رقاقة كربيد السيليكون (SiC) من VET Energy هي مادة شبه موصلة عالية الأداء ذات فجوة نطاق واسعة، تتميز بمقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية، وترددات عالية، وخصائص طاقة عالية. وهي ركيزة مثالية للجيل الجديد من أجهزة إلكترونيات الطاقة. تستخدم VET Energy تقنية MOCVD المتطورة لتكوين طبقات كربيد السيليكون عالية الجودة على ركائز كربيد السيليكون، مما يضمن الأداء الممتاز وثبات الرقاقة.
تتميز رقاقة كربيد السيليكون (SiC) لدينا بتوافق ممتاز مع مجموعة متنوعة من مواد أشباه الموصلات، بما في ذلك رقاقة السيليكون، وركيزة كربيد السيليكون، ورقاقة SOI، وركيزة SiN. بفضل طبقتها الفوقية المتينة، تدعم الرقاقة عمليات متقدمة مثل نمو رقاقة Epi وتكاملها مع مواد مثل رقاقة أكسيد الغاليوم Ga2O3 وAlN، مما يضمن استخدامًا متعدد الاستخدامات عبر مختلف التقنيات. صُممت الرقاقة لتكون متوافقة مع أنظمة مناولة الكاسيت القياسية في الصناعة، مما يضمن عمليات فعالة ومبسطة في بيئات تصنيع أشباه الموصلات.
لا يقتصر خط إنتاج شركة VET Energy على رقائق SiC الفوقية. فنحن نوفر أيضًا مجموعة واسعة من مواد ركائز أشباه الموصلات، بما في ذلك رقائق Si، وركيزة SiC، ورقاقة SOI، وركيزة SiN، ورقاقة Epi، وغيرها. بالإضافة إلى ذلك، نعمل بنشاط على تطوير مواد أشباه موصلات جديدة ذات فجوة نطاق واسعة، مثل رقائق أكسيد الغاليوم Ga2O3 وAlN، لتلبية الطلب المستقبلي لصناعة إلكترونيات الطاقة على أجهزة عالية الأداء.
مواصفات الرقاقة
*n-Pm=نوع n من Pm-درجة،n-Ps=نوع n من Ps-درجة،Sl=شبه عازل
| غرض | 8 بوصات | 6 بوصات | 4 بوصات | ||
| ن ب | ن-بم | ن-بس | SI | SI | |
| TTV(GBIR) | ≤6 ميكرومتر | ≤6 ميكرومتر | |||
| Bow(GF3YFCD)-القيمة المطلقة | ≤15 ميكرومتر | ≤15 ميكرومتر | ≤25 ميكرومتر | ≤15 ميكرومتر | |
| الالتواء (GF3YFER) | ≤25 ميكرومتر | ≤25 ميكرومتر | ≤40 ميكرومتر | ≤25 ميكرومتر | |
| قيمة القرض (SBIR)-10 مم × 10 مم | <2 ميكرومتر | ||||
| حافة الرقاقة | تشطيب | ||||
تشطيب السطح
*n-Pm=نوع n من Pm-درجة،n-Ps=نوع n من Ps-درجة،Sl=شبه عازل
| غرض | 8 بوصات | 6 بوصات | 4 بوصات | ||
| ن ب | ن-بم | ن-بس | SI | SI | |
| تشطيب السطح | ملمع بصري مزدوج الجانب، Si-Face CMP | ||||
| خشونة السطح | (10 ميكرومتر × 10 ميكرومتر) Si-FaceRa≤0.2 نانومتر | (5 ميكرومتر × 5 ميكرومتر) Si-Face Ra≤0.2 نانومتر | |||
| رقائق الحافة | غير مسموح به (الطول والعرض ≥ 0.5 مم) | ||||
| المسافات البادئة | غير مسموح به | ||||
| الخدوش (وجه السيليكون) | الكمية ≤5، تراكمي | الكمية ≤5، تراكمي | الكمية ≤5، تراكمي | ||
| الشقوق | غير مسموح به | ||||
| استبعاد الحافة | 3 مم | ||||
-
مجموعة خلية وقود الهيدروجين للطائرات بدون طيار 1000 واط 24 فولت
-
المواد الاستهلاكية لمعدات أشباه الموصلات سير الألومينا
-
محامل الدفع المشبعة براتنج الجرافيت
-
حبل من ألياف الجرافيت/الكربون عالية القوة لل...
-
مجموعة خلايا وقود Pemfc بقوة 1000 واط لطائرات بدون طيار Pemfc...
-
جزء نصف القمر العلوي والسفلي من الجرافيت لـ Si...