ویفر اپیتاکسیال کاربید سیلیکون (SiC) شرکت VET Energy یک ماده نیمههادی با شکاف باند وسیع و عملکرد بالا است که مقاومت دمایی عالی، فرکانس بالا و ویژگیهای توان بالا را ارائه میدهد. این ویفر یک زیرلایه ایدهآل برای نسل جدید دستگاههای الکترونیک قدرت است. VET Energy از فناوری پیشرفته اپیتاکسیال MOCVD برای رشد لایههای اپیتاکسیال SiC با کیفیت بالا روی زیرلایههای SiC استفاده میکند و عملکرد و ثبات عالی ویفر را تضمین میکند.
ویفر اپیتکسیال سیلیکون کاربید (SiC) ما سازگاری بسیار خوبی با انواع مواد نیمههادی از جمله ویفر سیلیکونی، زیرلایه SiC، ویفر SOI و زیرلایه SiN ارائه میدهد. با لایه اپیتکسیال قوی خود، از فرآیندهای پیشرفتهای مانند رشد ویفر اپی و ادغام با موادی مانند اکسید گالیم Ga2O3 و ویفر AlN پشتیبانی میکند و استفاده متنوع در فناوریهای مختلف را تضمین میکند. این ویفر که برای سازگاری با سیستمهای استاندارد صنعتی جابجایی کاست طراحی شده است، عملیات کارآمد و ساده را در محیطهای ساخت نیمههادی تضمین میکند.
خط تولید VET Energy محدود به ویفرهای اپیتاکسیال SiC نیست. ما همچنین طیف گستردهای از مواد زیرلایه نیمههادی، از جمله ویفر Si، زیرلایه SiC، ویفر SOI، زیرلایه SiN، ویفر Epi و غیره را ارائه میدهیم. علاوه بر این، ما به طور فعال در حال توسعه مواد نیمههادی با شکاف باند وسیع جدید، مانند اکسید گالیوم Ga2O3 و ویفر AlN، هستیم تا تقاضای صنعت الکترونیک قدرت آینده برای دستگاههای با عملکرد بالاتر را برآورده کنیم.
مشخصات ویفر
*n-Pm=نوع n درجه Pm،n-Ps=نوع n درجه Ps،Sl=نیمه عایق
| مورد | ۸ اینچ | ۶ اینچ | ۴ اینچ | ||
| ان پی | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| تیتیوی (GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
| کمان (GF3YFCD) - قدر مطلق | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
| تار (GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
| LTV (SBIR) - 10mmx10mm | <2μm | ||||
| لبه ویفر | پخ زنی | ||||
پرداخت سطح
*n-Pm=نوع n درجه Pm،n-Ps=نوع n درجه Ps،Sl=نیمه عایق
| مورد | ۸ اینچ | ۶ اینچ | ۴ اینچ | ||
| ان پی | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| پرداخت سطح | پولیش نوری دو طرفه، سی-فیس CMP | ||||
| زبری سطح | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) سی-فیس Ra≤0.2nm | |||
| تراشههای لبه | مجاز نیست (طول و عرض ≥0.5 میلیمتر) | ||||
| تورفتگیها | هیچ کدام مجاز نیست | ||||
| خراشها (سی-فیس) | تعداد≤5، تجمعی | تعداد≤5، تجمعی | تعداد≤5، تجمعی | ||
| ترکها | هیچ کدام مجاز نیست | ||||
| حذف لبه | ۳ میلیمتر | ||||





