ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC) ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ವೇಫರ್

ಸಣ್ಣ ವಿವರಣೆ:

VET ಎನರ್ಜಿಯಿಂದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC) ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ವೇಫರ್ ಮುಂದಿನ ಪೀಳಿಗೆಯ ವಿದ್ಯುತ್ ಮತ್ತು RF ಸಾಧನಗಳ ಬೇಡಿಕೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ಉನ್ನತ-ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ತಲಾಧಾರವಾಗಿದೆ. VET ಎನರ್ಜಿ ಪ್ರತಿ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಉತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ, ಸ್ಥಗಿತ ವೋಲ್ಟೇಜ್ ಮತ್ತು ವಾಹಕ ಚಲನಶೀಲತೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸಲು ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗಿದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ವಿದ್ಯುತ್ ವಾಹನಗಳು, 5G ಸಂವಹನ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ದಕ್ಷತೆಯ ವಿದ್ಯುತ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್‌ನಂತಹ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.


ಉತ್ಪನ್ನದ ವಿವರ

ಉತ್ಪನ್ನ ಟ್ಯಾಗ್‌ಗಳು

VET ಎನರ್ಜಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC) ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ವೇಫರ್ ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾದ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಪ್ರತಿರೋಧ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಆವರ್ತನ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿಯ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಉನ್ನತ-ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ವಿಶಾಲ ಬ್ಯಾಂಡ್‌ಗ್ಯಾಪ್ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ. ಇದು ಹೊಸ ಪೀಳಿಗೆಯ ವಿದ್ಯುತ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಾಧನಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾದ ತಲಾಧಾರವಾಗಿದೆ. SiC ತಲಾಧಾರಗಳ ಮೇಲೆ ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ SiC ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಪದರಗಳನ್ನು ಬೆಳೆಯಲು VET ಎನರ್ಜಿ ಸುಧಾರಿತ MOCVD ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ, ವೇಫರ್‌ನ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.

ನಮ್ಮ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC) ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ವೇಫರ್, SiC ಸಬ್‌ಸ್ಟ್ರೇಟ್, SOI ವೇಫರ್ ಮತ್ತು SiN ಸಬ್‌ಸ್ಟ್ರೇಟ್ ಸೇರಿದಂತೆ ವಿವಿಧ ಅರೆವಾಹಕ ವಸ್ತುಗಳೊಂದಿಗೆ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ. ಅದರ ದೃಢವಾದ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಪದರದೊಂದಿಗೆ, ಇದು ಎಪಿ ವೇಫರ್ ಬೆಳವಣಿಗೆ ಮತ್ತು ಗ್ಯಾಲಿಯಮ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ Ga2O3 ಮತ್ತು AlN ವೇಫರ್‌ನಂತಹ ವಸ್ತುಗಳೊಂದಿಗೆ ಏಕೀಕರಣದಂತಹ ಸುಧಾರಿತ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ, ವಿಭಿನ್ನ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳಲ್ಲಿ ಬಹುಮುಖ ಬಳಕೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಉದ್ಯಮ-ಪ್ರಮಾಣಿತ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ ನಿರ್ವಹಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವಂತೆ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ, ಇದು ಅರೆವಾಹಕ ಫ್ಯಾಬ್ರಿಕೇಶನ್ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಮತ್ತು ಸುವ್ಯವಸ್ಥಿತ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಳನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.

VET ಎನರ್ಜಿಯ ಉತ್ಪನ್ನ ಶ್ರೇಣಿಯು SiC ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ವೇಫರ್‌ಗಳಿಗೆ ಸೀಮಿತವಾಗಿಲ್ಲ. ನಾವು Si ವೇಫರ್, SiC ಸಬ್‌ಸ್ಟ್ರೇಟ್, SOI ವೇಫರ್, SiN ಸಬ್‌ಸ್ಟ್ರೇಟ್, Epi ವೇಫರ್, ಇತ್ಯಾದಿಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಂತೆ ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಸಬ್‌ಸ್ಟ್ರೇಟ್ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಸಹ ಒದಗಿಸುತ್ತೇವೆ. ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಸಾಧನಗಳಿಗೆ ಭವಿಷ್ಯದ ವಿದ್ಯುತ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಉದ್ಯಮದ ಬೇಡಿಕೆಯನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ನಾವು ಗ್ಯಾಲಿಯಮ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ Ga2O3 ಮತ್ತು AlN ವೇಫರ್‌ನಂತಹ ಹೊಸ ವೈಡ್ ಬ್ಯಾಂಡ್‌ಗ್ಯಾಪ್ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಸಹ ಸಕ್ರಿಯವಾಗಿ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸುತ್ತಿದ್ದೇವೆ.

第6页-36
第6页-35

ವೇಫರಿಂಗ್ ವಿಶೇಷಣಗಳು

*n-Pm=n-ಟೈಪ್ Pm-ಗ್ರೇಡ್,n-Ps=n-ಟೈಪ್ Ps-ಗ್ರೇಡ್,Sl=ಸೆಮಿ-ಇನ್ಸುಲೇಟಿಂಗ್

ಐಟಂ

8-ಇಂಚು

6-ಇಂಚು

4-ಇಂಚು

ಎನ್ಪಿ

ಎನ್-ಪಿಎಮ್

n-Ps

SI

SI

ಟಿಟಿವಿ(ಜಿಬಿಐಆರ್)

≤6um (ಒಟ್ಟು)

≤6um (ಒಟ್ಟು)

ಬಿಲ್ಲು(GF3YFCD)-ಸಂಪೂರ್ಣ ಮೌಲ್ಯ

≤15μಮೀ

≤15μಮೀ

≤25μಮೀ

≤15μಮೀ

ವಾರ್ಪ್(GF3YFER)

≤25μಮೀ

≤25μಮೀ

≤40μಮೀ

≤25μಮೀ

ಎಲ್‌ಟಿವಿ(ಎಸ್‌ಬಿಐಆರ್)-10ಎಂಎಂx10ಎಂಎಂ

<μm

ವೇಫರ್ ಎಡ್ಜ್

ಬೆವೆಲಿಂಗ್

ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯ

*n-Pm=n-ಟೈಪ್ Pm-ಗ್ರೇಡ್,n-Ps=n-ಟೈಪ್ Ps-ಗ್ರೇಡ್,Sl=ಸೆಮಿ-ಇನ್ಸುಲೇಟಿಂಗ್

ಐಟಂ

8-ಇಂಚು

6-ಇಂಚು

4-ಇಂಚು

ಎನ್ಪಿ

ಎನ್-ಪಿಎಮ್

n-Ps

SI

SI

ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯ

ಡಬಲ್ ಸೈಡ್ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಪಾಲಿಶ್, Si- ಫೇಸ್ CMP

ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನ

(10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm
ಸಿ-ಫೇಸ್ Ra≤ 0.5nm

(5umx5um) Si-ಫೇಸ್ Ra≤0.2nm
ಸಿ-ಫೇಸ್ Ra≤0.5nm

ಎಡ್ಜ್ ಚಿಪ್ಸ್

ಯಾವುದನ್ನೂ ಅನುಮತಿಸಲಾಗಿಲ್ಲ (ಉದ್ದ ಮತ್ತು ಅಗಲ≥0.5ಮಿಮೀ)

ಇಂಡೆಂಟ್‌ಗಳು

ಯಾವುದಕ್ಕೂ ಅನುಮತಿ ಇಲ್ಲ

ಗೀರುಗಳು (Si-Face)

ಪ್ರಮಾಣ.≤5, ಸಂಚಿತ
ಉದ್ದ≤0.5×ವೇಫರ್ ವ್ಯಾಸ

ಪ್ರಮಾಣ.≤5, ಸಂಚಿತ
ಉದ್ದ≤0.5×ವೇಫರ್ ವ್ಯಾಸ

ಪ್ರಮಾಣ.≤5, ಸಂಚಿತ
ಉದ್ದ≤0.5×ವೇಫರ್ ವ್ಯಾಸ

ಬಿರುಕುಗಳು

ಯಾವುದಕ್ಕೂ ಅನುಮತಿ ಇಲ್ಲ

ಅಂಚಿನ ಹೊರಗಿಡುವಿಕೆ

3ಮಿ.ಮೀ.

ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ_1_2_ಗಾತ್ರ
ಉದಾಹರಣೆ (2)

  • ಹಿಂದಿನದು:
  • ಮುಂದೆ:

  • WhatsApp ಆನ್‌ಲೈನ್ ಚಾಟ್!