1. Kini ọkọ oju omi PECVD?
1.1 Definition ati mojuto awọn iṣẹ
Ọkọ oju omi PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) jẹ ohun elo mojuto ti a lo lati gbe awọn wafers tabi awọn sobusitireti ninu ilana PECVD. O nilo lati ṣiṣẹ ni iduroṣinṣin ni iwọn otutu giga (300-600 ° C), mu ṣiṣẹ pilasima ati gaasi ibajẹ (bii SiH₄, NH₃) agbegbe. Awọn iṣẹ akọkọ rẹ pẹlu:
● Ipo deede: rii daju aaye wafer aṣọ ati yago fun kikọlu ti a bo.
● Iṣakoso aaye igbona: mu pinpin iwọn otutu dara ati mu iṣọkan fiimu dara.
● Ohun ìdènà tí ń gbógun ti ẹ̀gbin: Yí pilasima sọ́tọ̀ kúrò nínú ihò ohun èlò láti dín ewu dídọ́gba irin kù.
1.2 Aṣoju awọn ẹya ati awọn ohun elo
Aṣayan ohun elo:
● Awọn ọkọ oju omi graphite (aṣayan akọkọ): imudara igbona giga, resistance otutu otutu, iye owo kekere, ṣugbọn nilo ibora lati dena ibajẹ gaasi.
●Ọkọ oju omi Quartz: Iwa mimọ-giga, sooro kemikali, ṣugbọn brittle pupọ ati gbowolori.
●Awọn ohun elo seramiki (bii Al₂O₃): sooro, o dara fun iṣelọpọ igbohunsafẹfẹ giga, ṣugbọn adaṣe igbona ti ko dara.
Awọn ẹya apẹrẹ bọtini:
● Iho Iho: Baramu wafer sisanra (gẹgẹ bi awọn 0.3-1mm ifarada).
●Air sisan iho design: je ki lenu gaasi pinpin ati ki o din eti ipa.
●Iboju oju: SiC ti o wọpọ, TaC tabi DLC (bii carbon-like carbon) bo lati fa igbesi aye iṣẹ pọ si.
2. Kilode ti a gbọdọ san ifojusi si iṣẹ ti awọn ọkọ oju omi PECVD?
2.1 Awọn ifosiwewe pataki mẹrin ti o ni ipa taara ilana ikore
✔ Iṣakoso idoti:
Awọn idọti ninu ara ọkọ (gẹgẹbi Fe ati Na) yipada ni awọn iwọn otutu ti o ga, nfa awọn pinholes tabi jijo ninu fiimu naa.
Peeling ibora yoo ṣafihan awọn patikulu ati fa awọn abawọn ti a bo (fun apẹẹrẹ, awọn patikulu> 0.3μm le fa ṣiṣe batiri silẹ nipasẹ 0.5%).
✔ Iṣọkan aaye igbona:
Itọnisọna ooru ti ko ni deede ti ọkọ oju omi graphite PECVD yoo yorisi awọn iyatọ ninu sisanra fiimu (fun apẹẹrẹ, labẹ ibeere isokan ti ± 5%, iyatọ iwọn otutu nilo lati dinku ju 10 ° C).
✔ Ibamu pilasima:
Awọn ohun elo ti ko tọ le fa itusilẹ ajeji ati ba wafer tabi awọn amọna ẹrọ jẹ.
✔ Igbesi aye iṣẹ ati idiyele:
Awọn ọkọ oju-omi kekere ti ko ni agbara nilo lati paarọ rẹ nigbagbogbo (fun apẹẹrẹ lẹẹkan ni oṣu), ati awọn idiyele itọju ọdun jẹ gbowolori.
3. Bawo ni lati yan, lo ati ṣetọju ọkọ oju omi PECVD kan?
3.1 Mẹta-igbese yiyan ọna
Igbesẹ 1: Ṣe alaye awọn paramita ilana
● Iwọn otutu: Graphite + SiC ti a bo ni a le yan ni isalẹ 450 ° C, ati quartz tabi seramiki nilo loke 600 ° C.
●Iru gaasi: Nigbati o ba ni awọn gaasi ipata gẹgẹbi Cl2and F-, ti a bo iwuwo giga gbọdọ ṣee lo.
●Iwọn wafer: 8-inch/12-inch agbara igbekalẹ ọkọ oju omi yatọ ni pataki ati nilo apẹrẹ ìfọkànsí.
Igbesẹ 2: Ṣe iṣiro awọn metiriki iṣẹ ṣiṣe
Awọn wiwọn bọtini:
●Inira oju (Ra): ≤0.8μm (oju olubasọrọ nilo lati jẹ ≤0.4μm)
●Agbara mnu aso: ≥15MPa (ASTM C633 boṣewa)
●Idibajẹ iwọn otutu giga (600℃): ≤0.1mm/m (idanwo wakati 24)
Igbesẹ 3: Jẹrisi ibamu
● Ohun elo ti o baamu: Jẹrisi iwọn wiwo pẹlu awọn awoṣe akọkọ bii AMAT Centura, centrotherm PECVD, ati bẹbẹ lọ.
● Idanwo iṣelọpọ idanwo: A ṣe iṣeduro lati ṣe idanwo ipele kekere kan ti awọn ege 50-100 lati rii daju pe iṣọkan ti aṣọ-iṣọkan (iyọkuro boṣewa ti sisanra fiimu <3%).
3.2 Awọn iṣe ti o dara julọ fun Lilo ati Itọju
Awọn pato isẹ:
✔Ilana isọ-tẹlẹ:
● Ṣaaju lilo akọkọ, Xinzhou nilo lati wa ni bombard pẹlu plasma Ar fun ọgbọn išẹju 30 lati yọ awọn idoti ti a po si oju.
●Lẹhin ipele ilana kọọkan, SC1 (NH₄OH:H₂O₂:H₂O=1:1:5) ni a lo fun mimọ lati yọ awọn iṣẹku Organic kuro.
✔ Ikojọpọ awọn taboos:
●Ikojọpọ apọju jẹ eewọ (fun apẹẹrẹ agbara ti o pọju ti ṣe apẹrẹ lati jẹ awọn ege 50, ṣugbọn ẹru gangan yẹ ki o jẹ awọn ege ≤ 45 lati fi aaye pamọ fun imugboroja).
●Eti ti wafer gbọdọ jẹ ≥2mm kuro ni ipari ti ojò ọkọ oju omi lati ṣe idiwọ awọn ipa eti pilasima.
✔ Italolobo fun Extending Life
● Atunse ti a bo: Nigbati awọn dada roughness Ra：1.2μm, SiC bo le ti wa ni tun-idogo nipa CVD (awọn iye owo ti wa ni 40% kekere ju rirọpo).
✔ Idanwo igbagbogbo:
● Oṣooṣu: Ṣayẹwo iduroṣinṣin ti a bo nipa lilo interferometry ina funfun.
●Ni idamẹrin: Ṣe itupalẹ alefa crystallization ti ọkọ oju omi nipasẹ XRD (ọkọ oju-omi kekere quartz pẹlu ipele kirisita> 5% nilo lati paarọ rẹ).
4. Kini awọn iṣoro ti o wọpọ?
Q1: Le awọnPECVD ọkọ oju omilo ninu ilana LPCVD?
A: Ko ṣe iṣeduro! LPCVD ni iwọn otutu ti o ga julọ (nigbagbogbo 800-1100 ° C) ati pe o nilo lati koju titẹ gaasi ti o ga julọ. O nilo lilo awọn ohun elo ti o ni sooro diẹ sii si awọn iyipada iwọn otutu (gẹgẹbi lẹẹdi isostatic), ati apẹrẹ Iho nilo lati gbero isanpada imugboroja gbona.
Q2: Bawo ni a ṣe le pinnu boya ara ọkọ oju omi ti kuna?
A: Duro lilo lẹsẹkẹsẹ ti awọn aami aisan wọnyi ba waye:
Awọn dojuijako tabi peeli ti a bo ni o han si oju ihoho.
Iyapa boṣewa ti isokan ti a bo wafer ti jẹ> 5% fun awọn ipele itẹlera mẹta.
Iwọn igbale ti iyẹwu ilana lọ silẹ nipasẹ diẹ sii ju 10%.
Q3: Ọkọ oju omi graphite la ọkọ oju omi quartz, bawo ni a ṣe le yan?
Ipari : Awọn ọkọ oju omi graphite jẹ ayanfẹ fun awọn oju iṣẹlẹ iṣelọpọ ibi-, lakoko ti awọn ọkọ oju omi quartz ni a gbero fun iwadii imọ-jinlẹ / awọn ilana pataki.
Ipari:
Biotilejepe awọnPECVD ọkọ oju omikii ṣe ohun elo akọkọ, o jẹ “olutọju ipalọlọ” ti iduroṣinṣin ilana. Lati yiyan si itọju, gbogbo alaye le di aaye aṣeyọri bọtini fun ilọsiwaju ikore. Mo nireti pe itọsọna yii yoo ran ọ lọwọ lati wọ inu kurukuru imọ-ẹrọ ati rii ojutu ti o dara julọ fun idinku idiyele ati ilọsiwaju ṣiṣe!
Akoko ifiweranṣẹ: Mar-06-2025