פרוסת סיליקון קרביד (SiC) אפיטקסיאלית

תיאור קצר:

פרוסת סיליקון קרביד (SiC) אפיטקסיאלית של VET Energy היא מצע בעל ביצועים גבוהים שנועד לעמוד בדרישות התובעניות של התקני הספק ותדר רדיו מהדור הבא. VET Energy מבטיחה שכל פרוסת פלט אפיטקסיאלית מיוצרת בקפידה כדי לספק מוליכות תרמית, מתח פריצה וניידות נושאת מתח מעולים, מה שהופך אותה לאידיאלית עבור יישומים כגון כלי רכב חשמליים, תקשורת 5G ואלקטרוניקה להספק יעילה במיוחד.


פרטי מוצר

תגי מוצר

פרוסת סיליקון קרביד (SiC) אפיטקסיאלית של VET Energy היא חומר מוליך למחצה בעל ביצועים גבוהים בעל פער אנרגיה רחב, עמידות מצוינת בטמפרטורה גבוהה, מאפייני תדר גבוה והספק גבוהים. זהו מצע אידיאלי לדור החדש של התקני אלקטרוניקה להספק. VET Energy משתמשת בטכנולוגיית אפיטקסיאלית מתקדמת MOCVD כדי לגדל שכבות אפיטקסיאליות של SiC באיכות גבוהה על מצעי SiC, ובכך להבטיח ביצועים מעולים ועקביות של הפרוסה.

פרוסת הסיליקון קרביד (SiC) האפיטקסיאלית שלנו מציעה תאימות מצוינת עם מגוון חומרי מוליכים למחצה, כולל פרוסת סיליקון, מצעי SiC, פרוסת SOI ומצע SiN. הודות לשכבה האפיטקסיאלית החזקה שלה, היא תומכת בתהליכים מתקדמים כגון גידול פרוסת אפי ואינטגרציה עם חומרים כמו גליום אוקסיד Ga2O3 ופרסת AlN, מה שמבטיח שימוש רב-תכליתי בטכנולוגיות שונות. היא תוכננה להיות תואמת למערכות טיפול בקסטות סטנדרטיות בתעשייה, ומבטיחה פעולות יעילות ויעילות בסביבות ייצור מוליכים למחצה.

קו המוצרים של VET Energy אינו מוגבל לפלסטיקים אפיטקסיאליים של SiC. אנו מספקים גם מגוון רחב של חומרי מצע מוליכים למחצה, כולל פרוסות Si, מצע SiC, פרוסות SOI, מצע SiN, פרוסות Epi ועוד. בנוסף, אנו מפתחים באופן פעיל גם חומרי מוליכים למחצה חדשים בעלי פער אנרגיה רחב, כגון גליום אוקסיד Ga2O3 ופלסטיק AlN, כדי לענות על הביקוש של תעשיית האלקטרוניקה העתידית להתקנים בעלי ביצועים גבוהים יותר.

第6页-36
第6页-35

מפרט ופל

*n-Pm=סוג n Pm-Grade, n-Ps=סוג n Ps-Grade, Sl=חצי מבודד

פָּרִיט

8 אינץ'

6 אינץ'

4 אינץ'

nP

n-Pm

n-Ps

SI

SI

TTV (GBIR)

≤6um

≤6um

קשת (GF3YFCD) - ערך מוחלט

≤15 מיקרומטר

≤15 מיקרומטר

≤25 מיקרומטר

≤15 מיקרומטר

עיוות (GF3YFER)

≤25 מיקרומטר

≤25 מיקרומטר

≤40 מיקרומטר

≤25 מיקרומטר

אורך חיים (SBIR) - 10 מ"מ x 10 מ"מ

<2 מיקרומטר

קצה פרוסה

שיפוע

גימור פני השטח

*n-Pm=סוג n Pm-Grade, n-Ps=סוג n Ps-Grade, Sl=חצי מבודד

פָּרִיט

8 אינץ'

6 אינץ'

4 אינץ'

nP

n-Pm

n-Ps

SI

SI

גימור פני השטח

ליטוש אופטי דו-צדדי, Si-Face CMP

חספוס פני השטח

(10µm x 10µm) Si-FaceRa≤0.2nm
C-Face Ra≤ 0.5nm

(5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm
C-Face Ra≤0.5nm

שבבי קצה

אין מותר (אורך ורוחב ≥0.5 מ"מ)

כניסות

אין מותר

שריטות (Si-Face)

כמות ≤5, מצטבר
אורך ≤0.5 × קוטר פרוסה

כמות ≤5, מצטבר
אורך ≤0.5 × קוטר פרוסה

כמות ≤5, מצטבר
אורך ≤0.5 × קוטר פרוסה

סדקים

אין מותר

אי הכללת קצה

3 מ"מ

גודל_טכנולוגיה_1_2
下载 (2)

  • קוֹדֵם:
  • הַבָּא:

  • צ'אט אונליין בוואטסאפ!