teochta a bharrfheabhsú agus aonfhoirmeacht scannáin a fheabhsú.
● Bacainn frith-thruaillithe: Déanann sé plasma a leithlisiú ó chuas an trealaimh chun an baol éillithe miotail a laghdú.

1.2 Struchtúir agus ábhair tipiciúla

Roghnú ábhair:

● Bád graifíte (rogha príomhshrutha): seoltacht theirmeach ard, friotaíocht ardteochta, costas íseal, ach teastaíonn sciath uaidh chun creimeadh gáis a chosc.
●Bád Grianchloch: Íonacht thar a bheith ard, frithsheasmhach in aghaidh ceimiceán, ach an-leochaileach agus costasach.
●Criadóireacht (amhail Al₂O₃): frithsheasmhach in aghaidh caitheamh, oiriúnach le haghaidh táirgeadh ardmhinicíochta, ach droch-sheoltacht theirmeach.

Príomhghnéithe dearaidh:

● Spásáil sliotán: Tiús na sceallóga a mheaitseáil (amhail lamháltas 0.3-1mm).
●Dearadh poill sreafa aeir: dáileadh gáis imoibrithe a bharrfheabhsú agus éifeacht imeall a laghdú.
●Sciath dromchla: Sciath coitianta SiC, TaC nó DLC (carbón cosúil le diamant) chun an saol seirbhíse a fhadú.

2. Cén fáth a gcaithfimid aird a thabhairt ar fheidhmíocht báid PECVD?

2.1 Ceithre phríomhfhachtóir a mbíonn tionchar díreach acu ar thoradh an phróisis

✔ Rialú Truaillithe:
Déantar neamhíonachtaí i gcorp an bháid (amhail Fe agus Na) a ghaolú ag teochtaí arda, rud a fhágann poill bheaga nó sceitheadh ​​sa scannán.
Tabharfaidh feannadh sciath isteach cáithníní agus cuirfidh sé lochtanna sciath faoi deara (mar shampla, is féidir le cáithníní > 0.3μm éifeachtúlacht na ceallraí a laghdú 0.5%).

✔ Aonfhoirmeacht réimse teirmeach:
Beidh difríochtaí i dtiús an scannáin mar thoradh ar sheoladh teasa míchothrom an bháid graifíte PECVD (mar shampla, faoin riachtanas aonfhoirmeachta de ±5%, ní mór don difríocht teochta a bheith níos lú ná 10°C).

✔ Comhoiriúnacht plasma:
D’fhéadfadh ábhair mhíchuí urscaoileadh neamhghnácha a chur faoi deara agus damáiste a dhéanamh don sceallóg nó do leictreoidí an fheiste.

✔ Saol seirbhíse agus costas:
Is minic a chaithfear cabhlacha báid ar chaighdeán íseal a athsholáthar (m.sh. uair sa mhí), agus bíonn costais chothabhála bliantúla costasach.

3. Conas bád PECVD a roghnú, a úsáid agus a chothabháil?

3.1 Modh roghnúcháin trí chéim

Céim 1: Soiléiriú a dhéanamh ar pharaiméadair an phróisis

● Raon teochta: Is féidir sciath Graifít + SiC a roghnú faoi bhun 450°C, agus tá gá le grianchloch nó ceirmeach os cionn 600°C.
●Cineál gáis: Nuair a bhíonn gáis chreimneacha amhail Cl2 agus F- ann, ní mór sciath ard-dlúis a úsáid.
●Méid an tsliabháin: Tá difríocht shuntasach idir neart struchtúr báid 8 n-orlach/12 n-orlach agus teastaíonn dearadh spriocdhírithe uaidh.

Céim 2: Déan meastóireacht ar mhéadrachtaí feidhmíochta

Príomh-Mhéadrachtaí:

●Garbhacht dromchla (Ra): ≤0.8μm (ní mór don dromchla teagmhála a bheith ≤0.4μm)
●Neart nasc sciath: ≥15MPa (caighdeán ASTM C633)
●Dífhoirmiú ardteochta (600℃): ≤0.1mm/m (tástáil 24 uair an chloig)

Céim 3: Fíoraigh comhoiriúnacht

● Meaitseáil trealaimh: Deimhnigh méid an chomhéadain le samhlacha príomhshrutha ar nós AMAT Centura, centrotherm PECVD, etc.
● Tástáil táirgthe trialach: Moltar tástáil bhaisc bhig de 50-100 píosa a dhéanamh chun aonfhoirmeacht an sciath a fhíorú (diall caighdeánach thiús an scannáin <3%).

3.2 Na Cleachtais is Fearr maidir le hÚsáid agus Cothabháil

Sonraíochtaí Oibríochta:

✔Próiseas réamhghlantacháin:

● Roimh an gcéad úsáid, ní mór an Xinzhou a bhuamáil le plasma Ar ar feadh 30 nóiméad chun eisíontais atá ionsúite ar an dromchla a bhaint.

●Tar éis gach baisc den phróiseas, úsáidtear SC1 (NH₄OH:H₂O₂:H₂O=1:1:5) le haghaidh glantacháin chun iarmhair orgánacha a bhaint.

✔ Ag luchtú tabú:

●Tá ró-ualach toirmiscthe (m.sh. tá an cumas uasta deartha le bheith 50 píosa, ach ba chóir go mbeadh an t-ualach iarbhír ≤ 45 píosa chun spás a chur in áirithe le haghaidh leathnú).

●Ní mór imeall an tsaiféir a bheith ≥2mm ar shiúl ó dheireadh umar an bháid chun éifeachtaí imeall plasma a chosc.

✔ Leideanna chun Saol a Fhadú

● Deisiú sciath: Nuair a bhíonn an garbh-dhromchla Ra > 1.2μm, is féidir sciath SiC a ath-thaisceadh le CVD (tá an costas 40% níos ísle ná athsholáthar).

✔ Tástáil rialta:

● Míosúil: Seiceáil sláine an sciath ag baint úsáide as inteirféiriméadracht solais bháin.
●Ráithiúil: Déan anailís ar chéim criostalaithe an bháid trí XRD (ní mór bád vaiféir grianchloiche le céim criostail > 5% a athsholáthar).

4. Cad iad na fadhbanna coitianta?

C1: An féidir leis anBád PECVDa úsáid sa phróiseas LPCVD?

A: Ní mholtar é! Tá teocht níos airde ag LPCVD (de ghnáth 800-1100°C) agus ní mór dó brú gáis níos airde a sheasamh. Éilíonn sé úsáid ábhar atá níos frithsheasmhaí in aghaidh athruithe teochta (amhail graifít iseastatach), agus ní mór cúiteamh leathnú teirmeach a chur san áireamh i ndearadh an tsliotáin.
C2: Conas a chinneadh an bhfuil teip ar chorp an bháid?

A: Stop ag úsáid láithreach má tharlaíonn na hairíonna seo a leanas:
Tá scoilteanna nó feannadh sciath le feiceáil leis an tsúil nocht.
Bhí an diall caighdeánach d'aonfhoirmeacht sciath vaiféir >5% ar feadh trí bhaisc as a chéile.
Thit céim folúis an tseomra próisis níos mó ná 10%.

C3: Bád graifíte vs. bád grianchloch, conas a roghnú？

Conclúid: Is fearr báid graifíte le haghaidh cásanna olltáirgeachta, agus meastar báid grianchloiche le haghaidh taighde eolaíoch/próisis speisialta.

Conclúid:

Cé go bhfuil anBád PECVDNí hé an trealamh is mó é, ach “caomhnóir ciúin” chobhsaíocht an phróisis. Ó roghnú go cothabháil, féadfaidh gach mionsonra a bheith ina phointe cinniúnach chun feabhas a chur ar tháirgeacht. Tá súil agam go gcabhróidh an treoir seo leat dul tríd an gceo teicniúil agus an réiteach is fearr a aimsiú chun costais a laghdú agus éifeachtúlacht a fheabhsú!